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-连接氮气，检查氮气供气压力为50psig()。，等几分钟后，气溶胶到达终端过滤器。?将扫描探头与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键，使光标停留在“上游80%浓度检测”，按“确认”;观察上游浓度数值，调节读数在20-80之间，读数稳定后记录下读数。?将扫描探头与下游浓度测试孔相连接。?调整光标至“使用内部参考值”?按“确认”键，调节参数值至测定的上游浓度值。?扫描过滤器表面及边框，距滤器表面距离约3cm。?采样头的往复扫描速度Sr约为15/Wp，使用3cm*3cm正方形采样头时，Sr=5cm/s;采用5cm*1cm的长方形采样头，Sr=3cm/s。(Sr为扫描速度，Wp为垂直于扫描方向的采样头宽度)。?将上游浓度测试管与上游浓度测试孔相连接。?按?或?键，使光标停留在“上游80%浓度检测”，按“确认”;观察上游浓度数值。上游浓度随时间变化不应超过平均测量值的±15%。?关闭气溶胶按钮。?氮气继续通过气溶胶发生器约30秒。?关闭N2。?关闭电源。表1高效过滤器完整性测试操作步骤局部层流/房间百级（高效检漏）非层流洁净室（高效检漏）A.拆除层流罩B.额定风速确定测量点距过滤器出风面约150-300mm测试点数取测试面积10倍的平方根，且不少点。洁净室检测数据应与其他质量控制数据相结合，综合分析。安徽洁净室检测服务至上

3.压差检测：洁净室与外界环境的压差是保持洁净室内洁净度的重要因素。压差检测通过对洁净室各区域的压差进行测量，确保洁净室内部与外部环境的压差符合规定要求，从而防止外部污染物进入洁净室。4.气流速度检测：洁净室内的气流速度对于维持洁净度至关重要。气流速度过快可能导致尘埃粒子飞扬，而气流速度过慢则可能导致尘埃粒子沉积。因此，气流速度检测是评估洁净室气流组织情况的重要手段。5.表面洁净度检测：洁净室内的各种表面，如墙壁、地面、设备外壳等，也是尘埃粒子容易沉积的地方。表面洁净度检测通过对这些表面的尘埃粒子数量进行检测，评估洁净室内部表面的洁净情况。江西电子厂房环境检测认真负责洁净室检测通常包括空气洁净度、温湿度、压差等多个参数。

洁净度检测方法(1)测洁净度的仪表为常用尘埃粒子计数器，粒径灵敏度为0.3m，测试前必须经过标定。室内测定人员不应超过3名，测定时人员必须站在采样点的下风侧静止不动或微动。(2)测量周期设成2分钟以上，测点改变时走动要尽量轻缓这是为了尽量减少因测试人员的走动或测试仪器的搬动引起周边空气非正常扰动的影响。(3)定洁净度的比较低采样点按JGJ71-90附录6.1规定，单向层流指送风面面积，乱流指房间面积每点采样次数不少于3次，各点采样次数可以不一样。(4)每次**小采样量按JGJ71-90附录6.2所示：0.3m1000级以下2.83L，100级5.66L；辨明级别，设定测定周期！(5)样口：单向流应对着气流方向，乱流洁净室向上采样速度均应尽量去接近室内气流速度。(6)点布置原则：多于5点可分层布置，但每层需多于5点；5点或5点以下布置在离地0.8米高的平面对角线上，或该平面上的两个过滤器之间的地点，也可以在认为需要的地方。(7)对于洁净度高于100级的单向流(层流)洁净室，测门开启状态下，离门口0.6m的室内侧工作面高度的粒子数。

（一）根据洁净度级别和空气净化系统确认的结果及风险评估，确定取样点的位置并进行日常动态监控。（二）在关键操作的全过程中，包括设备组装操作，应当对A级洁净区进行悬浮粒子监测。生产过程中的污染（如活生物、放射危害）可能损坏尘埃粒子计数器时，应当在设备调试操作和模拟操作期间进行测试。A级洁净区监测的频率及取样量，应能及时发现所有人为干预、偶发事件及任何系统的损坏。灌装或分装时，由于产品本身产生粒子或液滴，允许灌装点≥5.0μm的悬浮粒子出现不符合标准的情况。（三）在B级洁净区可采用与A级洁净区相似的监测系统。可根据B级洁净区对相邻A级洁净区的影响程度，调整采样频率和采样量。（四）悬浮粒子的监测系统应当考虑采样管的长度和弯管的半径对测试结果的影响。（五）日常监测的采样量可与洁净度级别和空气净化系统确认时的空气采样量不同。（六）在A级洁净区和B级洁净区，连续或有规律地出现少量≥5.0µm的悬浮粒子时，应当进行调查。使用激光尘埃粒子计数器可以精确测量空气中的微粒浓度。

A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。洁净室的设计布局应便于检测和维护工作的开展。福建洁净室环境检测诚信推荐

持续改进洁净室检测流程和方法，提高检测效率和效果。安徽洁净室检测服务至上

A、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过2人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。B、设备要在校准期内使用。C、检测前和检测后设备“清零”D、在单向流区域，所选择的采样探头应接近等动力采样，进入采样探头的风速与被采空气的风速偏差不应超过20%。若无法做到这一点，将采样口正对气流的主方向。非单向流的采样点，采样口应竖直向上。E、采样口至粒子计数器传感器的连接管应尽量短。采样点一般离地面0.8-1.2m左右，要均匀科学布点，而且要避开回风口。对任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目都不得少于2个，总采样数可根据面积开2次根求得。安徽洁净室检测服务至上