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 复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。

  (1)洁净隧道(Clean Tunnel)：以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%覆盖使洁净度等级提高至10级以上，可节省安装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。

  洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易; B.维修设备时可在维修区轻易执行。

  (2)洁净管道(Clean Tube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，不需人工的自动化生产线为适宜使用。药品、食品业界及半导体业界均适用。

  (3)并装局部洁净室(Clean Spot)：将洁净室等级10,000~100,000之乱流洁净室内之产品制程区的洁净度等级提高为10~1000级以上，以为生产之用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜即属此类。

抽样对有设计要求的区域进行检测。山东实验室检测优化价格

压差检测：普通洁净室不同级别逐级之间、洁净室与非洁净区之间的微压差一般为5～10Pa，某些生物洁净室为防止有害物或病毒向外扩散，其进入通路的各个房间之间的负压差需要维持-10～-30Pa。

根据国家标准GB19489-2008“实验室、生物安全通用要求”的规定：相对于大气压污染区为-40Pa，根据国家标准GB50346-2011“生物安全实验室建筑技术规范”的规定：与室外方向上相邻相通房间的负压差为-10Pa。

在各级空气过滤器处，应配置微压差计并与过滤器前后的静压引出管相连，以便随时监测气流通过空气过滤器的压力降。有些微压差计还备有可调节压差设定的报警标定值，以便超过规定压差时输出报警信号。 浙江洁净室检测服务至上洁净室环境检测依据行业标准及国家标准。

用风罩法测量风量①用风量罩测定各风口风速时，其相应的出风风速为Vs=As。Vs------各终端过滤器或送风散流器的平均送风风速m/s；Qs------各终端过滤器或送风散流器的送风量m3/s；As------送风口出风面积m2。②单向流-层流洁净室单向流洁净室采用室截面平均风速和截面积乘积的方法确定送风量，其中垂直单向流层流洁净室的测定截面取距地面0.8m的水平截面，水平单向流层流洁净室取距送风面0.5m的垂直截面，截面上测点间距不应大于2m，测点数应不少于10个，均匀布置仪器用热球风速仪。③测定风管内风量对于风口上风侧有较长的支管段，且已经或可以打孔时，可以用风管法确定风量，测定断面距局部阻力部件距离在局部阻力部件后不少于5倍管径或5倍大边长度。对于矩形风管，将测定截面分成若干个相等的小截面，每个小截面尽可能接近正方形边长，不大于200mm测点，设于小截面中心，但整个截面上的测点数不宜少于3个。对于圆形风管，应该按等面积圆环法划分测定截面和确定测点数。具体可按综合效能普通通风空调风管法测量风量的方法进行。

洁净室竣工验收的外观检查应符合以下要求1、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。2、高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。3、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。4、净化空调箱、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘。5、洁净室的内墙面、顶棚表面和地面应光滑、平整、色泽均匀不起灰尘地板无静电现象。6送、回风口及各类末端装置、各类管道、照明和动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时穿越处的密封处理应严密可靠。7、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线、管口应密封可靠。8各种刷涂、保温工作应符合有关规定。洁净室环境验证（HVAC系统，IQ, OQ, PQ。包括：粒子、浮游菌、沉降菌、表面样、温湿度）。

单向流洁净室的原理和特性

   ⑴定义

   单向流洁净室是：气流以均匀的截面速度，沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。

   ⑵原理

   单向流洁净室靠送风气流“活塞”般的挤压作用，迅速把室内污染排出。

   要保证活塞作用的实现，*重要一点是高效过滤器必须满布。当然，过滤器是有边框的，顶棚也有边框，不可能*地满布过滤器。满布比来衡量过滤器的满布程度：

   正常情况下满布比达到80%。垂直单向流满布比不应小于60%，水平单向流应小于40%，否则就是局部单向流了。

   ⑶特征指标

   ①流线平行度（流线平行性）

   流线平行的作用性是保证尘源散发的尘粒不作垂直于流向的传播。要求流线之间既要平行（在0.5m距离内线间夹角不能小于15°），又要求流线尽可能垂直于送风面（其倾角*小不能小于65°）。

   ②乱流度（速度不均匀度）

   速度均匀的作用是保证流线之间质点的横向交换*小。乱流度是为了说明速度场的集中或离散程度而定义的。 洁净室是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除。湖南实验室环境检测

传递窗主要适用于洁净区与非洁净区之间，或洁净室与洁净室之间的小货物传递。山东实验室检测优化价格

洁净室制造竣工验收的调试工作1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。山东实验室检测优化价格

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