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洁净室压差的基本概念及检测意义

洁净室的压差就是洁净室与周围空间必须维持的静压差，必要的压差是控制漏气方向的手段，是正常工作的基本条件。微电子行业的洁净室为了保证洁净度，不允许低洁净度的空气向高洁净度区域泄漏;菌落实验室或传染病房，不允许室内空气向室外泄漏。

为了控制区域之间的漏气方向，对于区域之间的气压差有较严格的要求。一般要求洁净室内的气压高于室外，或要求高级别洁净室的气压高于低级别的洁净室，或要求室内的气压低于室外。工业洁净室和般生物洁净室都采用维持正压。对于使用有毒、有害气体或使用易燃易爆溶剂或有高粉尘操作的洁净室，生物洁净室以及其他有特殊要求的生物洁净室需要维持负压。所以，测定宿净室的气压差很重要。

压差检测的目的是测定洁净室的静压差，它可以是正压或负压，以防止洁净室内(外)气流间被污染。当不同空气洁净度等级或产品生产I艺性质不同的房间之间按规定维持一定的静压差时，相邻洁净室之间如果静压差过大或因建造原因带来的缝隙，将会造成空气泄漏，严重时会使洁净室内的气流紊乱，所以洁净室之间的静压差范围一般为5~20Pa, 并应采取可行的技术措施控制洁净室之间的静压差。

洁净度等级是指洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子比较大浓度限值进行划分的等级标准。广东实验室检测

洁净室换气次数的计算方法

洁净室的换气次数主要根据洁净室的送风量确定。婴计算洁净室的换气次数，需要先确定洁净室的送风量。

根据洁净室的气流组织不同以及洁净室的送回风形式不同，洁净室风量的检测也有很多种方法，目前工程上比较常用的有如下几种。

1.使用电子风量仪进行送风量检测。

2.采用风速仪检测风口截面的风速和出风口面积，计算风口的风量。

3.采用风速仪检测风管截面的风速和风管面积，计算风管的风量。

换气的作用是保证有足够的洁净空气稀释室内污染空气。换气次数计算公式为:

N=L/V

式中N-房间换气次数， 次/h;

L-洁净室的总送风量， m/h;

V-洁净室体积， m³。

洁净室房间体积应按洁净室建筑情况正确计算。例如，长方体的洁净室，内部有地板下部空间和天花吊顶上部空间，则其房间体积计算等于房间的长宽高乘积，其中房间高为净高，即房间原高减去地板高度和吊顶高度。

粒子计数法

粒子计数法在欧洲通用，美国超高效过滤器检测方法也与之类似，这是目前国际上的主流检测方法。尘源为多分散相液滴，或确定粒径的固体粉尘。有时，过滤器厂商要按照用户的特殊要求，使用大气粉尘或其他特定粉尘。若检测中使用的是凝结核计数器，就必须使用粒径已知的单分散相检测尘源。主要检测仪器为大流量激光粒子计数器或凝结核计数器(CNC)。用计数器对过滤器的整个出风面进行扫描检测，计数器给出每点的粉尘个数，还可以比较各点的局部效率。 动态：处于正常使用的洁净室，服务功能完善，有设备和人员。

《洁净厂房设计规范》GB50073-2013规定：

洁净室（区）与周围的空间必须维持一定的压差，并应按工艺要求决定维持正压差或负压差。不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa，洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa，洁净区与室外的压差不应小于10Pa。

《医院洁净手术部建筑技术规范》GB50333-2013规定：

相互连通的不同洁净度级别的洁净用房之间，洁净度高的用房应对洁净度低的用房保持相对正压。比较低静压差应大于或等于5Pa，比较大静压差应小于20Pa，不应因压差而产生哨音或影响开门。

相互连通的相同洁净度级别的洁净用房之间，宜有适当压差，保持要求的气流方向。

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风速风量换气次数

洁净室、洁净区的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定洁净室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。

单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此它们是主要关注的检测项目。

非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越明显，洁净度也相应提高。所以非单相流洁净室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。 广东实验室检测