晶圆切割的工艺参数设置需要丰富的经验积累,中清航科开发的智能工艺推荐系统,基于千万级切割数据训练而成。只需输入晶圆材料、厚度、切割道宽等基本参数,系统就能自动生成比较好的切割方案,包括激光功率、切割速度、聚焦位置等关键参数,新手操作人员也能快速达到工程师的工艺水平,大幅降低技术门槛。半导体产业对设备的占地面积有着严格要求,中清航科采用紧凑型设计理念,将晶圆切割设备的占地面积控制在 2 平方米以内,较传统设备减少 40%。在有限空间内,通过巧妙的结构布局实现全部功能集成,同时预留扩展接口,方便后续根据产能需求增加模块,满足不同规模生产车间的布局需求。中清航科切割机节能模式降低功耗40%,年省电费超15万元。温州sic晶圆切割测试

中清航科CutSim软件建立热-力-流体耦合模型,预测切割温度场/应力场分布。输入材料参数即可优化工艺,客户开发周期缩短70%,试错成本下降$50万/项目。针对MEMS陀螺仪等真空封装器件,中清航科提供10⁻⁶Pa级真空切割舱。消除空气阻尼影响,切割后器件Q值保持率>99.8%,良率提升至98.5%。中清航科AI排程引擎分析晶圆MAP图,自动规划切割路径与顺序。材料利用率提升7%,设备空闲率下降至8%,支持动态插单响应(切换时间<5分钟)。温州碳化硅线晶圆切割代工厂晶圆切割后清洗设备中清航科专利设计,残留颗粒<5个/片。

半导体制造对洁净度要求严苛,晶圆切割环节的微尘污染可能导致芯片失效。中清航科的切割设备采用全封闭防尘结构与高效 HEPA 过滤系统,工作区域洁净度达到 Class 1 标准,同时配备激光诱导等离子体除尘装置,实时清理切割产生的微米级颗粒,使产品不良率降低至 0.1% 以下。在成本控制成为半导体企业核心竞争力的现在,中清航科通过技术创新实现切割耗材的大幅节约。其自主研发的金刚石切割刀片,使用寿命较行业平均水平延长 50%,且通过刀片磨损实时监测与自动补偿技术,减少频繁更换带来的停机损失,帮助客户降低 20% 的耗材成本,在激烈的市场竞争中构筑成本优势。
对于高价值的晶圆产品,切割过程中的追溯性尤为重要。中清航科的切割设备内置二维码追溯系统,每片晶圆进入设备后都会生成单独的二维码标识,全程记录切割时间、操作人员、工艺参数、检测结果等信息,可通过扫码快速查询全流程数据,为质量追溯与问题分析提供完整依据。在晶圆切割的边缘处理方面,中清航科突破传统工艺限制,开发出激光倒角技术。可在切割的同时完成晶圆边缘的圆弧处理,倒角半径可精确控制在 5-50μm 范围内,有效减少边缘应力集中,提高晶圆的机械强度。该技术特别适用于需要多次搬运与清洗的晶圆加工流程。中清航科推出切割机租赁服务,降低客户初期投入成本。

在碳化硅晶圆切割领域,由于材料硬度高达莫氏 9 级,传统切割方式面临效率低下的问题。中清航科创新采用超高压水射流与激光复合切割技术,利用水射流的冷却作用抑制激光切割产生的热影响区,同时借助激光的预热作用降低材料强度,使碳化硅晶圆的切割效率提升 3 倍,热影响区控制在 10μm 以内。晶圆切割设备的可靠性是大规模生产的基础保障。中清航科对中心部件进行严格的可靠性测试,其中激光振荡器经过 10 万小时连续运行验证,机械导轨的寿命测试达到 200 万次往复运动无故障。设备平均无故障时间(MTBF)突破 1000 小时,远超行业 800 小时的平均水平,为客户提供稳定可靠的生产保障。12英寸晶圆切割中清航科解决方案突破产能瓶颈,良率99.3%。温州碳化硅线晶圆切割代工厂
中清航科联合高校成立切割技术研究院,突破纳米级切割瓶颈。温州sic晶圆切割测试
GaN材料硬度高且易产生解理裂纹。中清航科创新水导激光切割(Water Jet Guided Laser),利用高压水柱约束激光束,冷却与冲刷同步完成。崩边尺寸<8μm,热影响区只2μm,满足射频器件高Q值要求。设备振动导致切割线宽波动。中清航科应用主动磁悬浮阻尼系统,通过6轴加速度传感器实时生成反向抵消力,将振幅压制在50nm以内。尤其适用于超窄切割道(<20μm)的高精度需求。光学器件晶圆需避免边缘微裂纹影响透光率。中清航科紫外皮秒激光系统(波长355nm)配合光束整形模块,实现吸收率>90%的冷加工,切割面粗糙度Ra<0.05μm,突破摄像头模组良率瓶颈。温州sic晶圆切割测试
中清航科(江苏)科技有限公司在同行业领域中,一直处在一个不断锐意进取,不断制造创新的市场高度,多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准,在江苏省等地区的数码、电脑中始终保持良好的商业口碑,成绩让我们喜悦,但不会让我们止步,残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志,和谐温馨的工作环境,富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新,勇于进取的无限潜力,中清航科科技供应携手大家一起走向共同辉煌的未来,回首过去,我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜,相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围,我们更要明确自己的不足,做好迎接新挑战的准备,要不畏困难,激流勇进,以一个更崭新的精神面貌迎接大家,共同走向辉煌回来!