该系统被构造成用于增强对粗不可冷凝气体流(诸如含粗氖蒸气流)的回收。如图2所示,不可冷凝气体回收系统100的实施方案包括不可冷凝物汽提塔(nsc)210;汽提塔冷凝器220、制冷压缩机230和氖气质量改善装置240。不可冷凝物汽提塔210被构造成接收来自高压塔72的氮气盘架蒸气215的一部分以及来自汽提塔冷凝器220的汽化氮蒸气225的经再循环部分。将这两个物流215、225结合,然后在氮气制冷压缩机230中进一步压缩。该经进一步压缩的氮气流235作为上升蒸气流被引入到接近不可冷凝物汽提塔210底部,而不可冷凝物汽提塔210的下降液体回流包括:(i)离开主冷凝器-再沸器80的液氮流;(ii)离开汽提塔冷凝器227的液氮冷凝物流;和(iii)离开氖气质量改善装置240(即,回流冷凝器242)的液氮冷凝物流245。不可冷凝物汽提塔210产生液氮塔底馏出物212和包含更高浓度的氖气的塔顶馏出气体214,该塔顶馏出气体被进料至汽提塔冷凝器220中。在例示实施方案中,不可冷凝物汽提塔210在比空气分离单元10的高压塔72的压力更高的压力下操作,以便为汽提塔冷凝器220提供热传递温差。因为不可冷凝物汽提塔210在比高压塔72的压力更高的压力下操作。氖气体也用于激光技术。湖南液态氖气价格
Gigaphoton限时的eTGM技术也将扩展到G41K系列KrF激光器和GT40A系列ArF激光器。这一扩展计划将于2015年11月启动。通过引进eTGM技术,KrF和ArF激光器可减少25%的氖气用量,ArF浸没式激光器可减少高达50%的氖气用量。加速推出Gigaphoton的气体回收技术hTGM。该技术适用于所有类型的激光器。hTGM预计于2016年上市。采用hTGM技术后,客户将可以回收高达50%的消耗气体。Gigaphoton总裁兼首席执行官HitoshiTomaru表示:“氖气是半导体制造业不可或缺的气体,我们认识到在当前情况下,持续的供应危机是一个极为严重的问题,将会严重威胁生产的连续性。Gigaphoton将尽一切努力来支持客户的稳定生产,为此我们推出了三大措施:为气体供应商提供快速资质认证、大幅减少气体使用及尽早推出气体回收技术。青海液氖气厂家氖的三相点温度只比它的标准沸点低约2.5K。
因此对空气分离单元10中其它产品构成物的分离和回收的影响小。在许多方面,图8的实施方案与图7所示的实施方案相当相似,对应的元件和物流具有对应的附图标号,但在图8中以600序列标号,在图7中以500系列标号。例如,图7中由附图标号522、525、544、545、546、548、549和550**的项目分别与图8中由附图标记号622、625、644、645、646、648、649和650**的项目相同或相似。图7的实施方案与图8的实施方案之间的主要差异在于来自空气分离单元的氮气过冷器的釜沸腾流被来自空气分离单元10的氩冷凝器78的釜沸腾流622替代。此外。由双级回流冷凝器-再沸器620产生的沸腾流625被引导至相分离器670,所得蒸气流671和液体流672被返回到空气分离单元10的低压塔74的中间位置。实施例对于本发明的回收氖气的系统和方法的各种实施方案,使用各种空气分离单元操作模型来进行多个工艺模拟以表征:(i)氖气和其他稀有气体的回收;(ii)粗氖蒸气流的组成;以及(iii)来自蒸馏塔体系的氮的净损失;当使用上述和相关附图中所示的氖气回收系统和方法来操作空气分离单元时。表1示出了针对参考图2描述的氖气回收系统和相关联方法的基于计算机的工艺模拟的结果。如表1所示。
2)由原子构成的物质(以Cu为例)宏观:表示该物质:铜表示该物质由什么元素组成:铜由铜元素组成微观:表示该物质的一个原子—一个铜原子。化学式和化合价的关系:(1)根据化学式求化合价①已知物质的化学式,根据化合价中各元素的正负化合价代数和为0的原则确定元素的化合价。标出已知、未知化合价:列出式子求解:(+1)×2+x×1+(-2)×3=0x=+4②根据化合价原则,判断化学式的正误,如判断化学式KCO3是否正确标出元素或原子团的化合价计算正负化合价代数和是否为0:(+1)×1+(-2)×1=-1≠0,所以给出的化学式是错误的,正确的为K2CO3。③根据化合价原则,计算原子团中某元素的化合价,如计算NH4+中氮元素的化合价和H2PO4-(磷酸二氢根)中磷元素的化合价。由于NH4+带一个单位的正电荷,不是电中性的,因此各元素的化合价代数和不为多,而是等于+1.设氮元素的化合价为xx+(+1)×4=+1x=-3所以在NH4+中,氮元素的化合价为-3.同理H2PO4-带一个单位的负电荷、不是电中性的、因此各元素的化合价代数和不为零,而是-1.设磷元素的化合价为y(+1)×2+y+(-2)×4=-1y=+5所以在H2PO4-中磷元素的化合价为+5.④根据化合价原则,确定物质按化合价的排序。如H2S,S,SO2。具有非常高的稳定性,不易与其他物质发生反应。
光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施:为新的气体供应商提供快速资质认证;限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用;加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定,用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战,这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体,用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国,但由于国内危机持续不断,氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨,也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言,这是一个严峻的局面。为应对这次危机,Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案,内容包括:为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前,新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案,客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。用工业气体氖做介质制成的封闭循环式微型制冷机。陕西高纯氖气多少升
在把氖作为制冷剂应用时,利用固体氖的熔化潜热可使氖的产冷量增加20%。湖南液态氖气价格
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