CVD)的方法生长一层或多层材料所用气体称为外延气体。硅外延气体有4种,即硅烷、二氯二氢硅、三氯氢硅和四氯化硅,主要用于外延硅淀积,多晶硅淀积,淀积氧化硅膜,淀积氮化硅膜,太阳电池和其他光感受器的非晶硅膜淀积。外延生长是一种单晶材料淀积并生长在衬底表面上的过程。此外延层的电阻率往往与衬底不同。5.蚀刻气体(Etchinggases)：蚀刻就是把基片上无光刻胶掩蔽的加工表面如氧化硅膜、金属膜等蚀刻掉,而使有光刻胶掩蔽的区域保存下来,这样便在基片表面得到所需要的成像图形。蚀刻的基本要求是,图形边缘整齐,线条清晰,图形变换差小,且对光刻胶膜及其掩蔽保护的表面无损伤和钻蚀。蚀刻方式有湿法化学蚀刻和干法化学蚀刻。干法蚀刻所用气体称蚀刻气体,通常多为氟化物气体,例如四氟化碳、三氟化氮、六氟乙烷、全氟丙烷、三氟甲烷等。干法蚀刻由于蚀刻方向性强、工艺控制精确、方便、无脱胶现象、无基片损伤和沾污,所以其应用范围日益***。6.掺杂气体(DopantGases)：在半导体器件和集成电路制造中,将某种或某些杂质掺入半导体材料内,以使材料具有所需要的导电类型和一定的电阻率,用来制造PN结、电阻、埋层等。掺杂工艺所用的气体掺杂源被称为掺杂气体。重庆二氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。四川一氧化氮标准气体厂家供应
气体分子本身的体积可以忽略不计，温度又不低，导致分子的平均动能较大，分子之间的吸引力相比之下可以忽略不计，实际气体的行为就十分接近理想气体的行为，可当作理想气体来处理。以下内容中讨论的全部为理想气体，但不应忘记，实际气体与之有差别，用理想气体讨论得到的结论只适用于压力不高，温度不低的实际气体。标准气体理想气体方程pv=nRT标准气体遵从理想气体状态方程是理想气体的基本特征。理想气体状态方程有四个变量——气体的压力P、气体的体积V、气体的物质的量N以及温度T和一个常量（气体常为R）,只要其中三个变量确定，理想气体就处于一个状态，因而该方程叫做理想气体装态方程。标准气体温度T和物质的量N的单位是固定不变的，分别为K和MOL，而气体的压力P和体积V的单位却有多种取法，这时，状态方程中的常量R的取值（包括单位）也就跟着改变，在进行运算时，千万要注意正确取用R值：P的单位V的单位R的取值（包括单位）标准气体不确定度定义编辑标准气体在研制过程中的质量如何，在分析比对方法中分析误差如何．标准气体在有效期内稳定性如何以及瓶内压力降低后的影响如何．均需要用不确定度来评价。由于不确定度是评价标准气体研制水平的指标。四川一氧化氮标准气体厂家供应福建一氧化氮标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
实验室之间的比对、**比对应由牵头实验室与二、三个提名比对实验室与二、三个提名比对实验室拟定详细的比对技术方案。比对的技术方案应包括：1、样品的详细描述；2、运输过程的注意事项；3、比对实验室在接收样品时应采取的措施；4、比对开始前应进行的检验，如压力等；5、比对分析时使用标准的条件；6、比对结果的说明；7、如何估处不确定度；8、参加比对的每个标准对SI单的溯源性；9、比对结果与牵头实验室沟通的时间表；10、比对经费；11、比对结果的报告格式。标准气体比对结果编辑参加比对的实验室必须尽可能快地向牵头实验室报告比对结果，**迟在比对测量完成后六个星期将测量结果、不确定度以及所需信息，以技术方案中给出的比对结果的报告格式交给牵头单位。标准气体注意事项编辑1、可燃气体的限从安全的角度出发，在制备标准气体之前，必须对标准气体混合的可行性进行研究。特别要考虑各组分气体的极限，在制备由可燃气体和氢气（或氧气）组成的标准气体时，要注意组分气体含量是否超过限的问题。否则在制备过程中，可能发生**。限是可燃性气体的重要技术数据。在配制含有可燃气体组分的标准气体前，必须了解该组分的限。
混合罐。标准气体分压法1、适用范围分压法适用于制备常温下是气体，含量在1~60%的标准混合气体2、所需设备配气设备：气瓶汇流排，压力表，阀门，真空泵，管道，气瓶卡具。标准气体扩散法1、适用范围扩散法适用于制备常温下是液体的有机气体2、所需设备配气设备：气瓶，阀门，流量控制阀，流量计，液体组分，分析仪表气瓶，卡具。标准气体容积法1、适用范围静态容积法适用于实验室制备多种小、少量的标准气体，压力接近大气压力。2、所需设备配气设备：气瓶，气瓶减压阀门，定体积管，压力计，真空泵。标准气体饱和法1、适用范围饱和法法适用于易于冷凝的气体和蒸汽。2、所需设备配气设备：气瓶，气瓶减压阀门，冷凝器，饱和器，恒温控制器，压力计，循环风机。标准气体流量法1、适用范围流量比法法是动态配气方法，是严格控制一定比例的组分气体和释稀释气体的流量，经混合而得到的标准气体。2、所需设备气瓶，气瓶减压阀门，单向阀，流量控制器，压力表，管道，机箱。标准气体稀释法1、适用范围稀释法法法是制备低含量标准气体的方法之一。2、所需设备气瓶，气瓶减压阀门，流量控制器，压力表，管道。标准气体体积法1、适用范围体积比法是简单的配气方法。福建一氧化碳标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。
在安培瓶1中装入产生原料气的液体(如汽油等),用不锈钢加固环3将聚四氟乙烯塑料帽2和安培瓶1的颈部紧封牢固,塑料帽的上端是比较薄(壁厚在1毫米以下)的渗透面4。由于原料液体的挥发性,使安培瓶中有一定蒸气压,气体分子在蒸气压力的作用下,通过渗透面向外渗透。单位时间的渗透量叫渗透率。在一定温度下,渗透率的大小决定于渗透面的厚度和面积的大小等因素。渗透面越大,壁越薄,渗透率就越大。制作渗透管时,就是通过改变渗透面积和厚度的办法,以获得不同渗透率的渗透管。任何渗透管在使用前都必须知道其渗透率。渗透率的测定方法是:在一干燥瓶的底部装入粒状氢氧化钠,上面盖一层尼龙纱网,将渗透管放入干燥瓶中的纱网上。加盖后,渗透出来的气体(汽油蒸气)就会被氢氧化钠吸收。由于液体的蒸气压与温度有关,所以渗透率也随温度改变而改变。因此,在测定渗透率时,必须将干燥瓶放入恒温水浴中,温度控制精度要达到±011℃。在恒温放置过程中,每隔一定的时间(至少12小时)用精密天平快速称量渗透管一次(必须在10分钟内称完),相邻两次的重量差就是渗透管在该时间段的渗透量。测出渗透量后,就可用下式求出该渗透管的渗透率。740)">式中:G:渗透率(Lgömin);△G:相邻两次称量的重量差(mg)。四川乙炔标准气体源头厂家推荐四川侨源气体股份有限公司。成都二氧化碳标准气体厂家现货
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L:钢瓶标准气的浓度(ppm);Qs:钢瓶标准气的流量(Lömin);Qa:压缩空气的流量(Lömin;用此法配气时,在压缩空气的管路中应安装选择性过滤器(净化器),以除去空气中影响配气纯度的杂质。此外配气出口的总流量应略大于用气口的流量,以保证所配气体的浓度与纯度。2.渗透管动态配气法(1)渗透管及渗透率的测定渗透管是动态配气法中的另一种气源,其结构见图5。740)">在安培瓶1中装入产生原料气的液体(如汽油等),用不锈钢加固环3将聚四氟乙烯塑料帽2和安培瓶1的颈部紧封牢固,塑料帽的上端是比较薄(壁厚在1毫米以下)的渗透面4。由于原料液体的挥发性,使安培瓶中有一定蒸气压,气体分子在蒸气压力的作用下,通过渗透面向外渗透。单位时间的渗透量叫渗透率。在一定温度下,渗透率的大小决定于渗透面的厚度和面积的大小等因素。渗透面越大,壁越薄,渗透率就越大。制作渗透管时,就是通过改变渗透面积和厚度的办法,以获得不同渗透率的渗透管。任何渗透管在使用前都必须知道其渗透率。渗透率的测定方法是:在一干燥瓶的底部装入粒状氢氧化钠,上面盖一层尼龙纱网,将渗透管放入干燥瓶中的纱网上。加盖后,渗透出来的气体(汽油蒸气)就会被氢氧化钠吸收。由于液体的蒸气压与温度有关。四川一氧化氮标准气体厂家供应
