福田区精细耗材工艺

树脂铁盘：该系列产品配套于研磨机、抛光机用盘，主要适用于单晶硅片、石英芯片、光学玻璃、陶瓷片、砷化镓等薄脆金属或非金属材料的研磨。本产品为海德研磨设备配套生产，也***适用于进口研磨设备和同行研磨设备，详情请咨询海德客服人员。

采用相适应的比较好配方，达到研磨工件不同的技术要求。(材料灰口铸铁、球墨铸铁)

  2、 按照研磨的不同要求，设计合理的加工工艺(槽距、槽宽、槽深)。速比相结合，比较大限度的提高研磨质量的使用效率。

  3、 为了研磨高精度的质量要求，专门设计**量具来控制研磨盘的平行度、平面度，达到研磨工件的需要，降低修盘时间，提高产品质量和生产效率。

  4、 按照研磨的技术质量要求，设计了科学的热处理工艺。改善分子结构，从而使研磨盘稳定性好，在使用过程中不变形，达到使用生产过程中产品质量稳定，提高工效和使用寿命。

按抛光盘与抛光机的连接方式可分为哪三种？福田区精细耗材工艺

半导体**阻尼布

应用领域：

1、蓝宝石加工：蓝宝石衬底、LED芯片、窗口片、表镜片、手机指纹识别片、手机摄像头镜片等蓝宝石材料抛光（精抛）；

2、金属加工：不锈钢、铝件、铜件、模具钢、手机Logo、手机中框、手机卡槽、手机按键、手机背板、医疗器械件、模具等超硬合金金属材料抛光（精抛）；

3、陶瓷加工：氮化铝基板、手机陶瓷盖板、陶瓷指纹件、手表陶瓷结构件、等陶瓷材料抛光（精抛）；

4、半导体加工：硅片、锗、砷化镓、磷化铟、碳化硅、氮化镓等半导体材料抛光（精抛）；

5、红外晶体加工：硒化锌、锗、硅、硫化锌、氟化钙、氟化镁、铌酸锂、碳酸锂、硫系红外等红外材料抛光（精抛）；

6、光学玻璃加工：蓝玻璃滤光片、反射镜片、手机玻璃、石英晶片、水晶晶片、钟表镜片、精密光学仪器、***电子透光仪等抛光（扫光）。

*抛光后可至完美的镜面效果*

南山区精细耗材制作金鑫达的研磨盘研磨效果很好，性能稳定。

要获得品质好的抛光片，必须使抛光过程中的化学腐蚀作用与机械磨削作用达到一种平衡。如果化学腐蚀作用大于机械抛光作用，则会在抛光片表面产生腐蚀坑、桔皮状波纹；反之，机械抛光作用大于化学腐蚀作用则表面产生高损伤层。

从微观角度，CMP 作用机理目前还没有完整的的理论解释。其中有一种说法认为，化学机械抛光过程是化学作用、磨削作用相互加强与促进的过程。以蓝宝石化学机械抛光为例具体阐述：

由于有KOH的存在，对于蓝宝石衬底的化学机械抛光,其CMP 的动力学过程主要由以下几个步骤组成: ①反应剂分子(OH-)从液体主体向待加工片外表面扩散( 外扩散)；②反应剂分子由外表面向内表面扩散其速率与质量附面层厚度相关, 在压力与抛光机旋转作用下, 附面层极小；③反应物吸附在待加工片的表面；④反应物在加工片表面上进行化学反应, 生成产物；⑤产物从表面解吸； ⑥产物从反应层的内表面向外表面扩散； ⑦产物从反应层的外表面向主液体扩散

为了达到更好的抛光效果保证表面高平整、低损伤、无污染, 必须在抛光过程中加快质量传递过程。质量传递包括两个方面: 反应物及时到达表面和反应物及时脱离表面。两个过程中的综合结果直接影响CMP 的速率与表面质量。蓝宝石的CMP 过程区别于其他CMP 过程, 单晶Al2O3 组成物质的元素化合价已经达到比较高, 其立方结构是: 一个Al 原子周围有三个O 原子, 一个O 原子周围连接着两个Al 原子, 这样形成六方密堆积型。从化学反应式和蓝宝石的结构可以得出, 每生成一个AlO-2 就要断裂三个Al—O 键, 而且Al—O 键能非常高, 在蓝宝石化学机械抛光过程中, 化学作用是至关重要的。但蓝宝石( 单晶Al2O3) 表面与抛光液中OH- 的反应过程与Al2O3 粉末与OH- 反应机理是不一样的, 它不只是简单的每个Al2O3 分子与OH- 反应生成AlO-2。在化学反应过程中, 单个原子之间的反应时间非常短( 约为10- 8 s) , 由于单晶Al2O3 特有的结构( 从c [0001] 晶向看蓝宝石结构是一层Al 原子, 一层O 原子) ，在碱性浆料的作用下,首先表面的Al 原子或O 原子分别与浆料作用形成Al—OH 和O—OH 水解层, 在抛光过程中, 带负电的SiO2 磨料粒子的表面也与OH- 形成化学键,之后再与蓝宝石表面的悬挂键形成化学键。随着抛光垫的转动SiO2 磨料粒子将Al 原子和O 原子带走。金鑫达的研磨盘有哪些？

蓝宝石**抛光液

蓝宝石**抛光液：

  纳米级抛光液主要由高纯度的胶态氧化硅微粒所组成，可避免加工元件产生刮伤的现象，特别适合用于铌酸锂、钽酸锂、蓝宝石、石英、光学晶体、红外晶体、金属、陶瓷等的抛光。

应用领域：

50抛光液主要应用：晶体，镜片，石英；

80抛光液主要应用：LED，红外晶体，陶瓷产品（陶瓷手机盖板），石英金属类材料如不锈钢，铝件，锌合金，光纤，锗，蓝玻璃，滤光片以及光伏企业；

100抛光液主要应用：蓝宝石衬底，蓝宝石窗口片，单晶硅片，砷化镓等其他蓝宝石产品；

130抛光液主要应用：蓝宝石A向。

研磨抛光耗材有:研磨液、研磨盘、抛光盘、抛光液、抛光垫等等。福田区精细耗材工艺

抛光蜡的主要成分：硬脂酸、软脂酸、油酸、松香等粘剂，加上磨剂，如长石粉、氧化铬、刚玉、铁红等，根据不同基体成分和要求制成不同的细度和品种。一般情况下用不同的颜色表示不同品种的抛光蜡，避免使用时混乱，颜色不同的抛光蜡抛光效果不一样，比如黑蜡是开粗使用，也就是粗抛光，青蜡是精抛，高含量的磨料可以加速整个抛光过程。这个过程是抛光蜡抛光轮表面移动而使材料变得光滑。

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