晶圆边缘区域良率持续偏低却难以定位原因,是工艺工程师常见的痛点。YMS系统在完成stdf、log等原始数据清洗后,依据晶圆空间坐标对缺陷进行分类,生成色彩渐变的热力图,直观呈现中心、过渡区与边缘的缺陷密度差异。用户可对比不同批次在同一区域的表现,识别是否为光刻对焦偏差或刻蚀均匀性问题所致。叠加时间维度后,还能判断该现象是偶发异常还是系统性漂移。这种空间+时间的双维分析,使优化措施从“整体调整”转向“精确干预”,明显提升工艺调试效率。上海伟诺信息科技有限公司基于半导体制造的实际需求,将YMS打造为缺陷定位的可视化利器。Mapping Inkless输出数据可直接用于客户交付,支持快速验证。江西自动化Mapping Inkless系统价格

ZPAT 是一种基于统计学的芯片筛选技术,通过在晶圆测试阶段识别并剔除具有潜在缺陷的芯片,从而提升产品的可靠性。在实际的应用过程中需要通过叠加多片Wafer找出在同一坐标下失效的Die的比例,通过特定的算法从而评估其他未失效的Die存在的潜在失效的概率。也是提升芯片质量零缺陷的一种手段。
为助力客户应对日益严苛的“零缺陷”质量挑战,上海伟诺信息科技有限公司将其先进的ZPAT技术深度整合于Mapping Over Ink 解决方案中。这一创新集成赋予用户高度的灵活性与强大的分析能力,使其能够通过一套高度可配置的流程,精确、高效地剔除晶圆上那些性能参数超出统计控制界限的异常芯片,从而构筑起一道基于动态统计过程控制的智能质量防线。 黑龙江半导体GDBC系统价格PAT模块与GDBC算法协同区分随机噪声与系统性缺陷,提升筛选精确度。

晶圆制造环节的良率波动直接影响整体产出效率,YMS系统通过全流程数据治理提供有力支撑。系统自动采集并解析来自主流测试设备的多源异构数据,建立标准化数据库,实现对晶圆批次、区域乃至单点良率的精细化监控。结合WAT、CP、FT等关键测试数据的变化趋势,系统可快速锁定影响良率的关键因素,指导工艺参数调优。图表化界面直观展示良率热力图、趋势曲线等关键指标,辅助工程师高效决策。同时,系统支持按模板生成周期性报告,并导出为常用办公格式,满足生产与管理双重需求。上海伟诺信息科技有限公司以打造国产半导体软件生态为使命,其YMS产品正持续助力制造企业迈向高质量、高效率的发展新阶段。
一套高效的良率管理系统开发方案,必须根植于真实生产场景的数据流与决策链。YMS方案覆盖从ETS88、93k、J750等Tester平台自动采集stdf、csv、log等多格式数据,到解析、清洗、整合的完整链路,确保数据源头的完整性与一致性。在此基础上,系统构建标准化数据库,实现对良率信息的统一分类与高效调用。分析层面,方案强调时间序列下的良率波动追踪与晶圆空间维度的缺陷聚类,结合WAT、CP、FT参数变化,形成从现象到根因的完整证据链。SYL与SBL的自动卡控机制嵌入关键控制点,实现预防性质量管理。同时,报表引擎支持按需生成周期报告,并导出为PPT、Excel或PDF,适配不同管理层的信息消费习惯。上海伟诺信息科技有限公司依托多年行业积累,将YMS方案打造为兼具实用性与扩展性的国产选择。Mapping Over Ink处理支持结果回溯,便于客户验证和审计分析结果。
在晶圆制造过程中,制程偏差是导致良率损失的主要因素之一,其典型表现即为晶圆上Die的区域性集群失效。此类失效并非随机分布,而是呈现出与特定制程弱点紧密相关的空间模式,例如由光刻热点、CMP不均匀或热应力集中所导致的失效环、边缘带或局部区块。然而,一个更为隐蔽且严峻的挑战在于,在这些完全失效的Die周围,往往存在一个“受影响区”。该区域内的Die虽然未发生catastrophicfailure,其内部可能已产生参数漂移或轻微损伤,在常规的CP测试中,它们仍能满足规格下限而呈现出“Pass”的结果。这些潜在的“薄弱芯片”在初期测试中得以幸存,但其在后续封装应力或终端应用的严苛环境下,早期失效的风险将明细高于正常芯片。为了将这类“过测”的潜在失效品精确识别并剔除,避免其流出至客户端成为可靠性隐患,常规的良率分析已不足以应对。必须借助特定的空间识别算法,对晶圆测试图谱进行深度处理。
上海伟诺信息科技有限公司Mapping Over Ink功能提供精确的算法能够通过分析失效集群的空间分布与形态,智能地推断出工艺影响的波及范围,并据此将失效区周围一定范围内的“PassDie”也定义为高风险单元并予以剔除。这一操作是构建高可靠性产品质量防线中至关重要的一环。 上海伟诺信息科技Stacked Map功能,通过堆叠多片Wafer结合算法与卡控规则检测mapping上存在质量风险的芯片。江西自动化Mapping Inkless系统价格
PAT模块与GDBC算法协同减少误剔除良品风险,平衡质量与成本。江西自动化Mapping Inkless系统价格
面对国产半导体制造对自主可控软件的迫切需求,良率管理系统成为打通数据孤岛、实现质量闭环的关键工具。系统自动采集ETS88、93k、J750、Chroma等主流Tester平台输出的stdf、csv、xls、log、spd、jdf、zip、txt等多种格式测试数据,通过内置算法识别重复项、缺失值并过滤异常记录,确保后续分析基于高可信度数据源。在标准化数据库支撑下,企业可从时间维度追踪良率趋势,或聚焦晶圆特定区域对比缺陷分布,快速定位工艺波动点。结合WAT、CP与FT参数的联动分析,进一步揭示影响良率的深层原因。SYL与SBL的自动计算与卡控机制,强化了过程质量防线。灵活的报表工具支持按模板生成日报、周报、月报,并导出为PPT、Excel或PDF格式,提升跨部门协同效率。上海伟诺信息科技有限公司自2019年成立以来,专注打造适配本土需求的YMS系统,助力构建中国半导体软件生态。江西自动化Mapping Inkless系统价格
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