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洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气。上海实验室检测诚信推荐

(1)净化处理原则：能用局部净化的场合，就尽可能不用净化；或低级别的净化高级别的局部净化相结合。避免把需要净化的环境分割成较小的空间，这样做虽然有利于控制污染，但这也造成平面复杂化、增加造价、作业程序不易改变、人员流动不方便，以及小房间造成人们心理上的不快。(2)由于气流分布的不均匀和尘粒分布等不均匀性，洁净室的微粒实际上是不均匀分布的，较为典型的三区不均匀分布模型，即分为主流区、涡流区和回风口区。主流区含区含尘浓度可比室平均浓度低30%到一半。建议把工艺布置在主流区内。(3)主要工艺可尽量布置于送风管上风段，上风段相对来说，洁净程度比下风段要好表2为某10万级洁净车间内沿一条送风管走向设置的六个测点检测结果(空态下)，测点l~6由上风段依次向下，可以看出，各点尘粒数有较大区别当然，其中也有送风管上各送风口风量没有较好调节的原因，但这种较大区别的可能还是不可忽视。湖南洁净室检测方便客户一般空调系统对系统的气密性渗气量虽有要求。

四、照度标准规定：洁净区主要操作间照度不得少于300勒克斯，一般照明的照度均匀度不应小于0.7。洁净区的照度检查每年不得少于一次，在经过设备大修、厂房改造、工艺布局调整等变更的时候应在变更结束后重新检测照度。检测要求：室内照度测度必须在室温已趋稳定，光源光输出趋于稳定后进行（对荧光灯必须有100h）。检测方法:测点平面离地面0.85m，按间距1-2m布点，测点距墙面1m。其要求基本与洁净度的测定位置要求相同。记录实测照度值并计算总的平均照度。照度测量一般*测定除局部照明之外的一般照明。

3. 压差检测：洁净室与外界环境的压差是保持洁净室内洁净度的重要因素。压差检测通过对洁净室各区域的压差进行测量，确保洁净室内部与外部环境的压差符合规定要求，从而防止外部污染物进入洁净室。4. 气流速度检测：洁净室内的气流速度对于维持洁净度至关重要。气流速度过快可能导致尘埃粒子飞扬，而气流速度过慢则可能导致尘埃粒子沉积。因此，气流速度检测是评估洁净室气流组织情况的重要手段。5. 表面洁净度检测：洁净室内的各种表面，如墙壁、地面、设备外壳等，也是尘埃粒子容易沉积的地方。表面洁净度检测通过对这些表面的尘埃粒子数量进行检测，评估洁净室内部表面的洁净情况。洁净室检测过程中，应注重节能降耗，实现绿色生产。

1.气流速度及其均匀性的检测：该检测是清洁空间效应其他基本检测的前提。其检测的目的是，确定单向洁净空间工作区域内的平均气流及其均匀性。2.系统或空间风量检测。3.室内清洁度检测：清洁度检测是指在清洁环境中，可达到的空气清洁度水平。可以使用颗粒计数器识别。4.自洁时间检测：确定自洁时间，以了解洁净室污染时恢复原始清洁度的能力。5.气流模式的检测。6.噪声检测。7.光强检测：光强检测的目的是确定洁净室内的光强水平和光强的均匀性。8.振动检测：振动检测的目的是检测洁净室的振动幅度。9.温湿度检测：温湿度检测的目的是将温度和湿度调节到一定限度。其内容包括无尘室供气温度检测、代表性测点气温检测、无尘室中心气温检测、敏感元件气温检测、相对室内温度检测和回风温度检测。层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体，风机，初效空气过滤器，高效空气过滤器。福建生物安全柜检测规范性强

洁净室的气流组织模式直接影响其洁净效果，需通过模拟测试验证。上海实验室检测诚信推荐

空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。上海实验室检测诚信推荐