近年来,国内设计、建造的洁净厂房,一般是根据产品生产工艺要求或洁净厂房的布局情况按相邻洁净室(区)的洁净度等级确定洁净工作服更衣室的空气洁净度等级,还有一些洁净厂房虽然没有对洁净工作服更衣室、洁净工作服洗涤室提出空气洁净度等级要求,但室内采用高效空气过滤送风系统,或将洁净室内的净化空气部分地引人更衣室、洁净工作服洗涤室。为此,本次修订时对洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净区1级~2级和“洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8级”的规定取消,修改为将更衣室与洁净工作服洗涤室对空气净化要求的相关内容的规定合并在一条内:“宜根据产品生产工艺要求和相邻洁净室(区)的空气洁净度等级确定”。不再规定具体的“等级”或“等级范围”。减少涡流,避免把工作区以外的污染物带入工作区。北京洁净传递窗洁净室检测范围
10.3.1洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:1供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;3供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;4应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机,5含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。上海尘埃粒子洁净室检测服务商净化空调系统设计应合理利用回风。
1近年来,在大规模集成电路生产(前工序)用洁净厂房、TFT-LCD生产用洁净厂房的建造、设计中,基本上采用多层的布置方式,在洁净生产层吊顶格栅以上的上技术夹层常常作为送风静压箱,洁净空气通过FFU向洁净生产层送风,实际上,洁净生产层与上技术夹层是相通的;而洁净生产层的下部是活动地板及其支撑件和钢筋混凝土多孔板,在活动地板等以下是作为回风静压箱的下技术夹层,在下技术夹层常常还设置一些公用动力设备、辅助生产设备和公用动力管线等,洁净生产层的回风通过活动地板、多孔板回至下技术夹层,实际上,下技术夹层与洁净生产层是相通的,所以可以认为:电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。
4.4.3~4.4.6控制设备噪声首先要从声源上考虑,设计时应选用低噪声设备。在某些情况下,由于技术或经济上的原因而难以做到时,则应从噪声传播途径上采取降噪措施,如把高噪声工艺设备迁出洁净室或隔离布置于隔声间内。有些由于与生产联系密切,必须置于洁净区内的高噪声设备,亦可采用隔声罩隔绝噪声。国内现有洁净厂房中,不少洁净室将机械泵一类高噪声设备置于洁净室外套间或技术夹道内,洁净室内噪声有明显降低。洁净室的静态噪声主要来源于净化空调系统和局部净化设备运行噪声,静态噪声的大小与洁净室气流流型、换气次数等因素有关。但关键在于净化空调系统的布置及合理的降噪措施,不合理的设计方案必然导致较高的静态噪声。洁净环境是为生产工艺服务的,洁净室设计必须满足生产工艺的环境要求,这是理所当然的。
5.3.9空气洁净度等级要求较高的洁净室,其墙板和顶棚宜采用轻质壁板构造。轻质壁板连接构造的整体性和气密性是很重要的,整体性除靠板与板之间的雌雄槽紧密组合外,还靠上下马槽和板之间的严密结合,使洁净室形成一个完整的匣体。板壁之间的接缝应以硅橡胶等密封材料嵌缝密封,它的作用是防止灰尘在停机时从此进人室内,同时使洁净室在正常工作时易于保持正压,减少能量的损耗。此外,洁净室的关键密封部位是高效过滤器之间或高效过滤器与其安装骨架之间的缝隙,一定要***密封。目前国内使用的密封方法很多,如液槽密封、机械压垫密封等,但必须做到涂抹或填嵌方便,操作简单,而且还要考虑更换高效过滤器时方便拆装。总之,没有经过高效过滤器过滤的空气***不允许直接进入洁净室内。洁净室顶棚用轻质壁板应具有一定的承重能力,以便施工、运行时人员行走。空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。江苏洁净度洁净室检测技术好
有足够的风量,既为了稀释空气的含尘浓度,又保证有稳定的气流流型。北京洁净传递窗洁净室检测范围
6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局,应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。6.1.2洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不应采用内墙承重体系。6.1.3洁净厂房的立面设计应简洁、明快,并应适应洁净室(区)的布置要求。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、易清洁等要求。6.1.4洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备、生产环境控制设施协调,并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造,应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。北京洁净传递窗洁净室检测范围
1)单层洁净室,在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层,上技术夹层内设置空气过滤装置、风管和公用动力管线;下技术夹层为回风道。这种形式适用于规模较小的洁净室。2)多层洁净室,在单向流洁净生产区吊顶格栅以上设有送风静压箱或循环空气处理设备或空气过滤单元机组等的上技术层;在单向流洁净生产区的活动地板以下设有回风静压箱或辅助生产设备或公用动力设备、管线等的下技术层。有的电子工业洁净厂房的下技术层根据需要可为一层或二层。断截面上风速一致,有垂直单向洁净室,准垂直单向流,水平单向流洁净室等。北京洁净设备3Q验证洁净室检测诚信推荐近年来,国内外一些洁净厂房中一级用电负荷因雷击及电源瞬时变动而引起停...