隔热保温材料由于多孔陶瓷具有巨大的气孔率和低的基体热传导系数,其**传统的应用是作为隔热材料。传统的窑炉、高温电炉其内衬多为多孔陶瓷。为增加其隔热性能还可将内部气体抽真空。目前世界上比较好的隔热材料正是这种多孔陶瓷材料。高级的多孔陶瓷隔热材料还可用于航天飞机的外壳隔热。除此以外,由于其多孔...
种微孔真空吸盘工作台的制作方法
【技术领域】
[0001]本实用新型涉及一种微孔真空吸盘工作台,属于机械设备领域。
【背景技术】
[0002]划片刀用于精密加工,由于它的损耗速度非常快,因此需求量非常大。生产划片刀需要使用晶圆划片机,目前我国*有少数的几家工厂拥有这种设备,在生产过程中发现,现有技术的晶圆划片机的工作台寿命较短,由于其结构的不合理通常I?6个月即会变形,在生产过程中,随温度变化也会变形加快。
【实用新型内容】
[0003]本实用新型的目的在于,提供一种微孔真空吸盘工作台,它能够解决现有技术的不足,提供一种结构更合理,使用寿命更长的工作台。 同时也可作气浮平台,广泛应用半导体、面板、雷射制程及非接触线性滑轨。韶关正规微孔陶瓷真空吸盘代理
工程陶瓷材料的厂家,因为这种陶瓷材料硬度更高,耐磨性也更好氧化锆陶瓷目前已经有了非常***的应用,而且市场需求量也在日益增加,所以现在氧化锆陶瓷厂家也越来越多,那么应该如何选择氧化锆陶瓷生产厂家呢?下面就来为大家进行分析。工程陶瓷材料的厂家,因为这种陶瓷材料硬度更高,耐磨性也更好氧化锆陶瓷目前已经有了非常***的应用,而且市场需求量也在日益增加,所以现在氧化锆陶瓷厂家也越来越多,那么应该如何选择氧化锆陶瓷生产厂家呢?下面就来为大家进行分析。 质量微孔陶瓷真空吸盘代理是各种半导体片生产过程中用于吸附及承载的**工具.
前驱体法优点是:产物尺寸均一,品质好。缺点是:前驱体的处理比较繁琐,无法进行连续生产。6、模板诱导-水热法模板诱导-水热法是将模板法和水热法结合起来,以硫酸铝为前驱体加入模板剂制备了薄水铝石陶瓷,并经1200℃煅烧制得了α-Al2O3陶瓷。模板剂加入的作用是:(1)降低水热反应的温度;(2)控制前驱体形貌,制备高长径比Al2O3陶瓷。二、氧化铝陶瓷应用1、金属基复合材料氧化铝陶瓷与金属具有良好的界面相容性,被认为是金属基复合材料比较好的增强材料。氧化铝陶瓷增强的金属基复合材料具有**度和耐磨、耐热冲击能力及低的热膨胀系数等优良性能,已在汽车活塞槽部件和旋转气体压缩机叶片中得到应用,有利于改善汽车发动机性能,提高发动机使用效率和燃烧速率,减少废气排放量。
2、湿氢法
湿氢法是将Al 粉置于Al2O3中,在适当的位置放入单晶Al2O3以诱导陶瓷生长,放入管式炉内,在湿氢气氛下加热至1400℃,保持2h,湿氢**控制为-30℃。通过控制氢气**起到对其中水蒸气含量的控制,制备得到的氧化铝陶瓷。
湿氢法优点是氧化铝陶瓷以螺旋位错机理生长,产品品质较好。缺点是**不易控制,受环境湿度因素干扰大,且对实验设备影响很大。
3、模板法
目前,研究报道模板法主要是采用棉花纤维和碳纳米管为模板,制备氧化铝陶瓷。主要工艺过程是首先将棉花纤维浸入5%的AlCl3溶液中2min,80℃下干燥24 h,放入刚玉坩锅置于烘箱中分别在 800℃、1000℃和1200℃下烧制2h,即得到多晶的氧化铝陶瓷陶瓷。 吸附面材料为多孔陶瓷,实现了高精度自动切割。
(3)“钉扎”理论, 认为存在于基体晶界的纳米颗粒产生“钉扎”效应,从而限制了晶界滑移和孔穴、蠕变的发生,晶界的增强导致纳米氧化锆复相陶瓷韧性的提高。
二、氧化锆增韧陶瓷的种类
氧化锆增韧陶瓷主要有稳定氧化锆陶瓷、部分稳定氧化锆陶瓷、四方氧化锆多晶体陶瓷、氧化锆超塑性陶瓷。
1、稳定氧化锆陶瓷
稳定氧化锆陶瓷是在制备氧化锆粉体时添加一定数量的稳定剂使之固溶入氧化锆内,形成立方相氧化锆,在整个温度范围内不发生相变,也就没有体积变化的陶瓷材料。常用的稳定剂主要有CaO、MgO、Y2O3、CeO2等。 使用者通常是机器操作员。广州新款微孔陶瓷真空吸盘批发
在湿度大,有粘合液体的环境下也可以工作。韶关正规微孔陶瓷真空吸盘代理
B、成型压力
成型压力在氧化锆干压成型过程中是较关键的,压力太小和太大都不能压制出理想的坯体。压力太小,则烧后产品的密度小,产品收缩大,坯体压实程度不够容易出现分层;而压力太大,坯体也容易出现裂纹、分层和脱模困难等现象。合适的成型压力需要通过生产实践来摸索。
C、加压方式
般干压成型时加压方式有两种,一种是单面加压,另一种是双面加压。当单面加压时,则直接受压的一端压力大,出现明显的压力梯度,粉料的流动性越差,则坯体内出现的压力差也就越大,越容易出现分层。双面加压时,坯体两端直接受压,因此两端密度大,中间密度小,其压力梯度的有效传递距离为单面加压的一半,故坯体的密度比单面加压要均匀得多。因此氧化锆陶瓷干压成型时宜采用双面加压的方式。 韶关正规微孔陶瓷真空吸盘代理
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