当前纳米力学主要应用的测试手段是纳米压痕和基于原子力显微镜(AFM) 的力—距离曲线方法，实际上还有另外一种基于AFM 的纳米力学测试方法——扫描探针声学显微术(atomic force acoustic microscopy，AFAM)。AFAM具有分辨率高、成像速度快、相对误差低、力学性能敏感度高等优点。然而，目前AFAM 的应用还不够普遍，相关领域的学者对AFAM 了解和使用的还不多。为此，我们在前期研究的基础上，经过整理和凝练，形成了这部专著，目的是推动AFAM这种新型纳米力学测量方法在国内的普遍应用。纳米力学测试在纳米器件的设计和制造中具有重要作用。广东国产纳米力学测试方法
用户可设计自定义的测试程序和测试模式：①FT-NTP纳米力学测试平台,是一个5轴纳米机器人系统,能够在绝大部分全尺寸的SEM中对微纳米结构进行精确的纳米力学测试。②FT-nMSC模块化系统控制器,其连接纳米力学测试平台,同步采集力和位移数据。其较大特点是该控制器提供硬。件级别的传感器保护模式,防止微力传感探针和微镊子的力学过载。③FT-nHCM手动控制模块,其配置的两个操控杆方便手动控制纳米力学测试平台。④带接线口的SEM法兰,实现模块化系统控制器和纳米力学测试平台的通讯。福建半导体纳米力学测试原理纳米力学测试的结果可以为新材料的设计和应用提供重要参考。
有限元数值分析方面，Hurley 等分别基于解析模型和有限元模型两种数据分析方法测量了铌薄膜的压入模量，并进行了对比。Espinoza-Beltran 等考虑探针微悬臂的倾角、针尖高度、梯形横截面、材料各向异性等的影响，给出了一种将实验测试和有限元优化分析相结合，确定针尖样品面外和面内接触刚度的方法。有限元分析方法综合考虑了实际情况中的多种影响因素，精度相对较高。Kopycinska-Muller 等研究了AFAM 测试过程中针尖样品微纳米尺度下的接触力学行为。Killgore 等提出了一种通过检测探针接触共振频率变化对针尖磨损进行连续测量的方法。
扫描探针声学显微术一般适用于模量范围在1~300 GPa 的材料。对于更软的材料，在测试过程中接触力有可能会对样品造成损害。基于轻敲模式的原子力显微镜多频成像技术是近年来发展的一项纳米力学测试方法。通过同时激励和检测探针多个频率的响应或探针振动的两阶(或多阶) 模态或探针振动的基频和高次谐波成分等，可以实现对被测样品形貌、弹性等性质的快速测量。只要是涉及探针两个及两个以上频率成分的激励和检测，均可以归为多频成像技术。由于轻敲模式下针尖施加的作用力远小于接触状态下的作用力，因此基于轻敲模式的多频成像技术适合于软物质力学性能的测量。纳米力学测试在航空航天领域，为超轻、强度高材料研发提供支持。
量子效应决定物理系统内个别原子间的相互作用力。在纳米力学中用一些原子间势能的平均数学模型引入量子效应。在经典多体动力学内加入原子间势能提供了纳米结构和原子尺寸决定性的力学模型。数据方法求解这些模型称为分子动力学（MD），有时称为分子力学。非决定性数字近似包括蒙特卡罗，动力蒙卡罗和其它方法。现代的数字工具也包括交叉通用近似，允许同时和连续利用原子尺寸的模型。发展这些复杂的模型是另一应用力学的研究课题。测试内容丰富多样，包括硬度、弹性模量、摩擦系数等，助力材料研究。福建半导体纳米力学测试原理
在纳米尺度上，材料的力学性质往往与其宏观尺度下的性质有明显不同，因此纳米力学测试具有重要意义。广东国产纳米力学测试方法
纳米划痕法，纳米划痕硬度计主要是通过测量压头在法向和切向上的载荷和位移的连续变化过程，进而研究材料的摩擦性能、塑性性能和断裂性能的。纳米划痕仪器的设计主要有两种方案 纳米划痕计和压痕计，合二为一即划痕计的法向力和压痕深度由高分辨率的压痕计提供，同时记录匀速移动的试样台的位移，使压头沿试样表面进行刻划，切向力由压杆上的两个相互垂直的力传感器测量纳米划痕硬度计和压痕计相互单独。纳米划痕硬度计，不只可以研究材料的摩擦磨损行为，还普遍应用于薄膜的粘着失效和黏弹行为。对刻划材料来说，不只载荷和压入深度是重要的参数，而且残余划痕的深度、宽度、凸起的高度在研究接触压力和实际摩擦也是十分重要的。目前，该类仪器已普遍应用于各种电子薄膜、汽车喷漆、胶卷、光学镜 头、磁盘、化妆品(指甲油和口红)等的质量检测。广东国产纳米力学测试方法
