D.3.7噪声检测,应符合下列规定:1洁净室(区)内的噪声检测应采用带倍频程分析的声级计。2洁净室(区)内的噪声检测点应根据电子产品生产工艺要求确定。噪声检测点宜距地面1.1~1.5m,距墙应大于3m;检测点的布置宜按洁净室(区)面积均分,宜每100m2设一检测点。D.3.8照度测试,应符合下列规定:1洁净室(区)内照度检测宜采用便携式自动记录照度计。2照度检测应在室内温度稳定、光源光输出稳定后进行。洁净室(区)照度检测不应包括生产设备等的局部照明和备用照明。3照度检测点应设在工作高度,宜距地面0.85m,应每25m2设一个测点。洁净室绝不仅于“洁净”,而必须是一个对冷热、噪声、照度、静电、微振都有相当要求的多功能的综合体。洁净传递窗洁净室检测第三方检测机构
8.1.1洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定:1洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。2干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。3易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。4当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时,必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。8.1.2洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。8.1.3工业管道设计应符合下列规定:1应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。2在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。3应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。4管道系统应设必需的吹除口、放净口和取样口。8.1.4工业管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可靠的密封措施。8.1.5可燃气体管道、氧气管道的末端或比较高点均应设置放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m,并应有防雨、防杂物侵入的措施。
洁净工作台洁净室检测认真负责在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。
5.1.3主体结构要具备同建筑处理及其室内装备和装修水平相适应的等级水平。若室内装备与装修水平高,而主体结构为临时的,就会形成严重的浪费。本条规定着重于使洁净厂房在耐久性、装修与装备水平、耐火能力等几个方面相互协调,使投资长期发挥作用。此外,温度或沉陷不但可能影响安全,而且还会破坏建筑装修的完整性及围护结构的气密性,故须对主体结构采取相应措施。5.1.5对兼有一般生产和洁净生产的综合性厂房,在考虑其平面布局和构造处理时,应合理组织人流、物流运输及消防疏散线路,避免一般生产对洁净生产带来不利的影响。当防火方面与洁净生产要求有***时,应采取措施,在确保消防疏散的前提下,减少对洁净生产的不利影响。
(1)洁净厂房是现代科学技术发展的产物。随着科学技术的日新月异,新技术、新工艺、新产品不断出现,产品精密度的日益提高,对无尘提出了越来越高的要求。目前,洁净厂房已广泛应用于电子、生物制药、宇航、精密仪器制造等重要部门。(2)洁净厂房的空气洁净度对有净化要求的产品质量有很大影响。因此,必须保持净化空调系统的正常运行。据了解,在规定的空气洁净度下生产的产品合格率可提高约10%~30%。一旦停电,室内空气会很快污染,影响产品质量。(3)洁净厂房是个相对的密闭体,由于停电造成送风中断,室内的新鲜空气得不到补充,有害气体不能排出,对工作人员的健康是不利的。洁净区与室外的压差不应小于10Pa。
1近年来,在大规模集成电路生产(前工序)用洁净厂房、TFT-LCD生产用洁净厂房的建造、设计中,基本上采用多层的布置方式,在洁净生产层吊顶格栅以上的上技术夹层常常作为送风静压箱,洁净空气通过FFU向洁净生产层送风,实际上,洁净生产层与上技术夹层是相通的;而洁净生产层的下部是活动地板及其支撑件和钢筋混凝土多孔板,在活动地板等以下是作为回风静压箱的下技术夹层,在下技术夹层常常还设置一些公用动力设备、辅助生产设备和公用动力管线等,洁净生产层的回风通过活动地板、多孔板回至下技术夹层,实际上,下技术夹层与洁净生产层是相通的,所以可以认为:电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。设置在同一洁净室内的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近。江苏实验室环境洁净室检测服务至上
中效或高中效空气过滤器宜集中设置在空调箱的正压段。洁净传递窗洁净室检测第三方检测机构
D.3.2静压差测试,应符合下列规定:1静压差的测定应在所有的门关闭时进行。2仪器宜采用各种型式的微压计,仪表灵敏度应小于1.0Pa。3洁净厂房有多个洁净室(区)时,应从极里面的房间与相邻房间的压差测试开始,并应按顺序向外进行检测。D.3.3已安装的空气过滤器泄漏测试,应符合下列规定:1仪器应使用采样量大于11/mn的光学粒子计数器。2应在过滤器上风侧引入大于等于0.1pm(0.5um)粒子,粒子浓度应大于3.5×10'P/m³的大气尘或其他气溶胶;在过滤器下风侧应用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面20~30mm处,并应以5~20mm/s速度移动。应检测包括过滤器的整个面和过滤器周边、过滤器框架及其密封处的扫描。洁净传递窗洁净室检测第三方检测机构
8.1.1洁净室(区)工业管道的敷设应符合下列规定:1洁净室(区)内工业管道不应穿越无关的房间。2干管应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内。3易燃、易爆、有毒物质管道应明敷。4当易燃、易爆、有毒物质管道敷设在技术夹层或技术夹道内时,必须采取可靠的浓度检测报警、通风措施。8.1.2洁净室(区)工业管道的设计应符合现行国家标准《工业金属管道设计规范》GB50316的有关规定。8.1.3工业管道设计应符合下列规定:1应按输送介质的物化性质,合理确定管内物料流速和管径。2在满足生产工艺的条件下,管道系统应尽量短。3应避免出现不易吹除的盲管、死角和不易清扫的部位。4管道系统应设必需的吹除口、放净口和取...