中清航科在切割头集成声波传感器，通过频谱分析实时识别崩边、裂纹等缺陷（灵敏度1μm）。异常事件触发自动停机，避免批量损失，每年减少废片成本$2.5M。为提升CIS有效感光面积，中清航科将切割道压缩至8μm：激光隐形切割（SD）配合智能扩膜系统，崩边<3μm，使1/1.28英寸传感器边框缩减40%，暗电流降低至0.12nA/cm²。中清航科金刚石刀片再生技术：通过等离子体刻蚀去除表层磨损层，重新镀覆纳米金刚石颗粒。再生刀片寿命达新品90%，成本降低65%，已服务全球1200家客户。中清航科全自动切割线配备AI视觉定位，精度达±1.5μm。无锡砷化镓晶圆切割蓝膜
随着芯片轻薄化趋势，中清航科DBG（先切割后研磨）与SDBG（半切割后研磨）设备采用渐进式压力控制技术，切割阶段只切入晶圆1/3厚度，经背面研磨后自动分离。该方案将100μm以下晶圆碎片率降至0.01%，已应用于5G射频模块量产线。冷却液纯度直接影响切割良率。中清航科纳米级过滤系统可去除99.99%的0.1μm颗粒，配合自主研发的抗静电添加剂，减少硅屑附着造成的短路风险。智能温控模块维持液体粘度稳定，延长刀片寿命200小时以上呢。盐城砷化镓晶圆切割中清航科推出切割机租赁服务，降低客户初期投入成本。
中清航科兆声波清洗技术结合纳米气泡喷淋，去除切割道深槽内的微颗粒。流体仿真设计使清洗液均匀覆盖15:1深宽比结构，残留物<5ppb，电镜检测达标率100%。中清航科推出刀片/激光器租赁服务：通过云平台监控耗材使用状态，按实际切割长度计费。客户CAPEX（资本支出）降低40%，并享受技术升级，实现轻资产运营。中清航科VirtualCut软件构建切割过程3D物理模型，输入材料参数即可预测崩边尺寸、应力分布。虚拟调试功能将新工艺验证周期从3周压缩至72小时，加速客户产品上市。中清航科绿色切割方案：冷却液循环利用率达95%，激光系统能耗降低30%（对比行业均值）。碳足迹追踪平台量化每片晶圆加工排放，助力客户达成ESG目标，已获ISO14064认证。
针对晶圆切割后的表面清洁度要求，中清航科在设备中集成了在线等离子清洗模块。切割完成后立即对晶圆表面进行等离子处理，去除残留的切割碎屑与有机污染物，清洁度达到Class10标准。该模块可与切割流程无缝衔接，减少晶圆转移过程中的二次污染风险。中清航科注重晶圆切割设备的人性化设计，操作界面采用直观的图形化布局，支持多语言切换与自定义快捷键设置。设备配备可调节高度的操作面板与符合人体工学的扶手设计，减少操作人员长时间工作的疲劳感，同时提供声光报警与故障提示，使操作更便捷高效。中清航科晶圆切割代工获ISO 9001认证，月产能达50万片。
中清航科注重与科研机构的合作创新，与国内多所高校共建半导体切割技术联合实验室。围绕晶圆切割的前沿技术开展研究，如原子层切割、超高频激光切割等，已申请发明专利50余项，其中“一种基于飞秒激光的晶圆超精细切割方法”获得国家发明专利金奖，推动行业技术进步。晶圆切割设备的软件系统是其智能化的中心，中清航科自主开发了切割控制软件，具备友好的人机交互界面与强大的功能。支持多种格式的晶圆版图文件导入，可自动生成切割路径，同时提供离线编程功能，可在不影响设备运行的情况下完成新程序的编制与模拟，提高设备利用率。切割粉尘回收模块中清航科集成，重金属污染减排90%以上。镇江蓝宝石晶圆切割划片厂
采用中清航科激光隐形切割技术，晶圆分片效率提升40%以上。无锡砷化镓晶圆切割蓝膜
中清航科创新性推出“激光预划+机械精切”复合方案：先以激光在晶圆表面形成引导槽，再用超薄刀片完成切割。此工艺结合激光精度与刀切效率，解决化合物半导体（如GaAs、SiC）的脆性开裂问题，加工成本较纯激光方案降低35%。大尺寸晶圆切割面临翘曲变形、应力集中等痛点。中清航科全自动切割机配备多轴联动补偿系统，通过实时监测晶圆形变动态调整切割参数。搭配吸附托盘，将12英寸晶圆平整度误差控制在±2μm内，支持3DNAND多层堆叠结构加工。无锡砷化镓晶圆切割蓝膜
