C.3已装过滤系统气溶胶光度计扫描检漏规程C.3.1进行已装过滤系统扫描检漏前,应已完成风速合格性检测。C.3.2过滤器上风向气溶胶适当粒径范围[质量中值粒径(MMD)一般为0.5μm~0.7μm,几何标准差可高达1.7];浓度为10mg/m~100mg/m。浓度低于20mg/m时检漏的灵敏度欠佳;高于80mg/m,长时间检测会过度污染过滤器。注入气溶胶与送风应均匀混合,上风向气溶胶浓度随时间的变化不应超过平均测量值的士15%。C.3.3按规定的扫描速度,移动采样探头往复扫描。采样头往复扫描速度为15/Wp,cm/s(Wp为垂直于扫描方向的采样口宽度。扫描速度为5cm/s。注:当使用3cm×3cm正方形采样头扫描时,扫描的覆盖面之间略有重叠。C.3.4采样口的风速接近过滤器出风面的风速(接近“等动力采样”)。采样探头距过滤器出风面和框架结构约3cm。C.3.5扫描应遍及过滤器的整个出风面、过滤器的周边、过滤器边框与安装构架之间的密封处及安装构架的结合点。C.3.6验收限值:当读数大于上风向气溶胶浓度的0.01%时,就认为存在渗漏。供需双方也可商定其他验收限值。扫描时任何显示大于或等于渗漏限值处,采样头应停留持续测量一段时间,光度计获得比较大读数时采样头的位置应判定为渗漏位置。洁净室等级划分世界各国均有自定规格。北京洁净度洁净室检测范围
C.1.3已装过滤系统其过滤器检漏C.1.3.1**的检测项目,对安装的过滤器进行检漏。C.1.3.2调试过程中承建商的检测已获得业主认可,在紧接着的洁净度项目检测过程中,可进行抽检或免检。C.1.3.3有条件时,宜将过滤系统安装调试过程的检漏与检测项目中**的过滤系统检漏合并;过滤系统检漏费时、费人力,整个洁净室建造过程中只给出一定的作业时间周期。C.1.4检漏方法检漏方法通常有“气溶胶光度计法”和“离散粒子计数器(DPC)法”。气溶胶光度计是测量空气中悬浮粒子的质量浓度,而离散粒子计数器是测量空气中悬浮粒子的数量和粒径,2种方法获得的结果不能进行直接比较。江苏静电洁净室检测分析洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。
9.1.1电子产品生产用纯水系统的选择,应根据原水水质和产品生产工艺对水质的要求,并结合系统规模、材料及设备供应等情况,经技术经济比较确定。9.1.2纯水的输送干管应敷设在技术夹层或技术夹道内;洁净室(区)内的纯水支管宜暗装。9.1.3穿越洁净室(区)墙壁、楼板、顶棚的纯水管道应设套管,套管与管道之间应采取密封措施。9.1.4洁净室(区)内纯水管道的保温材料,不得产生污染物,外表面应平整、光滑、易于清洁。。。。。。。。。
7.4.5干表冷器的设置应符合下列要求:1安装位置、外形尺寸应根据洁净厂房的平面和空间布置确定;2迎面风速、结构形式应根据洁净室(区)冷负荷、风机过滤器机组所提供的机外余压确定;3冷冻水进水温度,宜高于洁净室(区)内空气的**温度;4应设置排水设施。7.4.6净化空调系统空气处理机组的选用和布置,应符合下列要求:1应有良好的气密性,漏风率不得大于1%;2整体结构应有足够的强度和刚度,内表面应平整、光滑,外表面不应结露;3布置应整齐,并应便于运行和维修;当多套空气处理机组为同一洁净室(区)服务时,宜选用相同规格的空气处理机组;送风机宜采取变频调速措施。送风机可按净化空调系统的总风量和总阻力值进行选择。计算系统总阻力时,中效(高中效)、高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力宜按其初阻力的1.5~2.0倍取值;5应设置排水装置。单向流洁净室是:气流以均匀的截面速度,沿着平行流线以单一方向在整个室截面上通过的洁净室。
随着生产工艺对纯水水质的不断提高,甚至到了理论纯水的程度,尤其是集成电路的发展不但对水中电解质的含量要求极其严格,而且对细菌、微粒、有机物及溶解氧等都有极其严格的要求;医药工业中要求供应的注射用水,对水中含菌量、热源均有严格要求。除了严格的纯水制造过程外,纯水输送管道的管材选择和管网设计是保证使用点水质的关键。实践证明,采用循环供水方式是行之有效的。主要是基于保证输水管道内的流速和尽量减少不循环段的死水区,以减少纯水在管道内的停留时间,减少管道材料微量溶出物(即使目前质量比较好的管道也会有微量物质溶出)对超纯水水质的影响,同时,基于流水不腐的道理,高的流速也可以防止细菌微生物的滋生。在生产工艺平面区划时尽可能把相同级别的洁净房间布置在一起。江苏过滤器洁净室检测公司
正压洁净室联锁程序应先启动送风机,再启动回风机和排风机。北京洁净度洁净室检测范围
6.3.1洁净厂房的建筑围护结构和室内装修,应选用气密性良好,且在温度和湿度变化时变形小的材料。洁净室装饰材料及其密封材料不得采用释放对电子产品品质有影响物质的材料。装修材料的燃烧性能应符合现行国家标准《建筑内部装修设计防火规范》GB50222的有关规定。装修材料的烟密度等级不应大于50,材料的烟密度等级应符合现行国家标准《建筑材料燃烧或分解的烟密度试验方法》GB/T8627的有关规定。6.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列要求:1应满足使用功能的要求,且表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光、便于清洁,并应减少凹凸面,2当采用踢脚时,踢脚不宜突出墙面。北京洁净度洁净室检测范围
5.1.3主体结构要具备同建筑处理及其室内装备和装修水平相适应的等级水平。若室内装备与装修水平高,而主体结构为临时的,就会形成严重的浪费。本条规定着重于使洁净厂房在耐久性、装修与装备水平、耐火能力等几个方面相互协调,使投资长期发挥作用。此外,温度或沉陷不但可能影响安全,而且还会破坏建筑装修的完整性及围护结构的气密性,故须对主体结构采取相应措施。5.1.5对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房,在考虑其平面布局和构造处理时,应合理组织人流、物流运输及消防疏散线路,避免一般生产对洁净生产带来不利的影响。当防火方面与洁净生产要求有***时,应采取措施,在确保消防疏散的前提下,减少对洁净生产的不利影响。...