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    这产生了粗液氧塔底馏出物86(也称为釜液体)和富氮塔顶馏出物87。低压塔74还设置有多个传质接触元件，这些接触元件可以是塔盘或规整填料或散堆填料或低温空气分离领域中的其他已知元件。低压塔74中的这些接触元件被示出为规整填料79。如前所述。在低压塔74内发生的分离产生被提取为富氧液体流90的富氧液体塔底馏出物77和被提取为氮产物流95的富氮蒸气塔顶馏出物91。如附图所示，富氧液体流90可经由泵180泵送并被看作被泵送的液氧产物185，或被引导至主换热器52，在该主换热器中将该富氧液体流加热以产生气态氧产物流190。另外，还从低压塔74提取了废物流93以控制氮产物流95的纯度。氮产物流95和废物流93两者均穿过被设计为使釜流88和/或回流流过冷的一个或多个过冷单元99。经过冷回流流260的一部分可任选地被看作液体产物流98，并且其余部分可在穿过膨胀阀96之后被引入到低压塔74中。在穿过过冷单元99之后，氮产物流95和废物流93在主或初级换热器52内被完全加热，以产生经加热氮产物流195和经加热废物流193。尽管未示出，但是经加热废物流193可用于再生预纯化单元28内的吸附剂。用于回收氖气和氦气的系统/设备图2、图4、图5、图7和图8示意性地描绘了不可冷凝气体回收系统。在贮运过程中应轻装轻卸，严防容器碰损。湖南液氖储存

    或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的单元。在图7和图8的实施方案中，冷凝器-再沸器520、620是双级冷凝器-再沸器，该双级冷凝器-再沸器提供双级别致冷以将来自不可冷凝物汽提塔510、610的大部分塔顶馏出蒸气529、629部分冷凝。图7所示的回流冷凝器-再沸器520被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔510的包含氖气和其他不可冷凝物的塔顶馏出气体529、包括从空气分离单元10的氮气过冷器转移来的釜沸腾流的冷凝介质522、以及包括经由经过冷液氮回流流的阀546的节流部分的第二冷凝介质548。该双级回流冷凝器-再沸器520被构造成产生作为回流返回到不可冷凝物汽提塔510的液氮冷凝物流545、被引导至空气分离单元10的氩冷凝器78的双相汽化流525、以及被从冷凝器-再沸器520的顶部抽出并且包含大于约50％摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流550。该粗氖蒸气流还可包含大于约10％摩尔份数的氦气。将汽化流549从相分离器544中移除并进料至废物流93中。与其他上述实施方案一样，例示的不可冷凝气体回收系统的总体氖气回收率高于95％。所描绘的不可冷凝气体回收系统的附加有益效果是液氮消耗低，并且由于大量液氮被再循环回到低压塔。贵州超纯氖多少升氖气是一种无色、无臭的惰性气体。

    还可将经过冷液氮回流流的其他部分作为回流流引导至低压塔并且/或者将其看作液氮产物流。附图说明虽然本发明的结论是申请人视为他们的发明内容且清楚地指出发明主题的权利要求，但相信本发明在结合附图考虑时将得到更好的理解。其中：图1是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图2是图1的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；图3是具有不可冷凝气体回收系统的另选实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图4是图3的不可冷凝气体回收系统的一个实施方案的更详细示意图；图5是图3的不可冷凝气体回收系统的另一实施方案的更详细示意图；图6是具有本发明的不可冷凝气体回收系统的又一实施方案的低温空气分离单元的局部示意图；图7是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图；并且图8是图6的不可冷凝气体回收系统的更详细示意图。具体实施方式现在转到图1、图3和图6，示出了通常也称为空气分离单元10的低温空气分离设备的简化例示。从广义上讲，所描绘的空气分离单元包括主进料空气压缩机组20、涡轮空气回路30、增压器回路40、主或初级换热器系统50、基于涡轮的致冷回路60以及蒸馏塔系统70。如本文所用。

    光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。氖气通电后会发出橙色的光，在所有稀有气体中，氖气的放电在相同的电压和电流下是比较强烈的。

    每个所述的端子槽连通一个引线槽4，所述端子槽的上方设置有压模5，所述压模底部和所述的端子槽里面分别设置有电烙铁6，所述电烙铁连接供电电源，所述的压模连接加压装置。本实施例中所述的氖灯电阻铜扣连接机，所述的加压装置包括与所述压模连接的横杆7，所述横杆上设置有加强杆8，所述加强杆的中间通过一个人字架9连接液压油缸10。本实施例所述的氖灯电阻铜扣连接机，所述横杆两侧设置有导轨11。本实施例所述的氖灯电阻铜扣连接机，所述的电烙铁外周设置有隔热层。本实施例所述的氖灯电阻铜扣连接机，相邻的所述的端子槽之间的距离为10-20cm。工作过程，将引线放在引线槽中，端子放在端子槽中，启动电源使得电烙铁预热后启动液压油缸带动压模下降，压模下降到端子槽中，加热加压进行端子焊接。本实用新型方案所公开的技术手段不仅限于上述技术手段所公开的技术手段，还包括由以上技术特征等同替换所组成的技术方案。本实用新型的未尽事宜，属于本领域技术人员的公知常识。使用液化氖气时，要注意防止皮肤和眼睛接触，因为液化氖气的低温会引起组织不适。贵州普氖气多少m3

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    来自不可冷凝物汽提塔310、410的所有液氮塔底馏出物312、412提供液氮回流流318、418，该液氮回流流因来自空气分离单元10的废氮流93而在过冷器单元99中过冷。如上所述，经过冷液氮回流流的部分可任选地被看作液氮产物317、417，作为物流348、448转移到液氮回流冷凝器342、442或在阀319、419中膨胀，并且作为回流流360、460返回到空气分离单元10的低压塔74中。类似于图2的氖气质量改善装置，图4和图5的氖气质量改善装置340、440包括液氮回流冷凝器342、442；相分离器344、444。以及氮气流量控制阀346、446。液氮回流冷凝器342、442用第二冷凝介质348、448将含不可冷凝物排放流329、429冷凝，该第二冷凝介质是经过冷液氮回流流的一部分。将汽化流349、449从氖气回收系统100中移除并进料至废物流93中。在液氮回流冷凝器342、442内不冷凝的残余蒸气被作为粗氖蒸气流350、450从液氮回流冷凝器342、442的顶部抽出。现在转到图7和图8，示出了不可冷凝气体回收系统100的附加实施方案，该系统包括不可冷凝物汽提塔(nsc)510、610和冷凝器-再沸器520、620。图7和图8所示的不可冷凝物汽提塔510、610被构造成接收来自高压塔72的氮气盘架蒸气515、615的一部分。湖南液氖储存