洁净室环境检测

洁净室在现代工业中早已被广泛应用于半导体生产、液晶萤幕生产、生化技术、生物技术、精密器械、制药、医院等行业之中，尤其以半导体晶圆制程对无尘等级的要求比较高，因为现今的晶圆已经发展到奈米级的水准，随便一粒灰尘掉落在晶圆上都可能造成整个晶圆线路的毁损，甚至导致这个晶圆必须报废。无尘室除了管控空气中的微尘粒子之外，还分成正压无尘室与负压无尘室。一般正压无尘室比较常见，就是让室内的空气压力大于室外的压力，这样才可以控制室内空气往外吹以杜绝外部的污染源。检测为送回风口的布置和气流的通畅创造条件：气流设计时要考虑高大设备对气流组织的影响。洁净室环境检测

B.3.3.3.2离散粒子计数器（DPC）测量使用离散粒子计数器测量大粒子的方法与B.1中的空气悬浮粒子计数方法基本相同，不同点只有一处，由于只需要大粒子的计数数据，因此对1μm以下粒子的仪器灵敏度无要求。注意离散粒子计数器的样本需是直接采自采样点的空气；计数器采样管的长度不得超过1m；离散粒子计数器的采样流量至少0.00047m/s。单向流洁净室中，计数器采样口的尺寸应适应等动力采样。在非单向流区域，离散粒子计数器的采样口应朝上，采样口直径应不小于30mm。设定计数器的粒径范围，使其只测量大粒子。为了保证所测粒子的浓度不大于出现重叠误差的浓度，应保留一个低于5μm（见GB/T25915.1-2010中表1）的粒径档。将这个小于5μm粒径档的浓度数据加到大粒径数据中，浓度之和不应超过所用粒子计数器比较大浓度建议值的50%。洁净室环境检测洁净室检测中，需特别关注空气交换率和自净时间。

5.3.2洁净室内墙壁和顶棚的装修应符合下列规定：1洁净室内墙壁和顶棚的表面应平整、光滑、不起尘、避免眩光，便于除尘，并应减少凹凸面。2踢脚不应突出墙面。3洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面，当必须采用时宜采用干燥作业，抹灰应采用符合现行国家标准《建筑装饰装修工程质量验收规范》GB50210中高级抹灰的要求。墙面抹灰后应刷涂料面层，并应选用难燃、不开裂、耐腐蚀、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。...............

在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。洁净室检测不仅关注硬件设施的完善，还注重人员操作的规范性。

（三）空气过滤器的泄露1、仪器设备及环境测量仪器尘埃粒子计数器、气溶胶发生器。环境温度常温或设计温度下。2、抽样高效过滤器本体在进入现场前，生产厂家应按规定进行性能试验，并提供合格证。在单向流洁净室对安装的高效空气过滤器应该逐台进行检漏，乱流洁净室对于7级或更低级别的洁净室，只要洁净室达到了所要求的空气洁净度级别，就可以不进行检漏。3、技术要求检漏的结果要符合条件：由受检过滤器下风侧测到的漏泄浓度换算成透过率，对于高效过滤器应不大于过滤器出厂合格率的2倍，对于超高效过滤器应不大于出厂合格透过率的3倍。5、操作过程及判定过滤器的检漏是指安装完成的空气过滤器的检漏适用于空态或静态的洁净室。对于安装于送、排风末端的高效过滤器，应用扫描法进行过滤安装边框和全断面检漏，扫描法有检漏仪法光度计法和采样量**小为1L/min的粒子计数器法两种。采用非接触式检测技术，减少对洁净室的潜在污染。上海电子厂房环境检测值得推荐

定期进行光照度检测，确保工作区域光线充足且均匀。洁净室环境检测

（1）在静态条件下洁净室（区）监测的悬浮粒子数、浮游菌数或沉降菌数必须符合规定。测试方法应符合现行国家标准《医药工业洁净室（区）悬浮粒子的测试方法》GB/T16292、《医药工业洁净室（区）浮游菌的测试方法》GB/T16293和《医药工业洁净室（区）沉降菌的测试方法》GB/T16294的有关规定；（2）空气洁净度100级的洁净室（区）应对大于等于5μm尘粒的计数多次采样，当大于等于5μm尘粒多次出现时，可认为该测试数值是可靠的。（3）洁净室（区）的温度和湿度，应符合规定：生产工艺对温度和湿度无特殊要求时，洁净室（区）温度应为18～26℃，相对湿度应为45%～65%（4）不同空气洁净度等级的洁净室（区）之间以及洁净室（区）与非洁净室（区）之间的空气静压差不应小于5Pa，洁净室（区）与室外大气的静压差不应小于10Pa。（5）洁净室（区）应根据生产要求提供照度，并应符合下列规定：1)主要工作室一般照明的照度值宜为300lx。2)辅助工作室、走廊、气闸室、人员净化和物料净化用室的照度值不宜低于150lx。3)对照度有特殊要求的生产部位可设置局部照明。洁净室环境检测