初阻力宜小于50Pa;高效过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。FFU风机过滤单元FFU为英文缩写，全称为FanFilterUnits,中文意思为"风机滤器单元(机组)"，也称空气过滤单元。风机从FFU顶部将空气吸入并经初、高效过滤器过滤，它为不同尺寸大小，不同洁净度等级的洁净室、微环境提供高质量的洁净空气。各净化工程企业的FFU执行标准略有不同，业内通行的指标为:过滤后的洁净空气在整个出风面以±20%的风速匀速送出，但稳定性差距很大。经过实地检测，**品牌普遍难以适应"**环境因素"，质量虽然普遍高于国产公司，但1年后的稳定性测试普遍不理想;而大部分国内低端品牌的工程质量也较差强人意。净化工程行业开始注重产品质量与稳定性的双向验收标准，并逐步以实地检测数据(之前多依靠行业报告)更真实的体现工程性价比.层流罩层流罩一种可提供局部高清洁环境的空气净化设备。它主要有箱体，风机，初效空气过滤器，高效空气过滤器。阻尼层，灯具等组成，箱体喷塑或采用不锈钢材料。该产品即可以悬挂，又可地面支撑，结构紧凑，使用方便。可以单个使用，也可多个联接组成带状洁净区域。无尘车间的特点是什么？上海中湖告诉您。江苏食品无尘车间案例
无尘车间，又称洁净室或洁净厂房，是通过科学设计和技术手段构建的超净环境，广泛应用于半导体、生物医药、精密仪器等领域。其关键在于通过多维度措施隔绝外界污染，确保空气洁净度达到极高标准。以下是实现无尘环境的关键技术和管理要点：一、高效空气过滤系统无尘车间的关键是层级式空气过滤系统：初效过滤器：拦截大颗粒物（如头发、昆虫）。中效过滤器：过滤细小悬浮颗粒（如部分细菌、灰尘）。高效过滤器（HEPA）：可去除，包括病毒、烟雾等。超高效过滤器（ULPA）：针对严苛需求，过滤。此外，车间采用正压设计（室内气压高于室外），防止外界污染物侵入，并通过持续空气循环维持洁净度。二、严格的人员管理人员是主要污染源之一，需遵循以下规范：着装要求：穿戴无尘服、鞋套、口罩及手套，通过风淋室高速气流除尘。净化程序：进入前需经过空气净化间或洗手消毒，减少人体携带的微粒。行为限制：限制人员移动路径和动作幅度，避免扬尘。三、物料与设备管控物料包装：所有物料需无尘包装，部分需消毒或去除外包装。传递窗口：使用无尘传递窗，确保物品转移时不破坏洁净环境。设备维护：选择低尘设备，定期清洁保养，避免成为污染源。北京十万级无尘车间净化人员在无尘车间内行走需放缓速度，避免快速移动产生气流带动微尘。
1无尘车间形式无尘车间从平面布置划分一般有三种形式：即开放式(ballroomtype)、港湾式(baycliasetype)、岛形布置（islandtype），如图1、2、3。以上三种形式无尘车间各有其优缺点,IC前工序生产厂通常采用港湾式和开放式无尘车间，港湾式无尘车间在5”、6”IC生产厂用得较多，其工艺设备为穿墙式：而8”、12”IC生产厂则普遍采用开放式无尘车间加微环境(mini-environment)的方式。开放式无尘车间***的***首先是对工艺布置带来**大的灵活性，这尤为重要，因为当今[C生产技术发展极为迅速，不论产品本身要求还是工艺生产过程和生产设备都处在不断变化中，而IC生产工厂的建设周期从开始设计到安装工艺设备通常需要一年半左右的时间，在这段时间内丁艺生产技术以及工艺没备需要不断的调整和更新，只有这样才可以保证投产时其生产技术小会处于落后的窘地，即使投产以后，也会因产品、市场及生产技术等因素的变化而需要对生产线进行改造以调整产品和产能。其次8”、12”IC生产对环境尤其是洁净度耍求极为严格，通常硅片暴露区（加工过程）要求（209E，μm，1级）．采用开放式无尘车间加微环境方式再配套自动物料处理系统automatedmaterialhandling)。
在下夹层或上静压箱内设干表冷器。无尘车间内的相对湿度由新风机组保证，温度由干表冷器保证。新风处理及相对湿度保证新风处理机组的功能段如图9所示，新风处理机组中设置初、中、**三级过滤，以去除室外空气中的灰尘粒子，设**过滤器很有必要，可以延长无尘车间顶部FFU内ULPA过滤器的使用寿命；设置化学过滤器主要是去除室外空气中对IC生产有影响的杂质气体，根据工厂所在地的室外空气品质设置相应的化学过滤器，化学过滤器后通常需设中效过滤器以去除化学过滤器本身的产尘；通过设在新风处理机组内的两级表冷、两级加热以及洁净蒸汽加湿器保证新风处理机组出口的干球温度及**温度全年基本恒定，而机组出口的**温度还应根据其对应送风区域内的相对湿度进行连续的重新整定，以保证室内的相对湿度。这里不以房间内的相对湿度直接控制加湿器或表冷器，而以房间内的相对湿度连续的重新整定机组出口的**温度，再由该**温度控制加湿器或表冷器是为了得到更及时的湿度控制：由于外网蒸汽中含有对IC生产有影响的杂质，新风处理机组的加湿应采用洁净蒸汽。洁净蒸汽加湿器通常设在表冷器前，这样可以使新风处理机组确提高相对湿度控制精度的潜能。有些工程中是以喷淋初级纯水。无尘车间的用途？中湖告诉您。
无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(CleanRoom)、无尘室，是指将一定空间范围内空气中的微粒子、有害气体、**等污染物排除，并将室内的温度、洁净度、室内压力、气流速度等控制在某一需求范围内，而所给予特别设计的房间。即不论外在空气条件如何变化，其室内均能具有维持原先所设定要求的洁净度、温湿度及压力等的特性。无尘车间是电子厂、医*行业等不可或缺的重要工作场所，所以在对其进行清洁工作时应该严格按照以***程进行：(1)、更换好**防静电服，戴好帽子、**，经风浴吸尘通道除尘后，进入洁净室。(2)、准备好清洁工具及用品并放置在规定地点后，开始清洁工作。(3)捡拾地面垃圾，按生产线排列次序由里向外逐一进行。(4)按时倾倒清运垃圾桶、垃圾箱内垃圾，并进行检查，按规定严格分类后，经生产线管理员或保安检查后运送到**的垃圾房内分类放置。(5)由上向下使用洁净纸或无尘布清洁室内玻璃、墙面、货架等。(6)使用洁净尘推由里向外小心进行地面推尘、保洁。地面有垃圾、污迹、水迹等及时用无尘布清洁干净。(7)利用生产线员工休息就餐时间对生产线、工作台下、坐椅下地面进行清理。(8)定期清洁天花板、空调出风口、顶灯隔罩、高架地板下。进入无尘车间前必须经过风淋室，通过高速气流吹落身上附着的灰尘和颗粒物。浙江供应无尘车间价格优惠
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**电子工程设计院秦学礼摘要随着IC生产工艺技术的不断发展,对于无尘车间生产环境及其它配套系统要求也相应更为严格,本文81"、12",IC生产的无尘车间设计中有关无尘车间形式和送风方式、空气处理及温湿度保证措施,悬浮分子污染物(AMC)的控制,以及无尘车间排*等方面的设计方案,进行了多方案的综合分析和评价。0引言集成电路(IC)是集多种高新技术于一体的高科技产品，它几乎存在于所有工业部门，对国民经济的发展起着“倍增器”的作用，因此被****作为战略性产业。同时IC产业也是当今世界上发展**为迅速、竞争**为激烈的产业。由于下游产品的需要以及生产成本的考虑，IC不断朝着特征尺寸缩小，硅片直径增大的方向发展。目前**上以8”、**的工艺已进入大生产，以12”、**的工艺也开始进入大生产，研究工作已进入纳米阶段，70纳米、40纳米的器件已在实验室中制备成功。随着工艺牛产技术的不断发展，IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格，说到环境首当其冲的是无尘车间，8”、12”IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求，有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战。江苏食品无尘车间案例
