半固态—MEMS式激光雷达，MEMS全称Micro-Electro-Mechanical System（微机电系统），是将原本激光雷达的机械结构通过微电子技术集成到硅基芯片上。本质上而言MEMS激光雷达并没有做到完全取消机械结构，所以它是一种半固态激光雷达。工作原理，MEMS在硅基芯片上集成了体积十分精巧的微振镜，其主要结构是尺寸很小的悬臂梁——通过控制微小的镜面平动和扭转往复运动，将激光管反射到不同的角度完成扫描，而激光发生器本身固定不动。其次，MEMS的振动角度有限导致视场角比较小（小于120度），同时受限于MEMS微振镜的镜面尺寸，传统MEMS技术的有效探测距离只有50米，FOV角度只能达到30度，多用于近距离补盲或者前向探测。景区导览借助激光雷达辅助车辆，为游客提供精确指引。广东轨旁入侵激光雷达设备
目前，由于MEMS上游供应链已经相对成熟，比如Luminar的MEMS半固态激光雷达已将制造成本降低到了500-1000美元，使规模量产成为了可能。国内方面，速腾聚创和广汽埃安、威马、极氪等11家车企建立了合作，同时其产品「RS-LiDAR-M1」已于2020年12月开始批量出货，成为全球头一款批量交付的车规级MEMS激光雷达。海外方面，Luminar在全球范围内已拥有50多位行业合作伙伴，其中包括沃尔沃、上汽飞凡汽车、小马智行等。半固态—转镜式激光雷达，转镜式激光雷达与MEMS激光雷达差异在于，前者的扫描镜是围绕着圆心旋转，后者则是围绕着某条直径上下振动。相比之下，转镜式激光雷达的功耗更低，散热难度更低，因而也更容易拥有比较高的可靠性。重复扫描激光雷达批发览沃 Mid - 360 混合固态技术，成就 360° 全向超大视场角优越性能。
分类，激光雷达按结构不同大致可以分为：机械旋转激光雷达、混合半固态激光雷达和全固态激光雷达（Flash快闪和OPA相控阵，统称为非扫描式）。（一）机械旋转激光雷达，机械式激光雷达体积大、成本较高、装配难。它通过旋转实现横向360度的覆盖面，通过内部镜片实现垂直角度的覆盖面，同比有着更耐用稳定的特点，所以我们看到的自动驾驶路试车大多采用这种类型，雷达在车顶不停的在旋转完成横向扫描，靠增加激光束，实现纵向宽泛的扫描。（二）混合半固态激光雷达。按照扫描方式分为：转镜、硅基MEMS、振镜+转镜、旋转透射棱镜。
工作原理，Flash原本的意思为快闪。而Flash激光雷达的原理也是快闪，不像MEMS或OPA的方案会去进行扫描，而是短时间直接发射出一大片覆盖探测区域的激光，再以高度灵敏的接收器，来完成对环境周围图像的绘制。因此，Flash固态激光雷达属于非扫描式雷达，发射面阵光，是以2维或3维图像为重点输出内容的激光雷达。某种意义上，它有些类似于黑夜中的照相机，光源由自己主动发出。Flash激光雷达的成像原理是发射大面积激光一次照亮整个场景，然后使用多个传感器接收检测和反射光。但较大的问题是，这种工作模式需要非常高的激光功率。主动抗串扰设计，使 Mid - 360 在多雷达环境中稳定运行不干扰。
激光雷达对策：在实际使用中，对环境中的透明介质，特别是表面接近镜面的透明介质，需要做特殊处理，避免产生不稳定或错误的测量结果。具体的处理方式可以是对介质表面做漫反射半透明处理，降低透明度和反射能力，或者在处理测量数据时对这些位置做屏蔽。当雷达对镜面目标进行测量时，需要注意！！只当目标表面与入射激光垂直时才能有效测量，如果激光入射角不垂直，其漫反射率很低，导致无法有效测量，实际测量到的结果是镜面反射光路上的镜像目标距离，雷达投射在镜面目标产生了全反射，全反射光投射在目标，雷达实际测试出距离是虚线边框目标距离。激光雷达的智能化校准功能减少了人工干预的需要。泰览Tele-15激光雷达生产厂家
具备出色抗强光能力，览沃 Mid - 360 室内外环境切换性能无缝衔接。广东轨旁入侵激光雷达设备
从应用看，具备车规级量产实力的Tier1供货商有法雷奥（Scala）、镭神智能（CH32），Innovusion（Falcon）。2017年，奥迪A8为全球头一款量产的L3级别自动驾驶的乘用车，其搭载的激光雷达便是法雷奥和Ibeo联合研发的4线旋转扫描镜激光雷达。2020年，镭神智能自主研发的CH32面世，成为全球第二款获得车规级认证的转镜式激光雷达，目前已经规模化交付东风悦享量产前装车型生产。2022年，搭载Innovusion Falcon激光雷达的蔚来ET7上市，该款激光雷达为1550nm方案，等效300线数。从售价看，法雷奥Scala 2为900欧元（约6500元人民币），已经下降至车企可接受的价格范围。广东轨旁入侵激光雷达设备
