针对晶圆切割后的表面清洁度要求,中清航科在设备中集成了在线等离子清洗模块。切割完成后立即对晶圆表面进行等离子处理,去除残留的切割碎屑与有机污染物,清洁度达到Class10标准。该模块可与切割流程无缝衔接,减少晶圆转移过程中的二次污染风险。中清航科注重晶圆切割设备的人性化设计,操作界面采用直观的图形化布局,支持多语言切换与自定义快捷键设置。设备配备可调节高度的操作面板与符合人体工学的扶手设计,减少操作人员长时间工作的疲劳感,同时提供声光报警与故障提示,使操作更便捷高效。中清航科提供切割工艺认证服务,助客户通过车规级标准。宿迁蓝宝石晶圆切割宽度

为提升芯片产出量,中清航科通过刀片动态平衡控制+激光辅助定位,将切割道宽度从50μm压缩至15μm。导槽设计减少材料浪费,使12英寸晶圆有效芯片数增加18%,明显降低单颗芯片制造成本。切割产生的亚微米级粉尘是电路短路的元凶。中清航科集成静电吸附除尘装置,在切割点10mm范围内形成负压场,配合离子风刀清理残留颗粒,洁净度达Class1标准(>0.3μm颗粒<1个/立方英尺)。中清航科设备内置AOI(自动光学检测)模块,采用多光谱成像技术实时识别崩边、微裂纹等缺陷。AI算法在0.5秒内完成芯片级判定,不良品自动标记,避免后续封装资源浪费,每年可为客户节省品质成本超百万。台州碳化硅半导体晶圆切割超窄街切割方案中清航科实现30μm道宽,芯片数量提升18%。

中清航科的晶圆切割设备通过了多项国际认证,包括CE、FCC、UL等,符合全球主要半导体市场的准入标准。设备设计严格遵循国际安全规范与电磁兼容性要求,可直接出口至欧美、日韩等地区,为客户拓展国际市场提供设备保障。在晶圆切割的刀具校准方面,中清航科创新采用激光对刀技术。通过高精度激光束扫描刀具轮廓,自动测量刀具直径、刃口角度等参数,并与标准值对比,自动计算补偿值,整个校准过程只需3分钟,较传统机械对刀方式提升效率80%,且校准精度更高。
面对全球半导体产业链的区域化布局趋势,中清航科建立了覆盖亚洲、欧洲、北美地区的本地化服务网络。其7×24小时在线技术支持团队,可通过远程诊断系统快速定位设备故障,配合就近备件仓库,将平均故障修复时间(MTTR)控制在4小时以内,确保客户生产线的连续稳定运行。绿色制造已成为半导体行业的发展共识,中清航科在晶圆切割设备的设计中融入多项节能技术。其研发的变频激光电源,能源转换效率达到92%,较传统设备降低30%的能耗;同时采用水循环冷却系统,水资源回收率达95%以上,帮助客户实现环保指标与生产成本的双重优化。中清航科推出切割废料回收服务,晶圆利用率提升至99.1%。

面对全球半导体设备供应链的不确定性,中清航科构建了多元化的供应链体系。与国内200余家质优供应商建立长期合作关系,关键部件实现多源供应,同时在各地建立备件中心,储备充足的易损件与中心部件,确保设备维修与升级时的备件及时供应,缩短设备停机时间。晶圆切割设备的能耗成本在长期运行中占比较大,中清航科通过能效优化设计,使设备的单位能耗降低至0.5kWh/片(12英寸晶圆),较行业平均水平降低35%。采用智能休眠技术,设备闲置时自动进入低功耗模式,进一步节约能源消耗,为客户降低长期运营成本。切割路径智能优化系统中清航科研发,复杂芯片布局切割时间缩短35%。杭州碳化硅线晶圆切割划片厂
中清航科切割耗材全球供应链,保障客户生产连续性。宿迁蓝宝石晶圆切割宽度
随着芯片轻薄化趋势,中清航科DBG(先切割后研磨)与SDBG(半切割后研磨)设备采用渐进式压力控制技术,切割阶段只切入晶圆1/3厚度,经背面研磨后自动分离。该方案将100μm以下晶圆碎片率降至0.01%,已应用于5G射频模块量产线。冷却液纯度直接影响切割良率。中清航科纳米级过滤系统可去除99.99%的0.1μm颗粒,配合自主研发的抗静电添加剂,减少硅屑附着造成的短路风险。智能温控模块维持液体粘度稳定,延长刀片寿命200小时以上呢。宿迁蓝宝石晶圆切割宽度