东莞本地微孔陶瓷真空吸盘推广

种微孔真空吸盘工作台的制作方法

【技术领域】

[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台，属于机械设备领域。

【背景技术】

[0002]划片刀用于精密加工，由于它的损耗速度非常快，因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机，目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备，在生产过程中发现，现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短，由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形，在生产过程中，随温度变化也会变形加快。

【实用新型内容】

[0003]本实用新型的目的在于，提供一种微孔真空吸盘工作台，它能够解决现有技术的不足，提供一种结构更合理，使用寿命更长的工作台。 微孔陶瓷真空吸附盘是具有高孔隙率、**度、高平整度，及吸附能力非常强等特点.东莞本地微孔陶瓷真空吸盘推广

    氧化锆以其优异的高温物理和力学性能而得到广泛应用，尤其被用于苛刻条件下使用的关键部件。由于氧化锆的导热性能低、热膨胀系数大，因此氧化锆制品的热稳定性较差。但采用部分稳定氧化锆原料制得的制品晶型组成的氧化锆原料制得的陶瓷制品的热稳定性比较好。因此制造氧化锆结构陶瓷往往采用部分稳定氧化锆原料而不是全稳定氧化锆原料。生产氧化锆结构陶瓷一般用3mo1％Y203稳定的氧化锆超细粉。下面从成型和烧成两方面论述一下氧化锆陶瓷结构件生产工艺。 东莞本地微孔陶瓷真空吸盘推广多孔陶瓷同时称之为纳米微孔真空吸盘.

组织遗传制备工艺

该工艺是利用植物材质(木材、竹子等)的天然多孔组织，将其在800~1000℃下和惰性气体环境中热解碳化得到与木材多孔结构几乎完全相同的碳预制体。然后以碳预制体为模板，1600℃时液态硅蒸发形成的硅蒸汽渗入模板与碳化合形成多孔碳化硅陶瓷。该工艺过程简单，成本低廉，但制品的孔结构主要决定于材质本身的组织，可设计性较差，同时SiC的转化率相对较低。也可将木材在真空中浸渍渗入树脂，之后在1200℃左右热解，冷却后得到一定孔隙率的木材陶瓷。

3、四方氧化锆多晶体陶瓷

四方氧化锆多晶体陶瓷的晶粒很小，为了使亚稳的四方相保留下来，必须采用超细、高纯的氧化锆粉体，且要准确控制氧化钇的含量，烧结工艺中要采用低的温度（1400℃）。

四方氧化锆陶瓷通过相变增韧具有很高的强度和断裂韧性，但在中高温下由于相变增韧作用的逐渐消失力学性能迅速下降。在基体中加入第二相粒子成为复合材料是提高韧性和高温力学性能的有效方法。

4、氧化锆超塑性陶瓷

氧化锆超塑性陶瓷是通过控制配料和烧结，获得均匀的微细晶粒侥结体，实现微细晶粒的超塑性。影响氧化锆陶瓷超塑性的主要因素有下列几个方面： 多孔陶瓷真空吸盘是密封的空气来维持传输.

4、Al-SiO2法

Al-SiO2法是目前制备氧化铝陶瓷中采用**多的方法。该方法将Al金属和SiO2粉体混合均匀后，在Ar气条件下进行反应，反应温度一般为1300～1500 ℃

，反应时间为2～4h，制备得到氧化铝陶瓷。

Al-SiO2法优点是原料价格低廉，工艺操作简单易行。缺点是：制备过程中需要通入保护气体，限制了其工业应用。

5、前驱体法

化学反应前驱体法在水热条件下进行，原料在高压釜内发生反应得到前驱体，前驱体已经具有陶瓷或是纤维状结构，为**终产物的出现提供了骨架。在水热制备氧化铝陶瓷中，勃姆石纤维为常见中间体。主要工艺过程是采用 Al（OH）3为前驱体，胶体经水热反应生成纤维状勃姆石晶粒，再经常压下煅烧，得到 α-Al2O3微粉，晶粒仍保持了纤维形状。 适用多种不同工件提供各种不同形状,尺寸和材料的吸盘.汕头直销微孔陶瓷真空吸盘销售词

凭借特殊的结构从而具有耐高温、耐磨损、耐化学腐蚀、机械强度高.东莞本地微孔陶瓷真空吸盘推广

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