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    b)将该液氮塔底馏出物的全部或一部分过冷以产生经过冷液氮流；以及(c)在双级回流冷凝器-釜锅炉中，用冷凝介质和经过冷液氮流的一部分将来自含不可冷凝气体的塔顶馏出物的氮气冷凝，同时蒸发或部分蒸发冷凝介质和第二冷凝介质。从而产生冷凝物、由冷凝介质的部分蒸发形成的物流、由第二冷凝介质的蒸发或部分蒸发形成的第二物流、以及包含大于约50％摩尔份数的粗氖蒸气的含氖排放流。此外，该含氖排放流还包含大于约10摩尔份数的氦气。在利用双级回流冷凝器-锅炉布置的实施方案中，双级回流冷凝器-锅炉的致冷源中的一种(即，冷凝介质)可以是来自空气分离单元的换热器系统的釜流或来自空气分离单元的氩冷凝器的釜流。同样，来自冷凝介质的部分蒸发的汽化流可被引导至空气分离单元的低压塔或氩冷凝器。本发明还可被表征为用于双塔空气分离单元的氖气回收系统，该系统包括：(i)不可冷凝物汽提塔，该不可冷凝物汽提塔被构造成接收来自主冷凝器-再沸器的液氮冷凝物流的一部分以及来自空气分离单元的高压塔的富氮盘架蒸气流，该不可冷凝物汽提塔还被构造成产生液氮塔底馏出物和含不可冷凝气体的塔顶馏出物；汽提塔冷凝器。进行低压放电时，在红色部分显示出非常明显的发射谱线。安徽液氖气厂家价格

    将经压缩且经冷却的涡轮空气流35引导至或引入主或初级换热器52中，在其中将该经压缩且经冷却的涡轮空气流部分冷却至约160开尔文至约220开尔文之间的范围内的温度以形成经部分冷却且经压缩的涡轮空气流38，该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流随后被引入涡轮膨胀机62中以产生被引入到蒸馏塔系统70的高压塔72中的冷排气流64。由该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流的膨胀而产生的补充致冷由此被直接施加到高压塔72，从而减轻了主换热器52的一些冷却负荷。在一些实施方案中，涡轮膨胀机62可与用于直接或通过适当的齿轮装置进一步压缩涡轮空气流32的增压压缩机36联接。虽然图1所示的基于涡轮的致冷回路被示出为下塔涡轮(lct)回路，在该回路中经膨胀排气流被进料至蒸馏塔系统70的高压塔72，但可设想到基于涡轮的致冷回路另选地可以是上塔涡轮(uct)回路，在该回路中涡轮排气流被引导至低压塔。此外，基于涡轮的致冷电路可以是lct回路和uct回路的组合。类似地，在采用uct布置(未示出)的另选实施方案中，纯化的且经压缩的进料空气的一部分可在初级换热器中部分冷却，然后该经部分冷却的物流的全部或一部分被转移到热涡轮膨胀机中。辽宁Ne氖价格电路接通后，氖泡会停止发热。

    Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。

    频率转换将不发生，激光将无改变的通过非线性晶体，且由于晶体对各个波长的透过率非常高，功率损耗很小可忽略。当非线性晶体421、422均工作在比较好温度时，输出全部激光波长，分别为1064nm、532nm、355nm；当非线性晶体421均工作在比较好温度时，非线性晶体422远偏离比较好温度时，输出两种波长，分别为1064nm、532nm；当非线性晶体421、422均远偏离比较好温度时，输出一种波长，为1064nm。同样，当使某一非线性晶体工作在其比较好工作时，可使此非线性晶体产生的波长的激光输出功率比较大，若稍微调离比较好工作温度时，可使此晶体对应产生的波长功率降低，从而可以调节各个波长输出的比例。以此类推。至此，已经结合附图对本公开实施例进行了详细描述。需要说明的是，在附图或说明书正文中，未绘示或描述的实现方式，均为所属技术领域：中普通技术人员所知的形式，并未进行详细说明。此外，上述对各元件和方法的定义并不*限于实施例中提到的各种具体结构、形状或方式，本领域普通技术人员可对其进行简单地更改或替换。依据以上描述，本领域技术人员应当对本公开可控的多波长激光输出装置有了清楚的认识。综上所述，本公开提供了一种可控的多波长激光输出装置。过度吸入氖气可能导致窒息，因为氖气没有氧气供应。

    光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。无腐蚀性，可使用通用材料。青海普氖储存

氖气通电后会发出橙色的光，在所有稀有气体中，氖气的放电在相同的电压和电流下是比较强烈的。安徽液氖气厂家价格

无色、无味、无臭，常温下为气态的惰性气体。气体相对密度0.9002(O℃)。液态相对密度1.204(-245.9℃)。熔点-248.67℃，沸点-245.9℃。临界温度-228.66℃，临界压力26.9×105Pa,微溶于水。进行低压放电时，在红色部分显示出非常明显的发射谱线。十分不活泼，不燃烧，也不助燃。液氖具有沸点低、蒸发潜热较高、使用安全等优点。

空分法：用分凝法从空分装置中提取粗氦、氖混合气。由粗氮、氖混合气经除氢、除氮后获得纯度99.95%以上的纯氖氦混合气，经分离、纯化可制得99.99%的高纯氖。 安徽液氖气厂家价格