技术实现要素:本发明可被表征为用于双塔或三塔空气分离单元的氖气回收系统,该系统包括:(i)不可冷凝物汽提塔,该不可冷凝物汽提塔被构造成接收来自主冷凝器-再沸器的液氮冷凝物流的一部分以及来自高压塔的富氮盘架蒸气流,该不可冷凝物汽提塔被构造成产生液氮塔底馏出物和含不可冷凝气体的塔顶馏出物;和(ii)双级回流冷凝器-釜锅炉。该双级回流冷凝器-釜锅炉被构造成接收来自不可冷凝物汽提塔的含不可冷凝气体的塔顶馏出物、冷凝介质以及第二冷凝介质,并且被构造成产生释放到不可冷凝物汽提塔中或引导至不可冷凝物汽提塔的冷凝物、由冷凝介质的部分蒸发形成的物流、由第二冷凝介质的蒸发或部分蒸发形成的第二物流、以及包含大于约50%摩尔份数的粗氖蒸气的含氖排放流。将液氮塔底馏出物的全部或一部分过冷以产生经过冷液氮流,并且第二冷凝介质是该经过冷液氮流的一部分。本发明也可被表征为用于从双塔或三塔空气分离单元回收氖气的方法,该方法包括以下步骤:(a)将来自主冷凝器-再沸器的液氮流和来自空气分离单元的高压塔的富氮盘架蒸气流引导至不可冷凝物汽提塔,该不可冷凝物汽提塔被构造成产生液氮塔底馏出物和含不可冷凝物的塔顶馏出物;。在高电压下,氖气可被激发为氖的等离子体状态,发出红色橙色的荧光。辽宁高纯氖提取
所以不可冷凝物汽提塔210设置在比离开主冷凝器-再沸器80的液氮流(即,来自高压塔的盘架液体脱离物)更低的高度,使得通过获得重力压差来将下降液体回流进料至不可冷凝物汽提塔210。随着上升蒸气(即,汽提蒸气)沿不可冷凝物汽提塔210上升。在不可冷凝物汽提塔210中发生的传质将使较重的组分如氧气、氩气、氮气集中在下降液相中,而上升汽相富含轻组分如氖气、氢气和氦气。如上所指出,上升蒸气被引入或进料至汽提塔冷凝器220。汽提塔冷凝器220是不可冷凝物汽提塔210集成的回流式或非回流式钎焊铝制换热器。来自不可冷凝物汽提塔210的富氮液体塔底馏出物212的小物流或部分为汽提塔冷凝器220提供冷凝介质216,而富氮液体塔底馏出物212的剩余部分是液氮回流流218,该液氮回流流因来自空气分离单元10的废氮流93而在过冷器单元99中过冷。经过冷液氮回流流218的部分可任选地被看作液氮产物217,转移到氖气质量改善装置240中或在阀219中膨胀,并且作为回流流260返回到空气分离单元10的低压塔74中。例示的过冷器单元99可以是空气分离单元10中现有的过冷器,或者可以是形成不可冷凝气体回收系统100的一部分的过冷器单元。青海液态氖气无腐蚀性,可使用通用材料。
同时蒸发冷凝介质以产生由该冷凝介质的蒸发形成的物流;(d)将该含氖排放流引导至回流冷凝器;以及(e)还用经过冷液氮流的一部分将来自该含氖排放流的氮气冷凝以产生氮气冷凝物和包含大于约50%摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流。同时蒸发或部分蒸发该经过冷液氮流的该部分以产生由该经过冷液氮流的该部分的蒸发或部分蒸发形成的第二物流。在利用汽提塔冷凝器的实施方案中,汽提塔冷凝器可以是集成到利用氮气作为致冷源(即,冷凝介质)的不可冷凝物汽提塔中的回流冷凝器。在此类实施方案中,冷凝介质可包括液氮塔底馏出物的一部分,同时来自回流冷凝器的汽化流可经由氮气制冷压缩机再循环至不可冷凝物汽提塔。另选地,在液氧源用作致冷源(即,冷凝介质)的情况下,冷凝器可以是热虹吸式冷凝器或直流冷凝器。在此类实施方案中,冷凝介质可以是来自空气分离单元的低压塔的液氧流,同时来自回流冷凝器的汽化流可被引导回空气分离单元的低压塔。在本发明的一些或所有实施方案中,经过冷液氮回流流可经由与空气分离单元的低压塔的氮气塔顶馏出物的间接换热而过冷。除了将经过冷液氮回流流的一部分引导至回流冷凝器或氖气质量改善装置之外。
光刻光源制造商Gigaphoton,Inc.宣布推出“氖气救援计划”。该综合性方案包括以下三项措施:为新的气体供应商提供快速资质认证;限时使用Gigaphoton的eTGM技术以减少氖气使用;加速推出公司的气体回收技术hTGM。“氖气救援计划”由Gigaphoton制定,用于立即帮助客户应对氖气供应和成本方面日益严峻的挑战,这对维持稳定的高产环境至关重要。氖气是激光器中氩气(Ar)和氪气(Kr)的缓冲气体,用于半导体的制造。目前乌克兰是氖气的主要生产国,但由于国内危机持续不断,氖气供应减少已成为一个突出问题且正在引起人们的普遍担忧。担忧的原因不仅在于氖气价格上涨,也包括2015年开始的供应短缺问题。对于作为全球氖气主要消费者的半导体行业而言,这是一个严峻的局面。为应对这次危机,Gigaphoton早在2011年11月便宣布为所有新的和现有的GT系列ArF浸没式激光器提供eTGM技术的限时使用。“氖气救援计划”在此基础上提供了比较好的方案,内容包括:为客户要求的新气体供应商提供快速的资质认证方案。以前,新气体供应商需要六至十二个月才能完成测试和资质认证。但现在根据新方案,客户比快只需一个月时间便可使用新的气体供应商。氖气在水中的溶解度非常低,几乎不与水反应。
来自汽提塔冷凝器220的汽化氮气蒸气225经由氮气制冷压缩机230再循环回到不可冷凝物汽提塔210。在汽提塔冷凝器220的冷凝侧,将不可冷凝物诸如氢气、氦气、氖气作为含不可冷凝物排放流229从不可冷凝物排放口中抽出,该排放流被引导或进料至氖气质量改善装置240。氖气质量改善装置240包括液氮回流冷凝器242、相分离器244和氮气流量控制阀246。液氮回流冷凝器242是回流式钎焊铝制换热器,该换热器用第二冷凝介质248将含不可冷凝物排放流229冷凝,该第二冷凝介质是经过冷液氮回流流的一部分。将汽化流249从氖气回收系统100中移除并进料至废物流93中。在液氮回流冷凝器242内不冷凝的残余蒸气被作为包含大于约50%摩尔份数的氖气的粗氖蒸气流250从液氮回流冷凝器242的顶部抽出。该粗氖蒸气流还包含大于约10%摩尔份数的氦气。例示的不可冷凝气体回收系统100的总体氖气回收率高于95%。所描绘的不可冷凝气体回收系统100的附加有益效果是液氮消耗低,并且由于大量液氮被进料至空气分离单元10的低压塔74,因此对空气分离单元10的其它产品构成物的分离和回收的影响小。总部位于上海市杨浦区贵阳路398 号,是中国国内钢瓶气及1000-30000立方米/小时空分现场制气的供气商之一。安徽Ne氖
一种气体元素,无色无臭,不易与其他元素化合。可用来制霓虹灯和指示灯。辽宁高纯氖提取
引入线,灯管组成灯管的直径为6—20mm不等。发光效率与管径有关。如:变压器侧额定电流为,低压侧炎,氖灯变压可可供直径为10米,直径为6—10毫米的灯管长度为8米。因灯管越细,管压便大,能供电的氖灯管便越短。当外电源电路接通后,变压器输出端就会产生几千伏甚至上万伏的高压。当这一高压加到氖灯管两端电极上时,氖灯灯管内的带电粒子在高压电场中被加速并飞向电极,能激发产生大量的电子。这些激发出来的电子,在高电压电场中被加速,并与灯管内的气体原子发生碰撞。当这些电子碰撞游离气体原子的能量足够大时,就能使气体原子发生电离而成为正离子和电子,这就是气体的电离现象。带电粒子与气体原子之间的碰撞,多余的能量就以光子的形式发射出来,这就完成了氖灯的发光点亮的整个过程。除了了解氖灯工作原理,还有很多朋友好奇为何氖灯能发出不同颜色的光!第二次世界大战前夕,光致发光的材料被研制出来了。这种材料不仅能发出各种颜色的光,而且发光效率也高,我们称之为荧光粉。荧光粉被应用在氖灯制作中后,氖灯的亮度不仅有了明显提高,而且灯管的颜色也更加鲜艳夺目,变化多端,同时也简化了制灯的工艺。故在第二世界大战结束后,氖灯得到了迅猛的发展。辽宁高纯氖提取