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等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机,或者等离子表面处理仪,利用等离子体来达...
快速热处理的应用领域非常广,包括但不限于IC晶圆、LED晶圆、MEMS、化合物半导体和功率器件等多种...
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