借助原子力显微镜(AFM)的纳米力学测试法，利用原子力显微镜探针的纳米操纵能力对一维纳米材料施加弯曲或拉伸载荷。施加弯曲载荷时，原子力显微镜探针作用在一维纳米悬臂梁结构高自山端國双固支结构的中心位置,弯曲挠度和载荷通过原子力显微镜探针悬曾梁的位移和悬臂梁的刚度获取，依据连续力学理论，由试样的载荷一挠度曲线获得其弹性模量、强度和韧性等力学性能参数。这种方法加载机理简单,相对拉伸法容易操作，缺点是原子力显微镜探针的尺寸与被测纳米试样相比较大,挠度较大时探针的滑动以及试样中心位置的对准精度严重影响测试精度3、借助微机电系统(MEMS)技术的片上纳米力学测试法基于 MEMS 的片上纳米力学测试法采用 MEMS 微加工工艺将微驱动单元、微传感单元或试样集成在同一芯片上，通过微驱动单元对试样施加载荷，微位移与微力检测单元检测试样变形与加载力，进面获取试样的力学性能。纳米力学测试可以解决纳米材料在制备和应用过程中的力学问题，提高纳米材料的性能和稳定性。广东高精度纳米力学测试方法
AFAM 方法提出之后，不少研究者对方法的准确度和灵敏度方面进行了研究。Hurley 等分析了空气湿度对AFAM 定量化测量结果的影响。Rabe 等分析了探针基片对AFAM 定量化测量的影响。Hurley 等详细对比了AFAM 单点测试与纳米压痕以及声表面波谱方法的测试原理、空间分辨率、适用性及测试优缺点等。Stan 等提出一种双参考材料的方法，此方法不需要了解针尖的力学性能，可以在一定程度上提高测试的准确度。他们还提出了一种基于多峰接触的接触力学模型，在一定程度上可以提高测试的准确度。Turner 等通过严格的理论推导研究了探针不同阶弯曲振动和扭转振动模态的灵敏度问题。Muraoka提出一种在探针微悬臂末端附加集中质量的方法，以提高测试灵敏度。Rupp 等对AFAM测试过程中针尖样品之间的非线性相互作用进行了研究。广州国产纳米力学测试模块纳米力学测试的结果对于预测纳米材料在实际应用中的表现具有重要参考价值。
纳米力学性能测试系统是一款可在SEM/FIB中对微纳米材料和结构的力学性能进行原位、直接而准确测量的纳米机器人系统。测试原理是通过微力传感探针对微纳结构施加可控的力,同时采用位移记录器来测量该结构的形变。从测得的力和形变(应力-应变)曲线可以定量地分析微纳米结构的力学性能。通过控制加载力的大小和方向,可实现拉伸、压缩、断裂、疲劳和蠕变等各种力学测试。同时,其配备的导电样品测试平台可以对微纳米结构的电学和力学性能进行同步测试。
原位纳米压痕仪的主要功能为：安装于SEM或者FIB中，可以对金属材料、陶瓷材料、生物材料及复合材料等各种材料精确施加载荷、检测形变量。在电镜下进行压痕、压缩、弯曲、划痕、拉伸和疲劳等力学性能测试；此外，还可研究材料在动态力、热等多场耦合条件下结构与性能的关系。ALEMNIS原位纳米压痕仪可与多种分析设备联用，如扫描电镜、光学显微镜和同步辐射装置等，并实现多种应用场景。该原位纳米压痕仪是一款能实现本征位移控制模式的压痕仪。依托于该设备的精巧设计及精细加工，对于不同的应用场景，其均具有灵活性、精确性和可重复性。在纳米力学测试中，常用的测试方法包括纳米压痕测试、纳米拉伸测试和纳米弯曲测试等。
当前纳米力学主要应用的测试手段是纳米压痕和基于原子力显微镜(AFM) 的力—距离曲线方法，实际上还有另外一种基于AFM 的纳米力学测试方法——扫描探针声学显微术(atomic force acoustic microscopy，AFAM)。AFAM具有分辨率高、成像速度快、相对误差低、力学性能敏感度高等优点。然而，目前AFAM 的应用还不够普遍，相关领域的学者对AFAM 了解和使用的还不多。为此，我们在前期研究的基础上，经过整理和凝练，形成了这部专著，目的是推动AFAM这种新型纳米力学测量方法在国内的普遍应用。纳米力学测试可以应用于纳米材料的力学模拟和仿真，加速纳米材料的研发和应用过程。四川新能源纳米力学测试原理
纳米力学测试可应用于纳米材料、生物材料、涂层等领域的研究和开发。广东高精度纳米力学测试方法
借助电子显微镜(EM)的原位纳米力学测试法，利用扫描电子显微镜或透射电子显微镜(TEM)的高分辨率成像，在EM 真空腔内进行原位纳米力学测试，根据纳米试样在EM真空腔中加载方式不同分为谐振法和拉伸法。原位测试法的较大优点是能够在 SEM 中实时观测试样的失效引发过程，甚至能够用 TEM 对缺陷成核和扩展情况进行原子级分辨率的实时观测;缺点是需在 EM 真空腔内对纳米试样施加载荷，限制了其加载环境，并且加载力的检测还需其他装置才能完成。广东高精度纳米力学测试方法
