中清航科为晶圆切割设备提供全生命周期的服务支持,从设备安装调试、操作人员培训、工艺优化指导到设备升级改造,形成完整的服务链条。建立客户服务档案,定期进行设备巡检与性能评估,根据客户的生产需求变化提供定制化的升级方案,确保设备始终保持先进的技术水平。随着半导体技术向更多新兴领域渗透,晶圆切割的应用场景不断拓展。中清航科积极布局新兴市场,开发适用于可穿戴设备芯片、柔性电子、生物芯片等领域的切割设备。例如,针对柔性晶圆的切割,采用低温冷冻切割技术,解决柔性材料切割时的拉伸变形问题,为新兴半导体应用提供可靠的制造保障。中清航科切割耗材全球供应链,保障客户生产连续性。南通芯片晶圆切割厂

针对高粘度晶圆切割液的回收处理,中清航科研发了离心式过滤净化系统。该系统通过三级过滤工艺,可去除切割液中 99.9% 的固体颗粒杂质,使切割液循环利用率提升至 80% 以上,不只降低耗材成本,还减少废液排放。同时配备浓度自动调节功能,确保切割液性能稳定,保障切割质量一致性。在晶圆切割设备的维护便捷性设计上,中清航科秉持 “易维护” 理念。设备关键部件采用模块化设计,更换激光头、切割刀片等中心组件只需 15 分钟,较传统设备缩短 70% 维护时间。同时配备维护指引系统,通过 AR 技术直观展示维护步骤,降低对专业维护人员的依赖,减少客户运维压力。浙江sic晶圆切割蓝膜中清航科推出切割工艺保险服务,承保因切割导致的晶圆损失。

面对高温高湿等恶劣生产环境,中清航科对晶圆切割设备进行了特殊环境适应性改造。设备电气系统采用三防设计(防潮湿、防霉菌、防盐雾),机械结构采用耐腐蚀材料,可在温度 30-40℃、湿度 60-85% 的环境下稳定运行,特别适用于热带地区半导体工厂及特殊工业场景。晶圆切割的刀具损耗是影响成本的重要因素,中清航科开发的刀具寿命预测系统,通过振动传感器与 AI 算法实时监测刀具磨损状态,提前 2 小时预警刀具更换需求,并自动推送比较好的更换时间窗口,避免因刀具突然失效导致的产品报废,使刀具消耗成本降低 25%。
晶圆切割的工艺参数设置需要丰富的经验积累,中清航科开发的智能工艺推荐系统,基于千万级切割数据训练而成。只需输入晶圆材料、厚度、切割道宽等基本参数,系统就能自动生成比较好的切割方案,包括激光功率、切割速度、聚焦位置等关键参数,新手操作人员也能快速达到工程师的工艺水平,大幅降低技术门槛。半导体产业对设备的占地面积有着严格要求,中清航科采用紧凑型设计理念,将晶圆切割设备的占地面积控制在 2 平方米以内,较传统设备减少 40%。在有限空间内,通过巧妙的结构布局实现全部功能集成,同时预留扩展接口,方便后续根据产能需求增加模块,满足不同规模生产车间的布局需求。晶圆切割MES系统中清航科定制,实时追踪每片切割工艺参数。

随着芯片轻薄化趋势,中清航科DBG(先切割后研磨)与SDBG(半切割后研磨)设备采用渐进式压力控制技术,切割阶段只切入晶圆1/3厚度,经背面研磨后自动分离。该方案将100μm以下晶圆碎片率降至0.01%,已应用于5G射频模块量产线。冷却液纯度直接影响切割良率。中清航科纳米级过滤系统可去除99.99%的0.1μm颗粒,配合自主研发的抗静电添加剂,减少硅屑附着造成的短路风险。智能温控模块维持液体粘度稳定,延长刀片寿命200小时以上呢。中清航科晶圆切割机支持物联网运维,故障响应速度提升60%。常州12英寸半导体晶圆切割代工厂
中清航科推出晶圆切割应力模拟软件,提前预判崩边风险。南通芯片晶圆切割厂
中清航科开放6条全自动切割产线,支持从8英寸化合物半导体到12英寸逻辑晶圆的来料加工。云端订单系统实时追踪进度,平均交货周期48小时,良率承诺99.2%。先进封装RDL层切割易引发铜箔撕裂。中清航科应用超快飞秒激光(脉宽400fs)配合氦气保护,在铜-硅界面形成纳米级熔融区,剥离强度提升5倍。中清航科搭建全球较早切割工艺共享平台,收录3000+材料参数组合。客户输入晶圆类型/厚度/目标良率,自动生成比较好参数包,工艺开发周期缩短90%。