近年来,国内设计、建造的洁净厂房,一般是根据产品生产工艺要求或洁净厂房的布局情况按相邻洁净室(区)的洁净度等级确定洁净工作服更衣室的空气洁净度等级,还有一些洁净厂房虽然没有对洁净工作服更衣室、洁净工作服洗涤室提出空气洁净度等级要求,但室内采用高效空气过滤送风系统,或将洁净室内的净化空气部分地引人更衣室、洁净工作服洗涤室。为此,本次修订时对洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净区1级~2级和“洁净服洗涤室的空气洁净度等级不宜低于8级”的规定取消,修改为将更衣室与洁净工作服洗涤室对空气净化要求的相关内容的规定合并在一条内:“宜根据产品生产工艺要求和相邻洁净室(区)的空气洁净度等级确定”。不再规定具体的“等级”或“等级范围”。一般情况下,净化空调系统的能耗比一般空调系统的能耗大的多。江苏实验室洁净室检测分析
6.1.1洁净厂房的建筑平面和空间布局,应根据电子产品发展以及生产工艺改造和扩大生产规模的要求确定。6.1.2洁净厂房的主体结构宜采用大空间及大跨度柱网,不应采用内墙承重体系。6.1.3洁净厂房的立面设计应简洁、明快,并应适应洁净室(区)的布置要求。洁净厂房围护结构的材料选型应满足保温、隔热、防火、防潮、少产尘、易清洁等要求。6.1.4洁净厂房主体结构的耐久性应与电子产品生产线设备、生产环境控制设施协调,并应具有防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能。厂房变形缝不宜穿越洁净区。6.1.5设有上技术夹层、下技术夹层的洁净厂房的建筑平面、空间布局和构造,应满足产品生产工艺、自动化运输和公用动力设施安装和维修的要求。上海排风柜洁净室检测服务洁净室(区)与周围的空间必须维持一定的压差,并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。
5.3.9空气洁净度等级要求较高的洁净室,其墙板和顶棚宜采用轻质壁板构造。轻质壁板连接构造的整体性和气密性是很重要的,整体性除靠板与板之间的雌雄槽紧密组合外,还靠上下马槽和板之间的严密结合,使洁净室形成一个完整的匣体。板壁之间的接缝应以硅橡胶等密封材料嵌缝密封,它的作用是防止灰尘在停机时从此进人室内,同时使洁净室在正常工作时易于保持正压,减少能量的损耗。此外,洁净室的关键密封部位是高效过滤器之间或高效过滤器与其安装骨架之间的缝隙,一定要***密封。目前国内使用的密封方法很多,如液槽密封、机械压垫密封等,但必须做到涂抹或填嵌方便,操作简单,而且还要考虑更换高效过滤器时方便拆装。总之,没有经过高效过滤器过滤的空气***不允许直接进入洁净室内。洁净室顶棚用轻质壁板应具有一定的承重能力,以便施工、运行时人员行走。
5.3.5洁净厂房空气吹淋室的设计,应符合下列要求:1在洁净室(区)的入口处宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;2吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位;3单人空气吹淋室,应按比较大班人数每30人设一台。洁净室(区)工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;4空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;5空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室(区),宜设气闸室。5.3.6人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级,宜由外至内逐步洁净,室内可送入经过高效空气过滤的洁净空气。洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室(区)的空气洁净度等级;当设有洁净工作服洗涤室时,洗涤室的空气洁净度等级宜为8级。设置在同一洁净室内的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率应相近。
10.3.1洁净厂房内的干燥压缩空气系统应根据各类产品生产工艺要求、供气量和供气品质等因素确定,并应符合下列规定:1供气规模应按产品生产所需供气量和计入必要损耗量确定,并应设有一定的备用供气量;2供气品质应根据生产工艺对含水量、含油量、微粒粒径及其浓度等要求确定;3供气系统可集中设置在洁净厂房内的供气站或洁净厂房外的综合动力站;4应选用能耗少、噪声低的设备,宜选用无油润滑空气压缩机,5含水量要求严格时,宜选用加热再生吸附干燥装置。空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。北京医疗净化车间洁净室检测服务商
在洁净室设计时生产工艺对环境参数的要求应该实事求是。江苏实验室洁净室检测分析
1近年来,在大规模集成电路生产(前工序)用洁净厂房、TFT-LCD生产用洁净厂房的建造、设计中,基本上采用多层的布置方式,在洁净生产层吊顶格栅以上的上技术夹层常常作为送风静压箱,洁净空气通过FFU向洁净生产层送风,实际上,洁净生产层与上技术夹层是相通的;而洁净生产层的下部是活动地板及其支撑件和钢筋混凝土多孔板,在活动地板等以下是作为回风静压箱的下技术夹层,在下技术夹层常常还设置一些公用动力设备、辅助生产设备和公用动力管线等,洁净生产层的回风通过活动地板、多孔板回至下技术夹层,实际上,下技术夹层与洁净生产层是相通的,所以可以认为:电子工厂洁净厂房垂直单向流洁净室的空间包括活动地板以下的下技术夹层,洁净生产层和吊顶以上的上技术夹层。江苏实验室洁净室检测分析
5.3.5洁净厂房空气吹淋室的设计,应符合下列要求:1在洁净室(区)的入口处宜设空气吹淋室。当不设空气吹淋室时,应设气闸室;2吹淋室应设在更换洁净工作服后的相邻部位;3单人空气吹淋室,应按比较大班人数每30人设一台。洁净室(区)工作人员超过5人时,空气吹淋室一侧应设单向旁通门;4空气吹淋室的进、出门不得同时开启,应采取连锁控制措施;5空气洁净度等级为5级或严于5级的垂直单向流洁净室(区),宜设气闸室。5.3.6人员净化用室和生活用室的空气洁净度等级,宜由外至内逐步洁净,室内可送入经过高效空气过滤的洁净空气。洁净工作服更衣室的空气洁净度等级宜低于相邻洁净室(区)的空气洁净度等级;当设有洁净工作服...