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    通过设置不同的多倍频非线性晶体并通过加热炉对非线性晶体进行温度控制，不需要引入大量多余的晶体和分光镜片，又能保证多波长沿着同一输出光路输出，且各个波长的功率占比在一定程度上可以调节。还需要说明的是，实施例中提到的方向用语，例如“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”等，*是参考附图的方向，并非用来限制本公开的保护范围。贯穿附图，相同的元素由相同或相近的附图标记来表示。在可能导致对本公开的理解造成混淆时，将省略常规结构或构造。并且图中各部件的形状和尺寸不反映真实大小和比例，而*示意本公开实施例的内容。另外，在权利要求中，不应将位于括号之间的任何参考符号构造成对权利要求的限制。除非有所**为相反之意，本说明书及所附权利要求中的数值参数是近似值，能够根据通过本公开的内容所得的所需特性改变。具体而言，所有使用于说明书及权利要求中表示组成的含量、反应条件等等的数字，应理解为在所有情况中是受到「约」的用语所修饰。一般情况下，其表达的含义是指包含由特定数量在一些实施例中±10％的变化、在一些实施例中±5％的变化、在一些实施例中±1％的变化、在一些实施例中±％的变化。再者。无色、无味、无臭，常温下为气态的惰性气体。海南Ne氖气厂家价格

    进入冷箱内的主换热器3。作为一个推荐实施例，所述氮气从主换热器3冷端抽出后进入一级精馏塔4的***冷凝蒸发器9与液氮混合生成低温氮气，温度为约℃。作为一个推荐实施例，所述氮气从主换热器3中部抽出后进入冷箱内，生成较低温氮气，温度为-70℃。作为一个推荐实施例，所述低温氮气为一级精馏塔4中***冷凝蒸发器9的冷源，其中配比为420n·m3/h，-118℃氮气与200n·m3/h液氮，得到-180℃的低温氮气320n·m3/h。通过本实施例可知，本发明采用液氮和氮气的混合气作为冷源，可稳定的维持各冷凝蒸发器的操作温度，保证精馏的顺利的进行；通过对较高温度氮气的预冷，回收了出主换热器3氮气的冷量，有-35℃，升为-12℃甚至可以更高，液氮使用量有250l/h，降到150l/h(可更低)，降幅为40％。产生了巨大的经济效益。通过对氮气的回收循环利用，氪氙精制工艺中的液氮或氮气消耗量会大幅度降低，从而降低了能耗和生产成本。循环氮气量至少占到系统使用的70％以上，液氮节约量至少为70％。实施例2如图1所示，本发明实施例还提供一种氪氙精制中降低液氮使用量的装置，包括：用于氪氙精制的分馏塔2，包括：位于一级精馏塔4塔内，以液氮与氮气混合后得到的低温气体为冷源的***冷凝蒸发器9。上海普通氖毒性·安全防护氖本身无毒。

    光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施：为新的气体供应商提供快速资质认证；限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用；加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定，用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战，这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体，用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国，但由于国内危机持续不断，氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨，也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言，这是一个严峻的局面。为应对这次危机，Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案，内容包括：为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前，新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案，客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。

    背景及概述[1]周期系零族元素。元素符号Ne，原子序数10，原子量。是一种希有元素。1898年英国拉姆齐和特拉弗斯从空气中发现。空气中含量×10-3%(体积)。工业上利用分馏液态空气法制备。处理88千克液态空气可得1克氖。也可从合成氨的尾气提取氖。工业生产的氖装在高压钢瓶中。氖无色无臭无味，分子由单原子组成。熔点为℃，沸点℃。密度(标准状况下)。化学性质很不活泼，现尚未发现化合物。电流通过低压氖气时，会发出明亮的红色辉光，利用此性质制作氖信号灯、霓虹灯和测电笔中的氖泡，也用于荧光灯、气体导电灯和高压测试仪中。电子管、辐射计数器、测量宇宙辐射的电离室中都需充入氖气或氦气。氖与氦的混合气体用作原子气体激光发生器的工作物质。充有低压氖气的二极辉光放电管常用于电子电路中。氖大量用于高能物理研究。溶解度[2]不同温度和盐度下氖的溶解度可由溶解度公式(见气体溶解度)计算出来。大洋中氖的分布概括于下表。表中列出大洋不同范围内氖测定值的饱和偏差值(见气体饱和偏差)和标准偏差。表中数据表明：(1)深层海水氖的饱和度高于表层水；(2)大洋中氖含量均处于过饱和状态。用途[3-4]氖气用作氖灯充气、放电管。属周期系零族，为稀有气体的成员之一。

    和分别位于二级精馏塔5塔内、纯氪塔6塔内、粗氙塔7塔内、纯氙塔8塔内，以不同比例低温氮气与常温氮气混合后得到的较低温气体为冷源的第二冷凝蒸发器10、第三冷凝蒸发器11、第四冷凝蒸发器12、第五冷凝蒸发器13；用于汇总从各冷凝蒸发器出来的氮气并复热的主换热器3；以及用于接受复热后的氮气并增压的循环压缩机1；其中，所述一级精馏塔4与所述二级精馏塔5连接；所述二级精馏塔5分别与所述纯氪塔6和所述粗氙塔7连接；所述粗氙塔7与所述纯氙塔8连接；所述分馏塔2与所述主换热器3连接。所述循环压缩机1分别与所述分馏塔2和所述主换热器3连接。氪氙混合物经前端氪氙粗制设备浓缩后(kr：～％，xe：～％，其余为氧、氮、碳氢化合物、氟化物等)经过管道或者容器加入到分馏塔2内的一级精馏塔4中(操作压力～，温度收压力及组分变动影响，一般为-125～-170℃)，在去除低沸点组分(一般为混入的氧气、氮气等)后，送入二级精馏塔5，二级精馏塔5的操作压力比一级精馏塔4略低，一般在～，杂质含量减少，操作温度会比较稳定，一般为-130℃。在其中分离为高沸点的粗氙气和低沸点的粗氪气，其中粗氪气送入纯氪塔6(操作压力为～，操作温度为：-135℃)，在纯氪塔6中，高沸点组分。设计任何装有氖的管道或容器时， 应使其能够足以承受所遇到的压力。云南工业氖价格

工业气体氖气常温下为气态的惰性气体，不助燃。海南Ne氖气厂家价格

    同时蒸发冷凝介质以产生由该冷凝介质的蒸发形成的物流；(d)将该含氖排放流引导至回流冷凝器；以及(e)还用经过冷液氮流的一部分将来自该含氖排放流的氮气冷凝以产生氮气冷凝物和包含大于约50％摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流。同时蒸发或部分蒸发该经过冷液氮流的该部分以产生由该经过冷液氮流的该部分的蒸发或部分蒸发形成的第二物流。在利用汽提塔冷凝器的实施方案中，汽提塔冷凝器可以是集成到利用氮气作为致冷源(即，冷凝介质)的不可冷凝物汽提塔中的回流冷凝器。在此类实施方案中，冷凝介质可包括液氮塔底馏出物的一部分，同时来自回流冷凝器的汽化流可经由氮气制冷压缩机再循环至不可冷凝物汽提塔。另选地，在液氧源用作致冷源(即，冷凝介质)的情况下，冷凝器可以是热虹吸式冷凝器或直流冷凝器。在此类实施方案中，冷凝介质可以是来自空气分离单元的低压塔的液氧流，同时来自回流冷凝器的汽化流可被引导回空气分离单元的低压塔。在本发明的一些或所有实施方案中，经过冷液氮回流流可经由与空气分离单元的低压塔的氮气塔顶馏出物的间接换热而过冷。除了将经过冷液氮回流流的一部分引导至回流冷凝器或氖气质量改善装置之外。海南Ne氖气厂家价格