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真空热处理工艺的发展,是与设备的发展分不开的,提高设备技术水平以适应工艺要求,往往又与配套件技术的发展密切相关。真空泵的发展,在1873年发明白炽灯泡前,主要是用活塞式抽气机获得真空,但只能达到。随后电子管制造技术要求更高的真空度,就促进了真空技术的发展,因而相继出现了各种真空泵:旋转泵(1905年),油封旋转泵(1907年)、分子泵(1913年)和扩散泵(1915年)。其中扩散泵的发明、使真空技术进入高真空度(10-8毛左右)的阶段。随着近代科学技术的发展,例如加速器、热核反应装置...