上海弥正率先采用 100% 绿电(光伏与风电)驱动的电解水制氢工艺,生产超高纯氢气(6N 级纯度),实现从生产源头的低碳化,助力客户达成 “双碳” 目标。该工艺以纯水为原料,通过可再生能源发电进行电解,全程无化石燃料消耗,每立方米氢气的碳足迹较传统工艺降低 95% 以上,完全符合清洁能源发展趋势。经膜分离与催化脱氧组合提纯后,氢气纯度稳定在 99.9999%,杂质含量≤1ppb,不仅可作为燃料电池汽车的重心燃料,为氢能交通提供动力,也可广泛应用于光伏、半导体等行业的绿色制造流程。建立 “生产 - 使用 - 回收” 的闭环体系,为使用客户配套氢气回收与纯化装置,回收率可达 85%,回收后的气体经处理可再次达到超高纯标准循环使用。某新能源汽车企业应用该绿电制氢产品后,其燃料电池系统的碳排放量降低 60%,获得欧盟 “绿色氢能” 认证;某光伏企业将其用于多晶硅还原,年碳排放减少 1.2 万吨,成功入选绿色工厂名单。超高纯氯气用于水处理消毒,高效杀灭细菌与微生物。浙江氪气超高纯气体核磁共振成像

上海弥正低超高纯气体系列(≤-80℃),专为对水分敏感的电子制造、精密仪器等领域设计,以 “干燥 + 高纯度” 杜绝水分导致的生产缺陷。通过深度干燥与吸附提纯工艺,将气体中的水分含量控制在 50ppb 以下,部分产品(如超高纯氮气、氩气)可低至 - 90℃,同时保证气体纯度达 6N 级以上,完全满足半导体光刻、薄膜沉积等工艺对水分的要求。水分是电子制造中的 “隐形”,可能导致晶圆氧化、薄膜层间剥离、金属电极腐蚀等严重问题,直接影响产品良率。该系列气体采用全程干燥的生产、包装与输送系统,气瓶内壁经特殊处理,防止水分吸附,输送管路配备在线监测仪,实时监控气体干燥度,确保终端使用点的始终符合要求。某显示面板企业应用低超高纯氨气后,OLED 面板的薄膜层间附着力提升 30%,因水汽导致的黑斑缺陷率从 1.5% 降至 0.05%;某精密电子元件厂使用后,产品的耐湿热性能测试通过率从 85% 提升至 99.5%。江苏硫化氢超高纯气体光纤生产超高纯氟化氢(杂质≤0.1ppm)用于半导体晶圆清洗,去除表面污染物。

上海弥正针对 OLED、LCD 显示面板制造,推出包含超高纯氨气、硅烷、氮气、氢气的特用气体组合,适配高世代线与新型显示技术的生产需求。组合内气体纯度均达到 5N-6N 级别,其中用于 ITO 薄膜溅射沉积的超高纯氧气纯度达 99.999%,杂质含量≤0.5ppb;用于退火工艺的超高纯氢气纯度达 6N 级,确保薄膜沉积质量与器件性能稳定。提供定制化的供气压力与流量配置,支持根据不同生产环节(如 CVD 沉积、蚀刻、退火)的工艺参数准确适配,输送系统采用无死腔设计,避免气体残留与污染。配备实时在线监测系统,可远程监控气体纯度、压力、流量等参数,故障响应时间≤1 小时。某显示面板企业应用该组合后,8.6 代线面板良品率提升 2.2%,OLED 面板发光寿命延长 15%,年节约生产成本超 800 万元,且完全满足 DSCC(Display Supply Chain Consultants)的行业标准,适配中国大陆地区显示面板产业 41% 的全球市场占比需求。
上海弥正针对半导体制造全流程,打造涵盖超高纯氮气、氢气、氩气、氟化物气体等多品类的定制化气体解决方案,覆盖晶圆清洗、刻蚀、沉积、掺杂等**工艺。所有气体纯度均达到 5N-7N 级别,其中用于光刻工艺的特种气体纯度高达 9N 级,金属杂质含量控制在 0.01ppb 以下,完全满足不同制程芯片的生产要求。提供从气体提纯、包装、运输到终端输送的全链条服务,配备痕量杂质检测实验室,每批次产品均通过 GC-MS(气相色谱 - 质谱联用仪)检测,确保各项指标达标;输送管道采用 316L 不锈钢材质,经电解抛光与钝化处理,内壁粗糙度≤0.2μm,避免颗粒产生与气体污染。某晶圆制造厂应用该解决方案后,整体工艺缺陷率降低 40%,设备维护周期延长 3 倍,年节约运维成本超 500 万元。根据 SEMI 数据,2023 年全球半导体用高纯气体市场规模达 58.7 亿美元,上海弥正凭借精细的工艺适配性与稳定的供应能力,成为国内多家晶圆厂的**供应商,助力半导体产业自主化发展。超高纯六氟化钨纯度≥99.999%,是半导体金属化工艺的钨源气体。

上海弥正深耕国产超高纯气体研发与生产,打破国际巨头在品类的垄断,为半导体产业链自主可控提供关键材料支撑。针对国内高度依赖进口的 7N 级电子级氟化物、硅烷等品类,公司通过自主研发攻克重心提纯技术,实现规模化量产,产品纯度达到国际先进水平,杂质控制精度进入 ppt 级别,并成功通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂的验证认证。相较于进口产品,公司产品在供应响应速度、成本控制及技术服务方面更具优势,可实现订单 48 小时内快速响应,交货周期缩短 50%,成本降低 20-30%。积极参与国家 “十四五” 新材料产业发展规划重点项目,推动超高纯气体国家标准的修订与完善,目前已主导或参与 3 项行业标准的制定。某半导体企业使用其国产替代型超高纯三氟化氮后,不仅摆脱了对进口气体的依赖,还将相关工艺的材料成本降低 25%,供应链稳定性明显增强,为实现芯片国产化提供了有力保障。超高纯锑烷纯度≥99.99%,用于半导体掺杂与红外材料制备。浙江氪气超高纯气体核磁共振成像
超高纯锗烷纯度达 99.99%,用于红外光学薄膜与半导体制造。浙江氪气超高纯气体核磁共振成像
上海弥正推出行业的超高纯气体回收再利用系统,针对半导体、光伏等行业的工艺尾气,实现高效回收、提纯与循环利用,为客户创造经济与环境双重价值。该系统可适配三氟化氮、硅烷、氢气等多种气体,通过低温冷凝、吸附分离与精密过滤等多级处理工艺,将原本直接排放的工艺尾气提纯至 5N-6N 级纯度,回收利用率比较高可达 90%。以半导体刻蚀工艺中常用的三氟化氮为例,传统使用模式下利用率不足 50%,大量尾气被浪费并污染环境,采用该回收系统后,客户气体采购成本降低 40%,同时大幅减少温室气体排放。提供 “定制化系统 + 运维服务” 的整体解决方案,根据客户生产规模与气体种类,设计专属回收流程,配备专业团队负责系统安装、调试与定期维护,并提供回收气体的质量检测报告。某半导体代工厂应用该系统后,年节省气体采购费用超 600 万元,工艺尾气排放量减少 80%,顺利通过 ISO 14064 碳足迹核查,实现了经济效益与环保责任的统一。浙江氪气超高纯气体核磁共振成像
上海弥正气体有限公司是一家有着先进的发展理念,先进的管理经验,在发展过程中不断完善自己,要求自己,不断创新,时刻准备着迎接更多挑战的活力公司,在上海市等地区的电工电气中汇聚了大量的人脉以及**,在业界也收获了很多良好的评价,这些都源自于自身的努力和大家共同进步的结果,这些评价对我们而言是比较好的前进动力,也促使我们在以后的道路上保持奋发图强、一往无前的进取创新精神,努力把公司发展战略推向一个新高度,在全体员工共同努力之下,全力拼搏将共同上海弥正气体供应和您一起携手走向更好的未来,创造更有价值的产品,我们将以更好的状态,更认真的态度,更饱满的精力去创造,去拼搏,去努力,让我们一起更好更快的成长!