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激光干涉位移传感器激光干涉仪:超精密皮米位移传感器可实时测量位移、运动和振动,并具有10MHz的数据带宽。一个控制器可连接三个传感测头。认证精度稳定的激光源可确保在纳米范围内获得认证的重复性和准确性。...