浙江环丙烷超高纯气体

上海弥正针对半导体制造全流程，打造涵盖超高纯氮气、氢气、氩气、氟化物气体等多品类的定制化气体解决方案，覆盖晶圆清洗、刻蚀、沉积、掺杂等**工艺。所有气体纯度均达到 5N-7N 级别，其中用于光刻工艺的特种气体纯度高达 9N 级，金属杂质含量控制在 0.01ppb 以下，完全满足不同制程芯片的生产要求。提供从气体提纯、包装、运输到终端输送的全链条服务，配备痕量杂质检测实验室，每批次产品均通过 GC-MS（气相色谱 - 质谱联用仪）检测，确保各项指标达标；输送管道采用 316L 不锈钢材质，经电解抛光与钝化处理，内壁粗糙度≤0.2μm，避免颗粒产生与气体污染。某晶圆制造厂应用该解决方案后，整体工艺缺陷率降低 40%，设备维护周期延长 3 倍，年节约运维成本超 500 万元。根据 SEMI 数据，2023 年全球半导体用高纯气体市场规模达 58.7 亿美元，上海弥正凭借精细的工艺适配性与稳定的供应能力，成为国内多家晶圆厂的**供应商，助力半导体产业自主化发展。超高纯乙炔（纯度 99.99%）用于精密焊接，保障焊缝强度与均匀性。浙江环丙烷超高纯气体

上海弥正专为极端低温环境打造的超高纯气体系列，以 “低温稳定性 + 防冷凝设计” 满足航天、冷链物流等特殊场景需求。该系列气体（涵盖氮气、氦气、氩气等）纯度均达 6N 级以上，在 - 196℃至 - 50℃的极端低温环境下，仍能保持稳定的物理性质，无组分分离或纯度衰减现象，低于 - 90℃，避免在低温下形成冷凝水造成设备损坏。针对航天领域，开发了火箭燃料系统用超高纯氦气，在 - 253℃的液氢燃料环境中仍能保持气态，用于系统加压与检漏，检漏灵敏度达 1×10⁻¹²Pa・m³/s；针对冷链物流，提供超高纯氮气与二氧化碳的混合气，用于生鲜食品的低温气调保鲜，可将保鲜期延长 2-3 倍。采用特制的绝热气瓶包装，配备低温 - resistant 阀门与压力监测装置，确保在低温存储与运输过程中的安全性与密封性。某航天科技集团应用后，火箭燃料系统的检漏准确率达 100%，发射前的地面测试效率提升 30%；某冷链物流企业使用后，进口生鲜的损耗率从 12% 降至 3%，经济效益明显。四氟化碳超高纯气体香精香料超高纯六氟化硫纯度达 99.999%，用作高压电气设备绝缘气体。

上海弥正超高纯三氟化氮（5N 级纯度），是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体，以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以内，其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb，能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物，且反应产物易挥发，无需额外复杂清洗步骤，有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统，气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率，降低环境排放与使用成本，符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后，晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%，刻蚀工艺效率提升 15%，单晶圆制造成本降低 3%，同时满足 SEMI 国际半导体产业协会的环保与纯度标准，成为先进制程刻蚀工艺的推荐清洗气体。

上海弥正超高纯氮气（纯度达 6N 级），专为半导体晶圆加工设计，以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺，将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下，完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体，它能有效隔绝空气与工艺环境接触，防止晶圆表面氧化或污染，保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统，气瓶内壁经电解抛光处理，避免二次污染，气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后，晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%，芯片良率提升 2.8%，连续供应 12 个月无纯度波动问题，完全适配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生产需求，成为半导体产业不可或缺的惰性保护解决方案。

超高纯氢气纯度达 99.9999%，是光伏电池镀膜工艺的重心还原气体。

上海弥正构建从生产到终端使用的全链条超洁净保障体系，通过包装与输送系统，确保超高纯气体全程无二次污染。气瓶选用 316L 不锈钢材质，经一体锻造与电解抛光处理，内壁粗糙度≤0.1μm，无卫生死角，避免杂质吸附与气体污染；阀门采用进口超洁净隔膜阀，密封性能优异，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，确保气体储存过程中无泄漏与纯度衰减。输送管道采用 316L 不锈钢无缝管，经钝化与脱脂处理，管道连接采用卡套式接头，无螺纹污染风险，输送过程中气体颗粒杂质含量≤1 颗 /μm。提供定制化的管道铺设与系统集成服务，根据客户车间布局与设备需求，设计比较好输送路径，减少管道阻力与气体滞留；配备在线纯度监测装置，实时监控输送过程中气体纯度变化，一旦出现异常立即自动切断供应，保障终端气体品质。某电子企业应用该系统后，气体终端使用纯度达标率 100%，设备因气体污染导致的故障率下降 80%，大幅提升生产连续性。超高纯氩气用作溅射镀膜保护气，保障薄膜沉积均匀性。甲烷超高纯气体香精香料

超高纯氖气纯度≥99.999%，用于霓虹灯填充与低温制冷领域。浙江环丙烷超高纯气体

上海弥正超高纯硅烷（5N 级纯度），是半导体化学气相沉积（CVD）与光伏薄膜电池制造的**原料，以 “高纯度 + 高稳定性” 助力薄膜制备。采用络合反应与吸附提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以内，其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb，避免影响薄膜沉积质量。在半导体制造中，用于制备多晶硅、二氧化硅等薄膜，薄膜均匀性与致密度优异；在光伏产业中，用于薄膜太阳能电池的硅基薄膜沉积，提升电池转换效率。采用特用耐腐蚀气瓶包装，配备防爆阀门与压力监测装置，储存与运输过程中严格控制温度与压力，避免气体分解。某半导体企业应用后，薄膜沉积均匀性提升 4%，芯片电性能稳定性改善；某光伏企业使用后，薄膜电池转换效率提升 0.6%，薄膜附着力增强，完全满足半导体与光伏产业的先进制程要求。浙江环丙烷超高纯气体

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