浙江氦气超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯氨气（6N 级纯度），专为 OLED、Micro-LED 等新一代显示技术打造，是显示面板化学气相沉积（CVD）工艺的重心原料。通过催化分解与吸附提纯工艺，将水、油、颗粒物等杂质含量控制在 0.5ppb 以下，其中金属杂质（铁、铜、钾等）含量≤0.01ppb，避免影响面板像素发光效率与寿命。在 OLED 面板制造中，超高纯氨气作为氮源，参与有机发光层与电子传输层的沉积过程，直接影响像素点的发光均匀性；在 LCD 面板生产中，可用于硅 nitride 薄膜制备，提升面板抗划伤性能与稳定性。采用耐腐蚀特用气瓶包装，配备高精度流量控制系统，支持连续 24 小时稳定输送，流量调节范围 1-50L/min。某显示面板企业应用后，OLED 面板像素发光均匀度提升 3%，不良品率从 1.2% 降至 0.15%，面板使用寿命延长 10%，完全适配 8.6 代及以上高世代线的大规模生产需求，助力显示产业向高清化、柔性化升级。超高纯乙炔（纯度 99.99%）用于精密焊接，保障焊缝强度与均匀性。浙江氦气超高纯气体半导体制造

上海弥正深耕国产超高纯气体研发与生产，打破国际巨头在品类的垄断，为半导体产业链自主可控提供关键材料支撑。针对国内高度依赖进口的 7N 级电子级氟化物、硅烷等品类，公司通过自主研发攻克重心提纯技术，实现规模化量产，产品纯度达到国际先进水平，杂质控制精度进入 ppt 级别，并成功通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂的验证认证。相较于进口产品，公司产品在供应响应速度、成本控制及技术服务方面更具优势，可实现订单 48 小时内快速响应，交货周期缩短 50%，成本降低 20-30%。积极参与国家 “十四五” 新材料产业发展规划重点项目，推动超高纯气体国家标准的修订与完善，目前已主导或参与 3 项行业标准的制定。某半导体企业使用其国产替代型超高纯三氟化氮后，不仅摆脱了对进口气体的依赖，还将相关工艺的材料成本降低 25%，供应链稳定性明显增强，为实现芯片国产化提供了有力保障。浙江氨气超高纯气体生产厂家超高纯硼烷（纯度 99.99%）用于半导体掺杂，提升芯片导电性能。

上海弥正超高纯氧气（5N 级纯度），兼具医疗与电子制造双重适配性，以 “高纯度 + 低杂质” 满足多元场景需求。采用深度冷冻与吸附提纯工艺，将水分、二氧化碳、一氧化碳等杂质含量控制在 0.5ppb 以下，无异味、无有害污染物，符合医用气体 GB 8982-2024 标准与电子行业 SEMI 标准。在医疗领域，可用于重症患者呼吸疗愈、麻醉辅助与高压氧舱疗愈，提高血氧饱和度，促进患者康复；在电子制造领域，用于 ITO 薄膜溅射沉积，提升显示面板与触摸屏的导电性能与透光率。采用医用与工业特用气瓶分类包装，医用气瓶经无菌处理，工业气瓶配备高精度流量控制装置，支持连续稳定输送。某综合医院应用后，重症患者率提升 10%，氧疗不良反应发生率下降 60%；某电子企业使用后，ITO 薄膜透光率提升 2%，导电性能稳定，完全满足医疗与电子行业的严苛要求。

上海弥正针对 Chiplet（芯粒）先进封装技术，推出全流程超高纯气体解决方案，以 “低颗粒 + 高稳定性” 支撑芯片异构集成的精密工艺需求。方案覆盖倒装焊、键合、再分布层（RDL）制备等重心环节，提供的超高纯氮气、氩气、氢气等气体，颗粒物（≥0.1μm）含量≤10 个 /m³，纯度达 6N 级以上，完全满足封装工艺对微污染控制的严苛要求。在倒装焊工艺中，超高纯氮气作为保护气，能有效防止焊料氧化，提升焊接良率；在 RDL 制备的电镀与蚀刻环节，高纯度气体确保金属布线的精细度与导电性，助力实现高密度互联。提供 “瓶装 + 管道” 结合的灵活供应模式，适配 Chiplet 封装多批次、高精度的生产特点，并配备在线颗粒计数器与纯度监测仪，实时监控气体品质。某的先进封装企业应用该方案后，Chiplet 产品的键合良率从 95% 提升至 99.2%，RDL 线宽精度控制在 ±0.1μm 以内，封装密度提升 30%，有力推动了国产 Chiplet 技术的商业化落地。超高纯氢气纯度达 99.9999%，是光伏电池镀膜工艺的重心还原气体。

上海弥正低超高纯气体系列（≤-80℃），专为对水分敏感的电子制造、精密仪器等领域设计，以 “干燥 + 高纯度” 杜绝水分导致的生产缺陷。通过深度干燥与吸附提纯工艺，将气体中的水分含量控制在 50ppb 以下，部分产品（如超高纯氮气、氩气）可低至 - 90℃，同时保证气体纯度达 6N 级以上，完全满足半导体光刻、薄膜沉积等工艺对水分的要求。水分是电子制造中的 “隐形”，可能导致晶圆氧化、薄膜层间剥离、金属电极腐蚀等严重问题，直接影响产品良率。该系列气体采用全程干燥的生产、包装与输送系统，气瓶内壁经特殊处理，防止水分吸附，输送管路配备在线监测仪，实时监控气体干燥度，确保终端使用点的始终符合要求。某显示面板企业应用低超高纯氨气后，OLED 面板的薄膜层间附着力提升 30%，因水汽导致的黑斑缺陷率从 1.5% 降至 0.05%；某精密电子元件厂使用后，产品的耐湿热性能测试通过率从 85% 提升至 99.5%。超高纯氘气（纯度 99.999%）用作核磁共振成像的造影气体。浙江氯甲烷超高纯气体

超高纯硒化氢（杂质≤1ppm）适配光伏电池制造，提升光电转换效率。浙江氦气超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯氦气（6N 级纯度），是检漏、低温超导、气相色谱分析等场景的关键气体，以 “高纯度 + 低沸点” 发挥独特作用。采用低温吸附与精馏提纯工艺，将氮气、氧气、氢气等杂质含量控制在 0.2ppb 以下，低于 - 85℃，能在极低温度下保持气态，无凝固风险。在工业检漏领域，用于精密设备、管道与容器的气密性检测，检漏灵敏度达 1×10⁻¹²Pa・m³/s，确保检测准确性；在低温超导领域，用于超导磁体冷却，维持超导材料的超导状态，支持核磁共振（NMR）与粒子加速器的正常运行；在气相色谱分析中，作为载气可提升分析精度与分离效率。配备高压气瓶与减压阀，气体输出压力稳定，流量控制精度达 ±0.5%。某精密制造企业应用后，设备检漏合格率提升至 100%，泄漏故障减少 90%；某科研机构使用后，超导磁体运行稳定性提升，核磁共振检测精度提高，完全满足工业与科研领域的需求。浙江氦气超高纯气体半导体制造

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