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    Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术，KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量，ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后，客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示：“氖气是半导体制造业不可或缺的气体，我们认识到在当前情况下，持续的供应危机是一个极为严重的问题，将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产，为此我们推出了三大措施：为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。可由液态空气分离得到，在真空管内发出淡红色辉光，用于电灯中 [neon]——元素符号Ne。江苏Ne氖气多少升

    主进料空气压缩机组、任选的涡轮空气回路和增压器空气回路共同包括“热端”空气压缩回路。类似地，主换热器或初级换热器、基于涡轮的致冷回路的部分和蒸馏塔系统的部分被称为通常容纳在一个或多个绝缘冷箱中的“冷端”系统/设备。热端空气压缩回路在图1、图3和图6所示的主进料压缩机组中，进入的进料空气22通常被抽吸穿过吸气过滤器外壳(asfh)并且在多级中间冷却的主空气压缩机布置24中被压缩至可介于约5巴(a)至约15巴(a)之间的压力。该主空气压缩机布置24可包括串联或并联布置的整体齿轮式压缩机级或直接驱动压缩机级。离开主空气压缩机布置24的经压缩空气26被进料至具有一体式除雾器的后冷却器或(未示出)，以移除进入的进料空气流中的游离水分。通过用冷却塔水冷却经压缩进料空气，在后冷却器中将来自主空气压缩机布置24的压缩级的压缩的压缩热移除。来自该后冷却器以及主空气压缩布置24中的一些中间冷却器的冷凝物输送到冷凝物罐，并且用于向空气分离设备的其他部分供应水。然后将冷却且干燥的经压缩空气进料26在预纯化单元28中纯化以从该冷却的干的经压缩空气进料中移除高沸点污染物。如本领域所熟知。江西工业氖多少升氖在常温常压下为无色无臭无毒的惰性气体。空气中含氖约18ppm。不燃。

    所以不可冷凝物汽提塔210设置在比离开主冷凝器-再沸器80的液氮流(即，来自高压塔的盘架液体脱离物)更低的高度，使得通过获得重力压差来将下降液体回流进料至不可冷凝物汽提塔210。随着上升蒸气(即，汽提蒸气)沿不可冷凝物汽提塔210上升。在不可冷凝物汽提塔210中发生的传质将使较重的组分如氧气、氩气、氮气集中在下降液相中，而上升汽相富含轻组分如氖气、氢气和氦气。如上所指出，上升蒸气被引入或进料至汽提塔冷凝器220。汽提塔冷凝器220是不可冷凝物汽提塔210集成的回流式或非回流式钎焊铝制换热器。来自不可冷凝物汽提塔210的富氮液体塔底馏出物212的小物流或部分为汽提塔冷凝器220提供冷凝介质216，而富氮液体塔底馏出物212的剩余部分是液氮回流流218，该液氮回流流因来自空气分离单元10的废氮流93而在过冷器单元99中过冷。经过冷液氮回流流218的部分可任选地被看作液氮产物217，转移到氖气质量改善装置240中或在阀219中膨胀，并且作为回流流260返回到空气分离单元10的低压塔74中。例示的过冷器单元99可以是空气分离单元10中现有的过冷器，或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的过冷器单元。

    单词“包含”不排除存在未列在权利要求中的元件或步骤。位于元件之前的单词“一”或“一个”不排除存在多个这样的元件。说明书与权利要求中所使用的序数例如“***”、“第二”、“第三”等的用词，以修饰相应的元件，其本身并不意味着该元件有任何的序数，也不**某一元件与另一元件的顺序、或是制造方法上的顺序，该些序数的使用*用来使具有某命名的一元件得以和另一具有相同命名的元件能做出清楚区分。此外，除非特别描述或必须依序发生的步骤，上述步骤的顺序并无限制于以上所列，且可根据所需设计而变化或重新安排。并且上述实施例可基于设计及可靠度的考虑，彼此混合搭配使用或与其他实施例混合搭配使用，即不同实施例中的技术特征可以自由组合形成更多的实施例。本领域那些技术人员可以理解，可以对实施例中的设备中的模块进行自适应性地改变并且把它们设置在与该实施例不同的一个或多个设备中。可以把实施例中的模块或单元或组件组合成一个模块或单元或组件，以及此外可以把它们分成多个子模块或子单元或子组件。除了这样的特征和/或过程或者单元中的至少一些是相互排斥之外，可以采用任何组合对本说明书。在高电压下，氖气可被激发为氖的等离子体状态，发出红色橙色的荧光。

    将经压缩且经冷却的涡轮空气流35引导至或引入主或初级换热器52中，在其中将该经压缩且经冷却的涡轮空气流部分冷却至约160开尔文至约220开尔文之间的范围内的温度以形成经部分冷却且经压缩的涡轮空气流38，该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流随后被引入涡轮膨胀机62中以产生被引入到蒸馏塔系统70的高压塔72中的冷排气流64。由该经部分冷却且经压缩的涡轮空气流的膨胀而产生的补充致冷由此被直接施加到高压塔72，从而减轻了主换热器52的一些冷却负荷。在一些实施方案中，涡轮膨胀机62可与用于直接或通过适当的齿轮装置进一步压缩涡轮空气流32的增压压缩机36联接。虽然图1所示的基于涡轮的致冷回路被示出为下塔涡轮(lct)回路，在该回路中经膨胀排气流被进料至蒸馏塔系统70的高压塔72，但可设想到基于涡轮的致冷回路另选地可以是上塔涡轮(uct)回路，在该回路中涡轮排气流被引导至低压塔。此外，基于涡轮的致冷电路可以是lct回路和uct回路的组合。类似地，在采用uct布置(未示出)的另选实施方案中，纯化的且经压缩的进料空气的一部分可在初级换热器中部分冷却，然后该经部分冷却的物流的全部或一部分被转移到热涡轮膨胀机中。十分不活泼，不燃烧，也不助燃。液氖具有沸点低、蒸发潜热较高、使用安全等优点。普通氖

氖气具有很高的导热性，常用于制冷和冷却设备中。江苏Ne氖气多少升

    氖气Ne1.别名·英文名Neon．2.用途用于霓虹灯、**灯、绝缘检测器、高频率验电器、等离子体研究、激光器等，用作低温冷却剂、标准气、特种混合气等。3.制法空分副产品。4.理化性质分子量：三相点()：℃沸点()：℃液体密度(，)：1207kg/m3气体密度(0℃，)：kg/m3相对密度(气体，空气=1，25℃，)：比容(℃，)：临界温度：℃临界压力：2720kPa临界密度：压缩系数：温度(℃)压缩系数100kPa1000kPa10000kPa20000kPa1550熔化热(℃，)：气化热(℃，)：kJ/kg比热容(25℃，)：Cp=J/(kg·K)Cv=J/(kg·K)比热比(气体，25℃，)：Cp/Cv=蒸气压()：()：()：kPa粘度(kPa，0℃)：mPa·S表面张力(℃)：导热系数(kPa，0℃)：(m·K)(液体，)：W/(m·K)折射率(气体，0℃，kPa，5893?)：氖在常温常压下为无色无臭无毒的惰性气体。空气中含氖约18ppm。不燃。在(0℃)，ml/g(30℃)，(50℃)。5.毒性·安全防护氖本身无毒，但是在高浓度时能稀释空气中的氧而起窒息作用。窒息症状见氩项。无腐蚀性，可使用通用材料。对液氖可使用奥氏体不锈钢。氖一般用玻璃瓶或钢瓶贮装。在贮运过程中应轻装轻卸，严防容器碰损。江苏Ne氖气多少升