无尘车间净化室内应设置人员净化、物料净化用室和设施，并应根据需要设置生活用室和其他用室。人员净化用室，宜包括雨具存放间、管理室、换鞋室、存外衣室、盥洗室、洁净工作服室和空气吹淋室等。厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其他用室，可根据需要设置。无尘车间净化室的设备和物料出入口，应根据设备和物料的性质、形状等待征设置物料净化用室及其设施。物料净化用室的布置，应防止净化后物料在传递过程中被污染。无尘车间内禁止使用普通纸笔，需用无尘文具，防止纤维、粉末污染。山东电子无尘车间门生产
经ULP过滤器处理后垂直下吹，以保证硅片暴露区严格的洁净度要求。微环境内的送风断面风速通常保持在，并保证过滤器出口断面上任意一点的风速不超过平均风速的±20%，过高的风速会使微环境的温度偏高。微环境的风机应为变频风机以适应过滤器的阻力变化，所用过滤器的效率≥(MPPS)。为避免周围“脏”空气渗入微环境，微环境相对于周围环境（开放式无尘车间）应保持不低于，这可以通过调节底部的回风阀门实现。8”、12”IC生产对防微振要求极高，而微环境所用的风机紧靠生产设备，所以风机与设备问应设有效减振措施，并且风机本身产生的振动在3-100Hz频段内任意一个频率点的振动位移幅值≤μm。：即集中送风系统(centralsystem)、隧道系统(tunnelsysterm、FFU系统(fanfilterunitsystem)，如图6、7、8。这三种送风系统各有特点，从不同的角度比较会得出不同的结论，所以不能简单地说孰优孰劣，送风系统方式的采用主要取决于业主、设计人员的关注点侧重于哪些方面。不过FFU系统近几年来得到越来越***的使用，尤其是在亚太地区。国内也不例外，已建的和在建的8”、12”IC生产厂房几乎都采用FFU系统，很多5”、6”IC生产厂房近几年也采用FFU系统。究其原因。江苏净化无尘车间案例无尘车间的洁净度等级按每立方米空气中≥0.5μm 的微粒数划分，数值越小洁净度越高。
**电子工程设计院秦学礼摘要随着IC生产工艺技术的不断发展,对于无尘车间生产环境及其它配套系统要求也相应更为严格,本文81"、12",IC生产的无尘车间设计中有关无尘车间形式和送风方式、空气处理及温湿度保证措施,悬浮分子污染物(AMC)的控制,以及无尘车间排*等方面的设计方案,进行了多方案的综合分析和评价。0引言集成电路(IC)是集多种高新技术于一体的高科技产品，它几乎存在于所有工业部门，对国民经济的发展起着“倍增器”的作用，因此被****作为战略性产业。同时IC产业也是当今世界上发展**为迅速、竞争**为激烈的产业。由于下游产品的需要以及生产成本的考虑，IC不断朝着特征尺寸缩小，硅片直径增大的方向发展。目前**上以8”、**的工艺已进入大生产，以12”、**的工艺也开始进入大生产，研究工作已进入纳米阶段，70纳米、40纳米的器件已在实验室中制备成功。随着工艺牛产技术的不断发展，IC生产对于环境及其他配套系统的要求也相应越来越严格，说到环境首当其冲的是无尘车间，8”、12”IC生产无论对洁净度、温湿度还是空气中分子级污染物(AMC)、防微振、防静电等都有极严格的要求，有些苛刻的要求甚至使某些传统的做法受到挑战。
如果在高辐射设备旁边操作，必须有相应的防护措施，避免身体受伤害。封闭空间靠空调机组按设计风量送风，所以无尘室可容纳的人数是有限制的，如果超员使用，可能造成氧气不足，使人产生头晕、恶心的状况。一个合理科学的无尘车间应当按照要求配置灭火系统，以及保证疏散通道的通畅。当紧急情况发生时，可以时间采取应对措施以及对人员紧急疏散。无尘车间不同级别空气洁净度的空气过滤器的选用、布置要点：对于300000级空气净化处理，可采用亚高效过滤器代替高效过滤器；空气洁净度100级、10000级及100000级的空气净化处理，应采用初、中、高效过滤器三级过滤器；中效或高效空气过滤器宜按小于或等于额定风量选用；中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节的正压段；高效或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调节系统的末端。无尘车间内的设备、工具需做防静电处理，避免静电吸附微尘或产生放电。
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无尘车间的洁净度检测需在静态（无人员操作）和动态（正常生产）两种状态下进行。山东电子无尘车间门生产
在单向流洁净室内，干净气流不是一股或几股，而是充满全室断面，所以这种洁净室不是靠洁净气流对室内脏空气的掺混稀释作用，而是靠洁净气流推出作用将室内脏空气沿整个断面排至室外，达到净化室内空气的目的。所以，前联邦德国有人称单向流洁净室的气流为“活塞流”、“平推流”前苏联称之为“被挤压的弱空气射流”。干净空气就好比一个空气活塞，沿着房间这个“气缸”，向前（下）推进，而使尘粒只能前（下）进，没有返回，把原有的含尘浓度高的空气挤压出房间。在单向流洁净室以及单向流净化设备中，可以发现沿壁的和两个过滤器搭接处下方的反向气流。这种气流将把下方的污染传输到上部再送下来，破坏了上述“活塞流”的状态，危害极大。对于和外界有开口相通的局部净化设备，例如洁净工作台，这种气流将引射外界污染气流，在设计上一定要减小过滤器边框处所占的无效面积，更要设法使空间的壁面尽量接近过滤器有效迭风截面。山东电子无尘车间门生产
