除了采用弯曲振动模式进行测量外,Reinstadtler 等给出了探针扭转振动模式测量侧向接触刚度的理论基础。通过同时测量探针微悬臂的弯曲振动和扭转振动,Hurley 和Turner提出了一种同时测量各向同性材料杨氏模量、剪切模量和泊松比的方法。Killgore 等提出了利用软探针的高阶模态进行AFAM 定量化测试的方法,可以使探针施加在样品上的力减小到10 nN,极大地扩展了这一方法的应用范围。Killgore 和Hurley提出了一种新的脉冲接触共振的方法,将接触共振与脉冲力模式相结合,不只能测量探针的接触共振频率和品质因子,还可以测量针尖样品之间黏附力的大小。纳米力学测试可以解决纳米材料在制备和应用过程中的力学问题,提高纳米材料的性能和稳定性。海南微电子纳米力学测试服务
纳米硬度计主要由移动线圈、加载单元、金刚石压头和控制单元4部分组成。压头及其所在轴的运动由移动线圈控制,改变线圈电流的大小即可实现压头的轴向位移,带动压头垂直压向试件表面,在试件表面产生压力。移动线圈设计的关键在于既要满足较大量程的需要,还必须有很高的分辨率,以实现纳米级的位移和精确测量。压头载荷的测量和控制是通过应变仪来实现的。应变仪发出的信号再反馈到移动线圈上.如此可进行闭环控制,以实现限定载荷和压深痕实验。整个压入过程完全由微机自动控制进行。可在线测量位移与相应的载荷,并建立两者之间的关系压头大多为金刚石压头,常用的压头有Berkovich压头、Cube Corner压头和Conical压头。海南微电子纳米力学测试服务在进行纳米力学测试时,需要特别注意样品的制备和处理过程,以避免引入误差。
AFAM 方法较早是由德国佛罗恩霍夫无损检测研究所Rabe 等在1994 年提出的。1996 年Rabe 等详细分析了探针自由状态以及针尖与样品表面接触情况下微悬臂的动力学特性,建立了针尖与样品接触时共振频率与接触刚度之间的定量化关系。之后,他们还给出了考虑针尖与样品侧向接触、针尖高度及微悬臂倾角影响的微悬臂振动特征方程。他们在这方面的主要工作奠定了AFAM 定量化测试的理论基础。Reinstaedtler 等利用光学干涉法对探针悬臂梁的振动模态进行了测量。Turner 等采用解析方法和数值方法对比了针尖样品之间分别存在线性和非线性相互作用时,点质量模型和Euler-Bernoulli 梁模型描述悬臂梁动态特性的异同。
纵观纳米测量技术发展的历程,它的研究主要向两个方向发展:一是在传统的测量方法基础上,应用先进的测试仪器解决应用物理和微细加工中的纳米测量问题,分析各种测试技术,提出改进的措施或新的测试方法;二是发展建立在新概念基础上的测量技术,利用微观物理、量子物理中较新的研究成果,将其应用于测量系统中,它将成为未来纳米测量的发展趋向。但纳米测量中也存在一些问题限制了它的发展。建立相应的纳米测量环境一直是实现纳米测量亟待解决的问题之一,而且在不同的测量方法中需要的纳米测量环境也是不同的。在医学领域,纳米力学测试可用于研究细胞和组织的力学性质。
纳米压痕技术,纳米压痕技术是一种直接测量材料硬度和弹性模量的方法。该方法通过在纳米尺度下施加一个小的压痕负荷,通过测量压痕的深度和形状来推算材料的力学性质。纳米压痕技术一般使用压痕仪进行测试。在进行纳米压痕测试时,样品通常需要进行前处理,例如制备平整的表面或进行退火处理。测试过程中,将顶端负载在材料表面上,并控制负载的大小和施加时间。然后,通过测量压痕的深度和直径来计算材料的硬度和弹性模量。纳米压痕技术普遍应用于纳米硬度测试、薄膜力学性质研究等领域。测试设置需精确控制实验条件,以消除外部干扰,确保实验结果的准确性。广东新能源纳米力学测试供应商
纳米力学测试在航空航天领域,为超轻、强度高材料研发提供支持。海南微电子纳米力学测试服务
金属玻璃纳米线的热机械蠕变测试,金属玻璃由于其独特的力学性能,如高弹性极限和高断裂韧性,而受到越来越多的关注。而且,其宽的过冷液态区间开启了超塑成形的材料加工工艺。因此定量研究金属玻璃的热机械行为是至关重要的。右图显示了针对金属玻璃超塑性性能的研究。金属玻璃纳米线通过Pt基电子束沉积方法固定在FT-S微力传感探针和样品台之间。在进行蠕变测试时(施加固定拉伸力来测量样品的形变量),纳米力学测试采用对纳米线通电加热来控制纳米线温度。这样可测试纳米线在不同温度下的热机械蠕变性能。海南微电子纳米力学测试服务