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（七）室内噪声1、仪器设备和环境仪器，设备测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计。环境温度常温或设计温度下。2、抽样对有噪声设计要求的各个场所分别测定。3、技术要求室内噪声级应符合《洁净厂房设计规范》GB50073-2001的规定。在空态情况下，非单相流洁净室不应大于60dBA；单向流、混合流洁净室不应大于65dBA；洁净室的噪声频谱限制各频带的声压级值不应大于《洁净厂房设计规范》GB50073-2001表4.4.2的规定。4、操作过程及判定（1）测噪声仪器为带信频程分析仪的声级计一般只测A声级的数值。必要时测倍频程声压级。（2）洁净室面积在15m点采样，除房间两对角线相交的室中心位置外，另在房间四角对角线上对称的选取4点。（3）执行标准的编号及标准实施日期。（4）被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。（5）被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径或沉降菌、浮游菌、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差、被测洁净室的温湿度、噪声。（6）测试用的仪器的编号和标定征书测试方法细则及测试中的特殊情况.（7）测试结果包括在采样点坐标图上注明所测的粒子浓度或沉降菌、浮游菌的菌落数。（8）对异常测试值进行说明及数据处理。洁净室检测过程中，应注重节能降耗，实现绿色生产。上海国内检测技术好

②沉降菌的测试对单向流如5级净化房间内及层流工作台测试应在净化空调系统正常运行不少于10分钟后开始；对非单向流如7级、8级以上的净化房间测试应在净化空调系统正常运行不少于30分钟开始。a.采样方法：将已制备好的培养皿放置在预先确定的取样点，打开培养皿盖使培养基表面暴露0.5小时再将培养皿盖上盖后倒置。b.培养全部采样结束，将培养皿倒置于恒温培养箱中培养。在30-35℃培养时间不少于48小时。每批培养基应有对照试验检查培养基本身是否污染可每批选定3只培养皿作对照培养。c.菌落计数用肉眼直接计数然后用5-10倍放大镜检查有否遗漏。若培养皿上有2个或2个以上菌落重叠可分辨时仍以2个或2个以上的菌落计数。北京生物安全柜检测认真负责蔚亚科技专注于洁净室检测、洁净室3Q验证、压缩空气检测、洁净设备检测。

（二）洁净室制造竣工验收的调试工作1、凡有试运转要求的设备单机试运转应符合设备技术文件的有关规定。属于机械设备的共性要求还应符合国家相关规定和机械设备施工安装方面的有关行业标准。通常洁净室需进行单机试运转的设备有空调机组、送风增压风机箱、排风设备、净化工作台、静电自净器、洁净干燥箱、洁净储物柜等局部净化设备以及空气吹淋室、余压阀、真空吸尘清扫设备等。2、在单机试运转合格后需对送风系统、回风系统、排风系统的风量、风压调节装置进行设定与调整使各系统的风量分配达到设计要求。这个阶段检测的目的主要是服务于空调净化系统的调节与平衡往往需要反复进行多次。此项检测主要由承包商负责建设方的维护管理人员宜于跟进以便熟悉系统。在此基础上再进行包括冷、热源在内的系统联合试运转时间一般不少于8h。要求系统中各项设备部件包括净化空调系统、自动调节装置等的联动运转与协调过程中应动作正确无异常现象。

a.首先应对测试仪器、培养皿表面进行严格消毒，采样器进入被测房间时，先用消毒房间的消毒剂灭菌。用于5级洁净房间的采样器宜一直放在洁净房间。b.采样者应穿戴洁净服双手要消毒。c.开动真空泵抽气使仪器中的残余消毒剂蒸发时间不少于5min，并调好流量转盘转速。关闭真空泵放入培养皿盖好盖子后调节采样器。d.置采样口于采样点后依次开启采样器、真空泵、转动定时器、根据采样量选定采样时间。全部采样结束后，将培养皿倒置于30-35℃恒温培养箱中，培养时间不少于48h。e.用肉眼直接计数，然后用5-10倍放大镜检查是否有遗漏，若平板上有两个或两个以上的菌落重叠分辨时，仍以两个或两个以上菌落计数。洁净室检测结果的准确性直接影响到产品质量的稳定性。

洁净室的主要作用是控制产品(如硅片等)所接触的大气的洁净室洁净度和温湿度，使产品能够在良好的环境空间中生产制造，从而我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化等级主要是根据空气中每立方米直径大于分类标准的颗粒数量来规定的。也就是说，所谓的无尘，并不是100%没有一点灰尘，而是控制在极少量的单位。当然，这个标准中符合粉尘标准的颗粒物，相对于我们常见的粉尘来说是非常小的，但是对于光学结构来说，哪怕是一点点的粉尘也会产生非常大的负面影响洁净室检测中发现的任何问题都应立即记录并跟踪处理。上海排风柜检测价格

根据洁净室的等级，合理选择洁净室的气流分布流型。上海国内检测技术好

四、照度标准规定：洁净区主要操作间照度不得少于300勒克斯，一般照明的照度均匀度不应小于0.7。洁净区的照度检查每年不得少于一次，在经过设备大修、厂房改造、工艺布局调整等变更的时候应在变更结束后重新检测照度。检测要求：室内照度测度必须在室温已趋稳定，光源光输出趋于稳定后进行（对荧光灯必须有100h）。检测方法:测点平面离地面0.85m，按间距1-2m布点，测点距墙面1m。其要求基本与洁净度的测定位置要求相同。记录实测照度值并计算总的平均照度。照度测量一般*测定除局部照明之外的一般照明。上海国内检测技术好