上海弥正推出行业的超高纯气体回收再利用系统,针对半导体、光伏等行业的工艺尾气,实现高效回收、提纯与循环利用,为客户创造经济与环境双重价值。该系统可适配三氟化氮、硅烷、氢气等多种气体,通过低温冷凝、吸附分离与精密过滤等多级处理工艺,将原本直接排放的工艺尾气提纯至 5N-6N 级纯度,回收利用率比较高可达 90%。以半导体刻蚀工艺中常用的三氟化氮为例,传统使用模式下利用率不足 50%,大量尾气被浪费并污染环境,采用该回收系统后,客户气体采购成本降低 40%,同时大幅减少温室气体排放。提供 “定制化系统 + 运维服务” 的整体解决方案,根据客户生产规模与气体种类,设计专属回收流程,配备专业团队负责系统安装、调试与定期维护,并提供回收气体的质量检测报告。某半导体代工厂应用该系统后,年节省气体采购费用超 600 万元,工艺尾气排放量减少 80%,顺利通过 ISO 14064 碳足迹核查,实现了经济效益与环保责任的统一。超高纯氧气纯度≥99.999%,用于医疗供氧与电子行业氧化反应。江苏四氟化碳超高纯气体半导体制造

上海弥正推出超高纯气体租赁服务,为中小批量生产企业与科研机构提供灵活的气体供应方案,有效降低前期投入成本。租赁服务涵盖气瓶、减压阀、流量控制器等全套设备,客户无需购买昂贵的储存与输送设备,需根据实际使用量支付气体费用,设备维护与保养由上海弥正全程负责。可提供短期租赁(1-3 个月)与长期租赁(1 年以上)两种模式,租赁期间支持气体品种与纯度的灵活调整,满足客户不同阶段的使用需求。配备专业团队定期检查租赁设备运行状态,确保气体供应稳定与使用安全,同时提供的设备操作培训服务。某中小型电子企业应用租赁服务后,前期设备投入成本降低 80%,气体使用成本节约 30%,同时避免了设备闲置浪费,根据生产需求灵活调整供气规模,成为中小企业降低运营成本的方案。浙江氮气超高纯气体超高纯氮气与氢气混合气(比例可调),用作退火工艺保护气。

上海弥正为高校、科研机构提供科研级超高纯气体供应服务,涵盖物理、化学、材料科学等多个研究领域,以 “高纯度 + 高稳定性” 助力前沿研究开展。可提供 5N-9N 级多种超高纯气体,包括稀有气体、活性气体、特种气体等,部分气体纯度可达 99.9999999%(9N 级),杂质含量控制在 ppt 级别,满足精密实验要求。提供小批量、多品种的灵活供应模式,小包装规格为 1L,支持单一气体与混合气体定制,混合气体配比精度达 ±0.01%。配备专业科研服务团队,可根据实验方案提供气体选择建议与使用指导,协助客户解决实验过程中的气体相关问题;同时提供快速配送服务,科研急需气体可实现 24 小时内送达。某高校材料科学实验室应用后,纳米材料制备实验成功率提升 40%,实验数据重复性达 98%;某科研机构使用后,精密仪器分析精度提高,研究成果发表效率提升,成为科研领域可靠的气体供应商。
上海弥正超高纯氮气(纯度达 6N 级),专为半导体晶圆加工设计,以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺,将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下,完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体,它能有效隔绝空气与工艺环境接触,防止晶圆表面氧化或污染,保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统,气瓶内壁经电解抛光处理,避免二次污染,气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后,晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%,芯片良率提升 2.8%,连续供应 12 个月无纯度波动问题,完全适配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生产需求,成为半导体产业不可或缺的惰性保护解决方案。
超高纯二氧化碳用于超临界萃取,提取食品与医药中的有效成分。

上海弥正创新推出 “现场制气 + 纯化” 一体化服务模式,为半导体、光伏等大规模连续生产企业提供高效、节能、稳定的超高纯气体供应,颠覆传统瓶装运输模式。根据客户的气体需求量与纯度要求,在客户厂区内搭建小型化、模块化的制气与纯化装置,可现场生产氮气、氩气、氢气等基础气体,并通过集成的提纯系统将其升级至 5N-7N 级超高纯标准,实现气体的 “即产即用”。该模式省去了气瓶运输、存储与更换的繁琐流程,不仅大幅降低了运输成本与碳排放,还彻底避免了长途运输可能导致的气体污染与纯度衰减风险。配备远程监控与智能运维系统,实时监测设备运行状态与气体纯度,确保 24 小时稳定供应,运维响应时间≤2 小时。某大型光伏企业应用该模式后,超高纯氢气的供应成本降低 35%,气体纯度稳定性提升至 99.99%,年减少运输相关碳排放超 2000 吨,生产连续性得到有力保障。超高纯六氟化钨纯度≥99.999%,是半导体金属化工艺的钨源气体。上海氧硫化碳超高纯气体生产厂家
超高纯二氧化碳纯度达 99.995%,适配食品冷链与激光焊接保护。江苏四氟化碳超高纯气体半导体制造
上海弥正超高纯乙硼烷(5N 级纯度),专为 FinFET、GAA(全环绕栅极)等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计,以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术,将杂质含量控制在极低水平,其中磷、砷等杂质含量≤5ppt,水分含量≤10ppb,满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中,它能提供高浓度的硼离子,实现对半导体材料的准确、浅度掺杂,形成高性能的 P 型半导体层,其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压,对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案,可根据客户工艺需求,将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气,采用不锈钢管道输送,配备在线浓度监测与自动报警系统,确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后,GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V,开关电流提升 20%,成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。江苏四氟化碳超高纯气体半导体制造
上海弥正气体有限公司汇集了大量的优秀人才,集企业奇思,创经济奇迹,一群有梦想有朝气的团队不断在前进的道路上开创新天地,绘画新蓝图,在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的信誉,信奉着“争取每一个客户不容易,失去每一个用户很简单”的理念,市场是企业的方向,质量是企业的生命,在公司有效方针的领导下,全体上下,团结一致,共同进退,**协力把各方面工作做得更好,努力开创工作的新局面,公司的新高度,未来上海弥正气体供应和您一起奔向更美好的未来,即使现在有一点小小的成绩,也不足以骄傲,过去的种种都已成为昨日我们只有总结经验,才能继续上路,让我们一起点燃新的希望,放飞新的梦想!