洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产制造,从而我们称之为洁净室。按照国际惯例,无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说,所谓的无尘,并不是100%没有一点灰尘,而是控制在极少量的单位。当然,这个标准中符合粉尘标准的颗粒物,相对于我们常见的粉尘来说是非常小的,但是对于光学结构来说,哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。微生物检测也是洁净室检测中不可或缺的一环。广东实验室环境检测
-连接氮气,检查氮气供气压力为50psig()。,等几分钟后,气溶胶到达终端过滤器。?将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键,使光标停留在“上游80%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值,调节读数在20-80之间,读数稳定后记录下读数。?将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。?调整光标至“使用内部参考值”?按“确认”键,调节参数值至测定的上游浓度值。?扫描过滤器表面及边框,距滤器表面距离约3cm。?采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp,使用3cm*3cm正方形采样头时,Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头,Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度,Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。?将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键,使光标停留在“上游80%浓度检测”,按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。?关闭气溶胶按钮。?氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。?关闭N2。?关闭电源。表1高效过滤器完整性测试操作步骤局部层流/房间百级(高效检漏)非层流洁净室(高效检漏)A.拆除层流罩B.额定风速确定测量点距过滤器出风面约150-300mm测试点数取测试面积10倍的平方根,且不少点。辽宁电子厂房环境检测方便客户采用非接触式检测技术,减少对洁净室的潜在污染。
空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验,并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏,乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室,只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别,就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件:由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率,对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍,对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器,应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏,扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。
洁净室竣工验收的外观检查应符合以下要求1、各种管道、自动灭火装置及净化空调设备空调器、风机、净化空调机组、高效空气过滤器和空气吹淋室等的安装应正确、牢固、严密其偏差应符合有关规定。2、高、中效空气过滤器与支撑框架的连接及风管与设备的连接处应有可靠密封。3、各类调节装置应严密、调节灵活、操作方便。4、净化空调箱、静压箱、风管系统及送、回风口无灰尘。5、洁净室的内墙面、顶棚表面和地面应光滑、平整、色泽均匀不起灰尘地板无静电现象。6、送回风口及各类末端装置、各类管道、照明和动力线配管以及工艺设备等穿越洁净室时穿越处的密封处理应严密可靠。7、洁净室内各类配电盘、柜和进入洁净室的电气管线、管口应密封可靠。8各种刷涂、保温工作应符合有关规定。安装验证和操作验证完成并进行确认工作后即进行性能验证。
3. 压差检测:洁净室与外界环境的压差是保持洁净室内洁净度的重要因素。压差检测通过对洁净室各区域的压差进行测量,确保洁净室内部与外部环境的压差符合规定要求,从而防止外部污染物进入洁净室。4. 气流速度检测:洁净室内的气流速度对于维持洁净度至关重要。气流速度过快可能导致尘埃粒子飞扬,而气流速度过慢则可能导致尘埃粒子沉积。因此,气流速度检测是评估洁净室气流组织情况的重要手段。5. 表面洁净度检测:洁净室内的各种表面,如墙壁、地面、设备外壳等,也是尘埃粒子容易沉积的地方。表面洁净度检测通过对这些表面的尘埃粒子数量进行检测,评估洁净室内部表面的洁净情况。蔚亚科技检测技术严格按照国家标准及行业标准严格执行。江西国内检测规范性强
采用智能化管理系统,提高洁净室检测数据的管理效率。广东实验室环境检测
a.首先应对测试仪器、培养皿表面进行严格消毒,采样器进入被测房间时,先用消毒房间的消毒剂灭菌。用于5级洁净房间的采样器宜一直放在洁净房间。b.采样者应穿戴洁净服双手要消毒。c.开动真空泵抽气使仪器中的残余消毒剂蒸发时间不少于5min,并调好流量转盘转速。关闭真空泵放入培养皿盖好盖子后调节采样器。d.置采样口于采样点后依次开启采样器、真空泵、转动定时器、根据采样量选定采样时间。全部采样结束后,将培养皿倒置于30-35℃恒温培养箱中,培养时间不少于48h。e.用肉眼直接计数,然后用5-10倍放大镜检查是否有遗漏,若平板上有两个或两个以上的菌落重叠分辨时,仍以两个或两个以上菌落计数。广东实验室环境检测
(三)空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前,生产厂家应按规定进行性能试验,并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏,乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室,只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别,就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件:由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率,对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍,对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装...