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空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。使用激光尘埃粒子计数器可以精确测量空气中的微粒浓度。广东生物安全柜检测技术好

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响。河北排风柜检测规范性强检测结果异常时，应组织团队进行复检和原因分析。

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越***，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。换气次数：根据洁净室总风量除以法净室的容积求得

    -连接氮气，检查氮气供气压力为50psig()。，等几分钟后，气溶胶到达终端过滤器。?将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键，使光标停留在“上游80%浓度检测”，按“确认”;观察上游浓度数值，调节读数在20-80之间，读数稳定后记录下读数。?将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。?调整光标至“使用内部参考值”?按“确认”键，调节参数值至测定的上游浓度值。?扫描过滤器表面及边框，距滤器表面距离约3cm。?采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp，使用3cm*3cm正方形采样头时，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头，Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度，Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。?将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键，使光标停留在“上游80%浓度检测”，按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。?关闭气溶胶按钮。?氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。?关闭N2。?关闭电源。表1高效过滤器完整性测试操作步骤局部层流/房间百级（高效检漏）非层流洁净室（高效检漏）A.拆除层流罩B.额定风速确定测量点距过滤器出风面约150-300mm测试点数取测试面积10倍的平方根，且不少点。当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。

5、浮游菌采样点数目对应悬浮粒子采样点数，工作区测点位置离地0.8-1.2m左右，送风口测点位置离开送风面30cm左右，关键设备或关键工作活动范围处可增加测点，每个采样点一般采样一次。全部采样结束后，将培养皿放于恒温培养箱中培养，时间不少于48小时，每批培养基应该有对照实验，检验培养基是否污染。6、沉降菌工作区测点位置离地0.8-1.2m左右，将已制备好的培养皿置于采样点，打开培养皿盖，使其暴露规定的时间，再将培养皿盖上，将培养皿放于恒温培养箱中培养，时间不少于48小时，每批培养基应该有对照实验，检验培养基是否污染。7、噪声测量高度距离地面约1.2米，洁净室面积在15平方以下者，可只测室中心1点;面积在15平方米以上，还应再测对角4点，距侧墙各1米，测点朝向各角。8、照度测点平面离地面0.8米左右，按2米间距布点，30平方米以内的房间测点距边墙0.5米，超过30平方米的房间测点距离墙面1米。洁净室检测中发现的任何问题都应立即记录并跟踪处理。江苏电子厂房环境检测认真负责

洁净室的设计布局应便于检测和维护工作的开展。广东生物安全柜检测技术好

五、洁净室检测的应用1. 医药行业：医药制造需要在无菌环境下完成，因此需要设立无菌车间（即“百级”车间）。该车间内所有通风系统均需符合GMP规范，并经常性地受到监管机构审核。2. 电子行业：由于微型芯片制造需要极为干燥无尘且高温高压条件下完成，在微电子制造厂中必须建立超纯水站（UPW）以及超纯氮气站（NG）等设施来满足生产需要。3. 航天航空行业：航天器发射前需要进入“百万级”或“十万级”无菌车间进行组装与测试。这些车间具有完成**终装配所需条件（如真空环境），并能够有效防止外界杂质进入舱体内部。广东生物安全柜检测技术好