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高效过滤器在检漏前,应检测上游气溶胶浓度是否达到要求。市场上常见的光度计在进行高效过滤器检漏时,上游气溶胶的质量浓度需要能够达到20 .80 μg/L为了保证下游数据不受环境影响,高效过滤器下游出口应设置临时的围挡或软帘。过滤器下游出风面在可以逐点扫描的情况下,能够测得高效过滤器任何位置包括边框的泄漏率,少量生产设备的高效过滤器位于设备内部无法进行逐点扫描,此时只能在设备出风口检测过滤器的整体泄漏率。

在下游扫描时,扫描速度应在5~8 m/s。


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用光度计法进行过滤器泄漏检测步骤相对简单,只要对将上游气溶胶浓度设置为基准,下游以不超过5 cm/s的扫描速度进行扫描。气溶胶光度计会根据下游测得的气溶胶浓度实时计算出被测高效过滤器渗透过率。一旦渗透过率超过高效过滤器限制值(通常为0.01%),则被判定为泄漏点。泄漏点可以进行修补后再进行检测。但如果单个泄漏点的面积过大(超过过滤器面积的1%),或者所有泄漏点面积之和过大(超过过滤器面积的5% ),则应该直接更换过滤器。山东电子厂房环境检测诚信推荐检测是验证洁净室是否达标的一个指标。

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噪声超标问题

噪声超标,可能是风管太小,以致于气流速度过高,气流产生噪声,通常工作面高度气流速度应该控制在0.25m/s左右的。我们还可分析于消声系统问题,如发现未装消声器、劣质消声器、送风系统消声器配置不合理。也可能为FFU单机噪声偏高。或者是环境背景噪声影响,如工艺设备噪声、气体管道阀门泄漏、动力设施噪声源传播等。此外, 我们还可以考虑可能是标准指标不合适:通常控制值单向流<65dB(A),非单向流<60dB(A)。

《电子工业洁净厂房设计规范》(GB 50472- 2008)。 本标准“附录D洁净室(区)性能测试和认证”的要点:

1)风速和风量的检测。对于单向流洁净室,检测平面应取离高效过滤器300mm垂直于气流的截面。

2)静压差的检测。检测静压差的时候应该关闭全部门窗。检测仪器的灵敏度应小于1.0Pa。有多个洁净室时,应由里向外按顺序检测。

3)空气过滤器安装后的检漏。光学粒子计数器的采样量应大于1 L/min。应在过滤器的上风侧引人不小于0.1 um (0.5 μm)的粒子,其浓度应大于3.5x10 pc/m'。微粒仪距离滤器表面20 ~30 mm处等速采样,并以5 ~ 20 mm/s速度移动。

4)洁净度的检测。少采样点和每次少采样量与ISO 14644基本相同。

5)温度和湿度的检测。检测点的覆盖面积不大于100m2。每个房间不少于2个检测点。检测点应设在洁净室工作高度,且距吊顶、墙和地面不少于300 mm。

6)噪声的检测。每100m2设1个检测点。检测点距地面1.1~1.5m,距墙大于3 m。

7)照度的检测。检测点应设在洁净室工作高度,宜距地面0. 85m,每25 m2设1个检测点。


上海蔚亚科技专门洁净室环境检测。

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洁净室压差 与风量的关系

洁净室压差控制的基本原理是控制送风量、回风量和排风量。当维持送人洁净室内的空气量适当多于机械回风和机械排风量,可维持室内一定的正压值。但洁净空调系统过滤器积尘造成新风、送风管道用力增加影响风量,与楼道、室外相邻的治冲室也会因热压、凤压变化影响房间的正压,因此洁净室压差雷经常进行检测。

为防止污染物透过围护结构健腺侵人清净室,洁净室及洁净设施的围护结构应有良好的气密性,同时和不清洁的周边环境要维持一-定的正压差。 洁净室的正压是靠送风与回风和排风的差值实现的。

《洁净厂房设计规范》(CB 50073- -2013) 中对洁净室的压差控制规定:洁净室与周围的空间必须维持一定的压差, 并按生产工艺要求决定维持正压差或负压差;不同级别洁净室以及洁净区与非洁净区之间的压差应不小于5 Pa,洁净室与室外的压差应不小于10Pa。 洁净室环境检测依据行业标准及国家标准。辽宁洁净室检测认真负责

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 空气洁净技术的发展历程

空气洁净技术(又称洁净技术或洁净室技术)初是指以控制室内空气中悬浮赖科浓度为目标的相关技术。悬浮颗粒物的浓度用单位体积空气中大于等于某一粒径的颗粒物的允许数量来表示,通常也称为空气的洁净度,并以此来划分洁净度等级。

初运用洁净技术是为了提高精密产品(如仪器仪表)的成品率或降低其故障率。随着科学技术的发展,各种工业产品特别是微电子产品的精密度越来越高,对生产环境的洁净度要求也越来越高,控制的对象也从单一的悬浮颗粒物扩 展到有害气体。洁净技术在控制空气中的悬浮颗粒物的同时,也有效地控制了空气中的细的和有害微生物,所以又逐步推广到医疗、制药、生物等领域,形成了当前比较完善的洁净技术体系。 江苏洁净室检测诚信推荐

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洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气,以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此,测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此,其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物,因此它们是主要关注的检测项目。技术实力:全国多家自建实验室分支,检测更便捷。湖北洁净室检测哪家好每台风机出风面至少1点平均风速范围:m/s±20%额定风量测定用风量罩测试送风量风量罩的上开口应完全罩住过滤器或散流器C...

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