上海弥正超高纯氮气(纯度达 6N 级),专为半导体晶圆加工设计,以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺,将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下,完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体,它能有效隔绝空气与工艺环境接触,防止晶圆表面氧化或污染,保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统,气瓶内壁经电解抛光处理,避免二次污染,气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后,晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%,芯片良率提升 2.8%,连续供应 12 个月无纯度波动问题,完全适配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生产需求,成为半导体产业不可或缺的惰性保护解决方案。
超高纯氚气(杂质≤0.1ppm)用于核工业与放射性检测设备。浙江乙烷超高纯气体新能源

上海弥正超高纯磷烷(5N 级纯度),作为半导体制造中关键的 N 型掺杂气体,以 “准确掺杂 + 高安全性” 满足芯片电性能调控需求。通过络合纯化与吸附分离工艺,将杂质总含量控制在 100ppt 以下,其中砷、硼等竞争性掺杂元素含量≤10ppt,确保掺杂精度与芯片性能稳定。在芯片制造的掺杂工艺中,它被精确引入晶圆表层,通过热扩散或离子注入方式,改变半导体材料的导电类型,形成 N 型半导体区域,是构建晶体管源极、漏极及电阻等关键结构的重心材料。针对其高毒性与高反应活性的特点,建立了符合 SEMI 标准的全流程安全管理体系,从生产、检测、包装到运输均配备多重安全防护装置,气瓶采用特制的防爆阀门与泄漏监测系统,确保使用安全。某先进逻辑芯片企业应用该气体后,晶体管开关速度提升 12%,芯片功耗降低 8%,掺杂工艺的均匀性与重复性均达到国际先进水平,产品良率稳居行业前列。浙江乙烷超高纯气体新能源超高纯锗烷纯度达 99.99%,用于红外光学薄膜与半导体制造。

上海弥正超高纯三氟化氮(5N 级纯度),是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体,以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺,将杂质含量控制在 1ppb 以内,其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb,能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物,且反应产物易挥发,无需额外复杂清洗步骤,有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统,气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率,降低环境排放与使用成本,符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后,晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%,刻蚀工艺效率提升 15%,单晶圆制造成本降低 3%,同时满足 SEMI 国际半导体产业协会的环保与纯度标准,成为先进制程刻蚀工艺的推荐清洗气体。
上海弥正超高纯乙硼烷(5N 级纯度),专为 FinFET、GAA(全环绕栅极)等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计,以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术,将杂质含量控制在极低水平,其中磷、砷等杂质含量≤5ppt,水分含量≤10ppb,满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中,它能提供高浓度的硼离子,实现对半导体材料的准确、浅度掺杂,形成高性能的 P 型半导体层,其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压,对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案,可根据客户工艺需求,将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气,采用不锈钢管道输送,配备在线浓度监测与自动报警系统,确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后,GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V,开关电流提升 20%,成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。超高纯磷化氢(纯度 99.999%)是 LED 芯片制造的 P 型掺杂气体。

上海弥正构建从生产到终端使用的全链条超洁净保障体系,通过包装与输送系统,确保超高纯气体全程无二次污染。气瓶选用 316L 不锈钢材质,经一体锻造与电解抛光处理,内壁粗糙度≤0.1μm,无卫生死角,避免杂质吸附与气体污染;阀门采用进口超洁净隔膜阀,密封性能优异,泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s,确保气体储存过程中无泄漏与纯度衰减。输送管道采用 316L 不锈钢无缝管,经钝化与脱脂处理,管道连接采用卡套式接头,无螺纹污染风险,输送过程中气体颗粒杂质含量≤1 颗 /μm。提供定制化的管道铺设与系统集成服务,根据客户车间布局与设备需求,设计比较好输送路径,减少管道阻力与气体滞留;配备在线纯度监测装置,实时监控输送过程中气体纯度变化,一旦出现异常立即自动切断供应,保障终端气体品质。某电子企业应用该系统后,气体终端使用纯度达标率 100%,设备因气体污染导致的故障率下降 80%,大幅提升生产连续性。超高纯甲烷用作燃气传感器校准气,确保检测数据准确。上海顺-2-丁烯超高纯气体新能源
超高纯乙炔(纯度 99.99%)用于精密焊接,保障焊缝强度与均匀性。浙江乙烷超高纯气体新能源
上海弥正深耕国产超高纯气体研发与生产,打破国际巨头在品类的垄断,为半导体产业链自主可控提供关键材料支撑。针对国内高度依赖进口的 7N 级电子级氟化物、硅烷等品类,公司通过自主研发攻克重心提纯技术,实现规模化量产,产品纯度达到国际先进水平,杂质控制精度进入 ppt 级别,并成功通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂的验证认证。相较于进口产品,公司产品在供应响应速度、成本控制及技术服务方面更具优势,可实现订单 48 小时内快速响应,交货周期缩短 50%,成本降低 20-30%。积极参与国家 “十四五” 新材料产业发展规划重点项目,推动超高纯气体国家标准的修订与完善,目前已主导或参与 3 项行业标准的制定。某半导体企业使用其国产替代型超高纯三氟化氮后,不仅摆脱了对进口气体的依赖,还将相关工艺的材料成本降低 25%,供应链稳定性明显增强,为实现芯片国产化提供了有力保障。浙江乙烷超高纯气体新能源
上海弥正气体有限公司是一家有着雄厚实力背景、信誉可靠、励精图治、展望未来、有梦想有目标,有组织有体系的公司,坚持于带领员工在未来的道路上大放光明,携手共画蓝图,在上海市等地区的电工电气行业中积累了大批忠诚的客户粉丝源,也收获了良好的用户口碑,为公司的发展奠定的良好的行业基础,也希望未来公司能成为*****,努力为行业领域的发展奉献出自己的一份力量,我们相信精益求精的工作态度和不断的完善创新理念以及自强不息,斗志昂扬的的企业精神将**上海弥正气体供应和您一起携手步入辉煌,共创佳绩,一直以来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,员工精诚努力,协同奋取,以品质、服务来赢得市场,我们一直在路上!