而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。1.特种气体(Specialtygases):指那些在特定领域中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体、标准气、**气、医用气、焊接气、**气等,***用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2、标准气体(Standardgases):标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好稳定和量值准确的测定标准,它们具有复现、保存和传递量值的基本作用,在物理、化学、生物与工程测量领域中用于校.d([准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值。四川甲烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。福建乙烷标准气体批发商
非色散红外分析法非色散红外气体分析器是利用不同的气室和检测器测量混合气体中的一氧化碳、二氧化碳、二氧化硫、氨、甲烷、乙烷、丙烷、丁烷、乙炔等组分的含量。非色散红外气体分析器主要由红外光源、试样室、滤波器、斩波器、检测器、放大器及数据显示装置组成。微量氧分析仪在高纯气体的分析中,几乎所有的高纯气体(高纯氧除外)中都要求准确测定其中微量氧的含量。由于大气中含有大量的氧,准确测定高纯气体中微量氧乃至痕量氧,是气体分析中的难点之一。随着气体工业和仪器工业技术的不断进步,国内外分析仪器厂家已生产出不同原理的微量氧分析仪标准气体比对方法编辑为了保证所制备的标准气体量值的准确性和可比性,应经常进行量值比对。比对的形式有方法比对、实验室之间的比对、**比对等。方法比对,**常见的是用重量法制备的标准气体。为了防止称量时的流失,通常采用气相色谱法进行分析比对,以保证制备的标准气体的不确定度在合理的范围内。一般说来,重量法制备标准气体的不确定度优于1%,如果用气相色谱法分析,比对结果偏差优于2%,应逐级查找原因,以保证量值的准确性。福建乙烷标准气体批发商福建一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
气体工业名词术语(标准2113气体、高5261纯气体、特种气体)1.特种气4102体(Specialtygases):指那些在特定领域1653中应用的,对气体有特殊要求的纯气、高纯气或由高纯单质气体配制的二元或多元混合气。特种气体门类繁多,通常可区分为电子气体、标准气、**气、医用气、焊接气、**气等,***用于电子、电力、石油化工、采矿、钢铁、有色金属冶炼、热力工程、生化、环境监测、医学研究及诊断、食品保鲜等领域。2.标准气体(Standardgases):标准气体属于标准物质。标准物质是高度均匀的、良好稳定和量值)准确的测定标准,它们具有复现、保存和传递量值的基本作用,在物理、化学、生物与工程测量领域中用于校准测量仪器和测量过程,评价测量方法的准确度和检测实验室的检测能力,确定材料或产品的特性量值,进行量值仲裁等。大型乙烯厂、合成氨厂及其它石化企业,在装置开车、停车和正常生产过程中需要几十种纯气和几百种多组分标准混合气,用来校准、定标生产过程中使用的在线分析仪器和分析原料及产品质量的仪器。标准气还可用于环境监测,**的有机物测量,汽车排放气测试,天然气BTU测量,液化石油气校正标准,超临界流体工艺等。标准气视气体组分数区分为二元、三元和多元标准气体。
标准气体静态配气静态配气[4]是把一定量的液体或原料气加到已知容积的稀释气体的容器中,混合均匀。根据所加入的液体或原料气的量和容器的容积,即可计算出所配制标准气体的浓度。常用的静态配气技术有以下几种。1.大瓶子配气法将大容积的玻璃瓶或聚乙烯塑料瓶洗净、烘干,充入干净空气代替瓶中原有气体后,抽成负压,再充入一定量的液体或原料气。若原料在常温下是气体,用气体定量管加入(见图1),充入干净空气至常压。若原料是挥发性液体,可在一个小安培瓶中称取一定量的液体,放入大瓶中,抽气使成负压,再摇碎安瓶,待液体挥发后,再充入干净空气到常压。大瓶子配气法所制得的标准气体的浓度,可根据加入原料气的浓度或液体的量及大瓶子的容积求得:当加入瓶中的是原料气时,按下式计算:740)">式中:V1:原料气的体积(mL);L:原料气的浓度(ppm);V0:大瓶子的容积(L);Z:所配气体的浓度(ppm);当加入瓶中的是挥发性的液体时:740)">式中:t:气体的温度(℃);m:加入液体的量(g);M:液体的摩尔质量(gömol);Z和V0同上式。740)">用大瓶子配气时,由于器壁的吸附作用,配成的标准气体的实际浓度往往比计算值低。为避免这种影响,可以将***次配好的气体放置一段时间后抽掉,再进行第二次配气。成都乙烷标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
混合罐。标准气体分压法1、适用范围分压法适用于制备常温下是气体,含量在1~60%的标准混合气体2、所需设备配气设备:气瓶汇流排,压力表,阀门,真空泵,管道,气瓶卡具。标准气体扩散法1、适用范围扩散法适用于制备常温下是液体的有机气体2、所需设备配气设备:气瓶,阀门,流量控制阀,流量计,液体组分,分析仪表气瓶,卡具。标准气体容积法1、适用范围静态容积法适用于实验室制备多种小、少量的标准气体,压力接近大气压力。2、所需设备配气设备:气瓶,气瓶减压阀门,定体积管,压力计,真空泵。标准气体饱和法1、适用范围饱和法法适用于易于冷凝的气体和蒸汽。2、所需设备配气设备:气瓶,气瓶减压阀门,冷凝器,饱和器,恒温控制器,压力计,循环风机。标准气体流量法1、适用范围流量比法法是动态配气方法,是严格控制一定比例的组分气体和释稀释气体的流量,经混合而得到的标准气体。2、所需设备气瓶,气瓶减压阀门,单向阀,流量控制器,压力表,管道,机箱。标准气体稀释法1、适用范围稀释法法法是制备低含量标准气体的方法之一。2、所需设备气瓶,气瓶减压阀门,流量控制器,压力表,管道。标准气体体积法1、适用范围体积比法是简单的配气方法。成都二氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。福建乙烷标准气体批发商
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分子量当标准气体的组分气和稀释气分子量相差太大时,如H2、He和CO2、Ar组成的标准气体,静置时间长了容易分层,这势必影响其稳定性,并且其含量越高,影响越大。因此,在使用这类标准气体时,必须先把钢瓶进行旋转或放倒在地上滚动,使瓶内气体混合均匀。否则,其量值不准,影响标准气体的稳定性。使用条件环境条件与标准气体的稳定性也有很大关系,温度、湿度要适宜,象一些液化类气体,必须在室温以上使用;在使用标准气体时,对系统的要求很高,丝毫不能泄漏。因此,用户要严格按照《标准物质证书》上的要求使用,才能保证标准气体的量值准确,稳定性可靠。使用周期标准气体的使用有效期是根据稳定性实验结果来加以确定的,一般把能够保证标准值的有效期定为半年至一年。由于当标准气体的压力减小时,被吸附在容器内壁上的各种成分气体便解吸,其浓度值发生变化,因此一般规定,高压钢瓶标准气体的残压低于MPa时,应停止使用。结果讨论标准气体稳定性实验结果表明,只要在配制过程中,注意容器的选择及预处理,用户按标准物质规定的要求使用,标准气体在有效期内是稳定的。用户可放心使用。福建乙烷标准气体批发商
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