宁波氩气特气管道安装注意事项

尾气处理装置进场验收应符合下列规定：1 尾气处理装置进场应对外观、外形尺寸、构成、接口、铭牌、气密试验、阀门动作、信号传输等性能进行检查和核对；2 尾气处理装置的主要组成件、附件应符合设计与合同的要求，随机资料和专门使用工具应齐全；3 酸碱中和装置的洗涤塔、风机、泵、控制盘、酸(碱)储罐以及连接管路等应进行外观检查，随机资料应齐全；4 尾气处理装置、风机、泵的出厂合格证、性能测试报告，铭牌、标识应齐全；5 系统流程图、控制原理图、设备使用说明书应齐全。选择特气管道工程安装公司的标准：对特气管道工程设计考虑的比较全方面。宁波氩气特气管道安装注意事项

排风系统和放空系统也是特气系统的重要组成部分。其排风系统也根据危险品性质分成普通排风系统（GEX）、酸性排风系统（SEX）、溶剂排风系统（VEX）、氨气排风系统（AEX）。普通排风系统采用镀锌铁皮风管，酸性排风一般采用玻璃钢风管，溶剂和氨气排风一般采用不锈钢风管。气柜的排风也是根据其性质接入上面不同的排风系统。气体的放空是指特气管道和气柜中的特气经氮气稀释后由放空管道排放到大气或排风系统中，有的剧毒性或高危害性的气体建议排放到尾气处理器中经处理后排放至相应的排风系统中。放空系统一般采用SUS304不锈钢管道，一直延伸到屋顶，高出屋面两米左右，并设防雨罩。宁波氩气特气管道安装注意事项施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。

GMS和GDS系统，气体监控系统（GMS)通过计算机网络，实现对气体输送系统的实时监控，以确保系统的稳定性。气体侦测系统（GDS）是全厂生命安全系统（LSS）的重要组成部分。对于侦测器的要求，除了精度高，反应迅速外，还应具备自检功能。对于这两个系统在这里只能做一个概念性的介绍。然后、充分了解气体特性、从而合理配置系统，合理选择管径和材料，是我们设计的重点，这样可明显降低整个系统的成本。特种气体管道的施工，特种气体管道的施工采用全自动轨道焊接，同时制定和实施严格的超高纯施工和QA/QC保证程序，对施工的质量和程序进行严格的监控和管理。然后整个系统还要进行氦检漏、水分、氧分和颗粒度检测、以及其他要求做的气相杂质的测试。其现场基本的施工程序为：施工图纸会审﹣→施工组织编写﹣→预制间的搭设﹣→施工机具的准备﹣→施工人员的培训﹣→预制图纸的编写﹣→管道的预制﹣→管道的现场安装﹣→系统检测﹣→系统验收。

硅烷特气柜设计要求：1、因为硅烷（SiH4）的危险性，所以整套系统应该配备惰性吹扫装置，而且应该设置单独的惰性气体钢瓶（比如高压N2）进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫。2、硅烷（SiH4）与空气会自燃，柜内应配备气体泄露侦测器、火焰探测器等，当发生泄漏时，能及时报警处理，避免更大事故的发生。3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统，硅烷和硅烷混合物排气系统应该单独于其它气体排气系统。4、如果排气的硅烷（SiH4）浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。5、由于存在通过系统的固定惯性气流，要设有防止回流装置。6、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s。特气管道安装时，在管子对口前应检查平直度，在距离接口中心200mm处测量。

管口加工，管口的加工是本施工技术的关键点之一，管道切割、预制均在洁净环境进行，同时确保管道切割前表面无有害痕迹、破损。管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。管道在取掉两层塑料外包装后，要轻轻的取下两端的塑料密封套，并立即充氮，防止空气污染。管道切割时使用不锈钢专门使用切割器缓慢进行切割，操作时保持切面直度(90°±0.5)。管道水平15°横放固定倾斜摆放姿势进行切割及端面处理，并顺介质下的流方向冲放高纯氮气，防止切屑进入管内。切割后采用端面处理器进行端面处理，铣去毛刺；处理过程中，确保端面朝下(一直保持端面朝下)，处理后轻轻抖动消除切屑；加工后使切面朝下，从上方敲打5次，然后再次顺管内介质流用高纯氮气冲吹，切割面位于氮气下的流方向。切割后和端面处理后如管上附有切屑或其他杂质，用无尘布沾异丙醇擦试干净，无尘布使用应遵循“一次擦”的原则，不能反复使用。特气管道工程是一项危险系数比较高的工程，在选择的过程中一定要注意安装标准规范操作。无锡实验室特气管道安装解决方案

特种气体管道的施工对环境的要求比较高，管道施工采用大批量预制然后现场 安装的方法。宁波氩气特气管道安装注意事项

半导体及太阳能薄膜工艺会使用到超高纯硅烷SiH4、磷烷PH3，砷烷AsH3、乙硼烷B2H6、六氟化钨WF6、高纯氨NH3等特气，这些气体具有易燃、剧毒、强腐蚀等特性，但却是精密半导体电子元器件、新能源光电产品制造的必不可少的重要原料。生产中若发生气体泄漏，将会造成非常严重的产品质量和人身伤亡事故。为确保安全，此类高纯特气的输送管道采用不锈钢双层管道。该管道施工时，对作业环境洁净度、管道内外管材的洁净度、焊接和安装质量的要求都非常高。本篇就超高纯特气双层管道的施工提出几点建议供同行参考。宁波氩气特气管道安装注意事项