有些空气净化系统的空气，如经处理仍不能避免交叉污染时，则不能循环使用：固体物料的粉碎、称重、配料、混合、制料、压片、包衣、灌装等工序；用有机溶媒精制的原料药精制、干燥工序；放射品生产区；病原体操作区；工艺过程中产生大量有害物质、挥发性气体的生产工序；固体口服制剂的颗料。节能原则：无尘车间里存在大量可以节约能源的地方，例如暖气、通风和空调（HVAC）、工艺冷却、压缩空气以及一些其他的设施。HVAC系统消耗的电力超过了整座晶片制造厂用电量的一半。之所以造成大量浪费电力及HVAC的容量过剩，很大程度上是因为在设计和建造工厂时走捷径，尽可能地压缩前期投入，而不顾后期运行费用。无尘车间内严禁饮食、饮水和存放个人物品，从源头杜绝污染产生。山东工程无尘车间设备制造
据了解目前已有一些制造公司开发出FFU和排*口结合在一起的产品，使这问题得以解决。第二个问题是排*分区问题，目前8”、12”lC生产厂房无尘车间基本上都采用Ballroom方式，洁净面积达l万多平方米的无尘车间几乎没有分隔，而工艺生产又都采用自动物料处理系统(AMHS)，各生产区域顶部都设有纵横交错的吊挂传输系统(OHT)，划分排*分区确实比较困难，实际工程中经常将整个Ballroom视为一个区，这又会面临排*量极大的问题，为减少排*系统风量，在某些工程中将工艺设备局部排风系统兼作排*，但排风系统的管道、配件及设备应满足排*要求。5结语目前8”、12”IC产业住**大陆的发展只是刚刚起步，由于该产业符合新型工业化的要求，LE得到**和地J**的大力支持，预计住未来的几年内将会得到快速的发展，而8”、12”IC生产对无尘车间空气洁净度等各项指标有极严格的要求，无尘车间又是能耗大户，所以设计该类厂房无尘车间时应进行多方案比较，在满足工艺生产要求的前提下，综合考虑可靠性、灵活性、安全性、能源效率、初投资等因素进行设计。参考文献l高砂热学公司有关资料2曹芳海，郑名山等风机一滤网机蛆技术与无尘室气流过滤循环节能探讨3**标准．《洁净厂房设计规范>。北京电子无尘车间报价无尘车间采用层流（单向流）或湍流（非单向流）设计，确保污染物被快速带走。
无尘车间内的洁净工作台可根据产品要求或其他用途的要求，在操作台上保持高洁净度的局部净化。洁净工作台可以在操作台的局部空间形成无菌、无尘的局部净化，其主要组成部件有预过滤器、高效过滤器、风机机组、外壳、静压箱、台面和配套的电器元器件等。无尘车间的洁净工作台的构造要求：台面，采用木质塑料贴面贴于层压板上做成台面，或采用不锈钢做台面；箱体，用热扎薄钢板与骨架气焊易变形，可采用冷轧薄板折边搭接，大电流电焊，内表面需粘贴消声材料，比较大尺寸应以通过一般房门为宜；箱体密封，所有缝隙均采用密封胶密封；操作区截面应尽可能与空气过滤器送风截面相同，尽量减少盲区；风机、电机，选用高压低噪的小型风机，风机与箱体的连接采用软连接，电机及风机均应采取减振措施；灯罩，日光灯要尽量设置在灯罩内，灯罩内要通过洁净气流；预过滤器，须设置预过滤器，容量要大，在使用风量下，初阻力宜小于50Pa；高效过滤器，尽量采用大面积的过滤器，减少空气过滤器的数量，过滤器与框架之间的密封应采用封导结合的双环密封系统。
干表冷器所用的冷冻水温度应根据室内湿负荷、室内空气的**温度等因素确定，IC厂房工艺生产设备发湿量很少，考虑干表冷器所用冷冻水本身的温度控制精度以及其他的安全余量，实际工程中一般冷冻水供水温度比室内空气**温度高2～3℃，温差通常取3～5℃，根据室内温度控制精度确定。干表冷器所用的冷冻水通常以混水方式或换热方式得到。c)干表冷器断面风速不宜太高，因为过高的风速会使干表冷器空气侧阻力偏大，而由于房间噪声要求的限制FFU所能提供的机外余压有限，一般为90Pa，考虑其他风路阻力，干表冷器的空气侧阻力通常控制在40Pa左右。3空气中分子级污染物(AMC)控制随着lC生产的飞速发展，其加工的特征尺寸越来越微细化，去除空气中的AMC(**rbomemolecularcontamination)问题越来越受到人们关注，**半导体制造技术协会(SEMATECH)及其他机构、**对IC生产中AMC的危害和允许浓度分别进行了分析预测，表l是SEMATECH所预测的**半导体发展进程及相应的AMC的要求。一些研究结果表明，空气中的金属离子(Na、K、Fe、Cu、Zn等)会破坏绝缘层，使p-n结漏电；而氮氧化物、二氧化硫、氨、有机物、臭氧、硼、磷等都会引起电路缺陷。AMC已直接影响到产品的成品率和可靠性。上海中湖告诉您无尘车间的应用范围。
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无尘车间也叫洁净厂房、洁净室(CleanRoom）、无尘室，是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。风淋室是现代工业洁净厂房中必不可少的洁净配套设备，它能去除人和物表面的尘埃，同时又对风淋室两侧的洁净区和非洁净区起到了缓冲与隔离的作用。该设备广泛应用于食品、医药、生物工程及精密电子等领域。风淋室分为“普通型和联锁型”两类：普通型采用手动启动吹淋的控制方式，个别操作者会选择“不经过吹淋就离开”的逃避方式。这使得洁净区的空气洁净度难以保证。甚至可能会影响到产品质量。洁净室内，在动态情况下，细菌及尘埃的比较大发生源是操作者，当操作者进入洁净室之前，必须用洁净空气吹淋其衣服表面附着的尘埃颗粒，并起到气闸的作用。山东工程无尘车间设备制造
