深圳市勃望初芯半导体科技有限公司是一家专注于生物MEMS芯片研究的高科技创新型公司,由深圳市中科先见医疗科技有限公司的半导体团队分拆发展,团队利用半导体+MEMS技术积累,关键团队自2013年起就一直潜心聚焦在生物医疗传感芯片领域,为生物医疗及科研、工业界客户提供微流控技术的定制方案、基于PI的柔性MEMS器件、硅基MEMS传感器、光学超表面/超透镜、声学、振动方面的微纳米加工定制服务。
MEMS制作工艺深硅刻蚀即ICP刻蚀工艺:硅等离子体刻蚀工艺的基本原理干法刻蚀是利用射频电源使反应气体生成反应活性高的离子和电子,对硅片进行物理轰击及化学反应,以选择性的去除我们需要去除的区域。被刻蚀...