深圳物理抛光液

硫系化合物相变材料化学机械抛光的纳米抛光液及其应用:一种用于硫系化合物相变薄膜材料GexSbyTe(1-x-y)化学机械抛光(CMP)的纳米抛光液及该化学机械抛光液在制备纳电子器件相变存储器中的应用。该CMP纳米抛光液包含有氧化剂、螯合剂、pH调节剂、纳米研磨料、抗蚀剂、表面活性剂及溶剂等。该抛光液损伤少、易清洗、不腐蚀设备、不污染环境,主要用于制造相变存储器关键材料GexSbyTe(1-x-y)的CMP。利用上述抛光液采用化学机械抛光方法去除多余的相变薄膜材料GexSbyTe(1-x-y)制备纳电子器件相变存储器,方法简单易行。本公司销售的氧化硅抛光液纳米颗粒呈球形，单分散，大小均匀，粒径分布窄，可获得高质量的抛光精度。深圳物理抛光液

纳米氧化铈水分散液（纳米氧化铈抛光液）  

关键词：纳米氧化铈抛光液  氧化铈抛光液  研磨液电解抛光液 蓝宝石抛光液 不锈钢抛光液、金属抛光液、瓷砖抛光液该纳米氧化铈抛光液分散性好，质量稳定，久置不分层不沉淀，可极大提高抛光效率和精度，生产流程不会引入金属离子。   

产品说明：      本品外观为白色液体，氧化铈纳米粒子平均粒径为20nm，氧化铈含量不低于30%，分散介质为去离子水，pH在9-10，0.5%-1%的悬浮稳定剂。生产流程不引入金属离子。   产品应用：      

1）精密仪器抛光      本品不含碱金属离子，粒径小，粘度很低，为晶体硅、LED、高精密玻璃等器件的抛光需求而研发生产。不含有害成分，除氧化铈外，悬浮剂为环保成分不会对环境和人体带来间接危害。      

2）防紫外线      添加于特种涂料、遮阳伞、玻璃等便可制得防紫外线的特种产品，用于塑料中更是可以起到防老化的效果。     

 3）隔热功能      由于纳米氧化铈有***的隔热性能，本品亦是隔热涂料中不可或缺的成分。      

4）催化剂      在催化剂中加入本品可明显减少贵金属用量并改善催化性能，使催化器的价格大幅下降。氧化铈还能与纳米氧化钛制成光催化剂，用于***陶瓷和富氧离子环保涂料等。 浙江宝石抛光液加工本公司销售的纳米抛光液应用范围：化妆品填料。

LED芯片主要选用的衬底资料是蓝宝石，在加工过程中需要对其进行减薄和抛光。蓝宝石的硬度极高，普通磨料难以对其进行加工。在用金刚石研磨液对蓝宝石衬底外表进行减薄和粗磨后，外表不可避免的有一些或大或小的划痕。CMP抛光液利用“软磨硬”的原理很好的完成了蓝宝石外表的精密抛光。随着LED行业的快速开展，聚晶金刚石研磨液及二氧化硅溶胶抛光液的需求也与日俱增。氧化铝抛光液的市场也越来越大

CMP技能还***的应用于集成电路(IC)和超大规模集成电路中(ULSI)对基体资料硅晶片的抛光。随着半导体工业的急速开展，对抛光技能提出了新的要求，传统的抛光技能（如：根据淀积技能的选择淀积、溅射等）尽管也能够供给“光滑”的外表，但却都是部分平面化技能，不能做到大局平面化，而化学机械抛光技能处理了这个问题，它是能够在整个硅圆晶片上***平坦化的工艺技能 ，氧化铝抛光液很好的处理以上的问题，并达到更好的质量要求

氧化铝抛光液作为**终抛光液，是为了去除样品表面肉眼不可见的表面变形层。尤其是使用高倍物镜、偏振光、微分干涉或EBSD 技术，来检测、评定样品时，去除这种微小变形是必需的。

当采用含有溶胶氧化铝的MasterPrep氧化铝抛光液，可通过纯粹的机械抛光来***地去除材料，达到优异的表面处理效果。而如果选用其他种类的**终抛光液，比如具有弱碱性的***抛光液，那就要通过化学-机械的抛光方法与材料表面形成反应层，柔软的***去除反应层，也可得到高质量的表面，相比多了化学抛光过程。因此在实际应用中，常规情况选择氧化铝抛光液是十分普遍的。 纳米 抛光液能达到超精密的抛光效果，分散稳定性，长时间不沉淀，不团聚。

抛光液主要成分：氧化铬、刚玉、铁红、长石粉等材料！根据不同基体成分和要求制成不同的细度和品种。   液体抛光蜡也跟东展新博抛光蜡类似！   加工工序也分4种：   粗抛光   中研磨   中抛光   精细抛光。

液体抛光蜡优点 

1、增加生产量，操作人员不再需要中断抛光工作,可以自动的控制抛光液的喷涂,   

2、节省操作时间,提高产能。   

3、节省清洗时间，抛光液是水性的配方, 抛光后工程的清洗工序更容易,可以节省的清洗时间  

4、抛光轮寿命增加，喷涂液体研磨剂对研磨轮之轮缘表面温度有冷却作用 ，  

5、**减低 研磨轮的损耗，从而增加研磨轮的寿命。   

6、增加产品的稳定性能，避免了人手操作的不确定性。 本公司销售的氧化硅抛光液适合与各种抛光垫、合成材料配合抛光使用。深圳物理抛光液

本公司销售的纳米抛光液应用范围：氧化铝陶瓷、C基板、封装材料、***、高纯坩埚、绕线轴、轰击靶、炉管。深圳物理抛光液

氧化铝抛光液是由多种化工溶液配制而成的溶液，它在抛光工艺中有重要的地位。

合理选择抛光液，能使加工出来的工件表面光亮美观，色泽鲜艳，光亮夺目，还可以防止工件的锈蚀，保持与提高工件表面的光泽，起到清洁工件与磨具的作用。去除油污，软化工件表面以加速磨消，减少磨具对工件的冲击，改善工件条件。它具有***，无腐蚀，不易变质等性能。

抛光液的种类很多，应根据加工条件来选择。在光整效率，工作的研磨质量，抛光的光洁度等方面。抛光液都显示出其独特的效果。

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