硅片划片方法主要有金刚石砂轮划片、激光划片。
激光划片是利用高能激光束聚焦产生的高温使局部范围内的硅材料瞬间气化,完成硅片分离,但高温会使切缝周围产生热应力,导致硅片边缘崩裂,且只适合薄晶圆的划片。
超薄金刚石砂轮划片,由于划切产生的切削力小,且划切成本低,是目前主要的划片工艺。由于硅片的脆硬特性,划片过程容易产生崩边、微裂纹、分层等缺陷,直接影响硅片的机械性能。
以在划片工艺之前,需要对晶圆进行贴膜处理,将铁圈和晶圆用蓝膜贴覆在一起。铁圈上有定位口作为基准,放置在划片机台上,然后进行划片操作。
上海玺金机械设备提供多种贴膜机,手动滚轮式贴膜机,半自动真空贴膜机、全自动真空贴膜机。
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上海玺金机械设备有限公司自主研发提供的半自动晶圆真空贴膜机VM-2100规格参数规格参数:
晶圆直径 8”晶圆;
晶圆厚度 100~750微米;
晶圆种类 硅, 化或其它材料;
单平边,双平边,V型缺口;
膜种类 蓝膜或者UV膜;
宽度:220-240毫米;
长度:100米;
厚度:0.05~0.2毫米;
贴膜方法 独特的真空贴膜,无滚轮;膜张紧度可控;
晶圆台盘 接触式晶圆台盘,用于薄晶圆;
晶圆台盘加热 高可达80℃ (对应接触式台盘,可选);
晶圆放置精度 X-Y: +/- 0.5毫米; Θ : +/- 0.5°;
装卸方式 手动晶圆放置与取出;晶圆放置位置检测;
已用胶膜回卷 自动回卷已使用的胶膜;可自动检测膜尾余量;
防静电控制 去离子风扇;
切割系统 自动圆形轨迹切割;
控制单元 基于PC控制,10.4”触摸屏;
电源电压 单相交流电220V,10A;
压缩空气 60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺;
真空供应 高真空供应装置,用于给真空腔提供真空;
灯塔 三色灯塔和蜂鸣器,用于操作状态监测;
安全 配置紧急停机开关;
体积 宽*深*高 760毫米*950毫米*1900毫米(含300毫米灯塔高度) ;
净重 180公斤; 马鞍山导轨半导体专业技术上海玺金机械设备有限公司半导体晶圆RFID检测提供,请来电咨询。
半导体设备行业处于半导体行业中上游,属于芯片制造厂和封测厂的供应商。整体行业景气度伴随着半导体周期而波动。全球2018市场规模达到620亿美金,同比增长28.57%,预计未来七年复合成长8%-10%左右。
自2017年以来,全球半导体设备销售额不断突破历史纪录创下新高,每年600亿美金以上的销售额成为半导体设备产业新常态。大陆地区晶圆厂建设潮下,中国市场设备需求激增,预计2018年中国市场设备采购需求达到113亿美金,到2020年,设备需求攀升至150亿美金以上。中国市场目前以进口设备为主,国产设备市场份额极低,进口替代空间广阔。
半导体晶圆形成有哪些设备呢?
晶圆的形成工艺非常复杂,有几十套繁琐的工艺,其中主要的设备有,单晶炉、气相外延炉、氧化炉、低压化学磁控溅射台、化学机械抛光机、 光刻机、离子蚀刻机、离子注入机、引线键合机、 晶圆贴膜机、晶圆划片机、晶圆减薄机等。本公司上海玺金机械设备有限公司及合肥分公司主要提供晶圆贴膜机,晶圆倒片机以及生产厂商需要的金属的或塑料的晶圆CASSETTE,抓取晶圆的伯努利真空手臂吸盘等等半导体行业的治具。 上海玺金机械设备有限公司主营半导体设备,若有需要,欢迎来电。
上海玺金机械设备有限公司提供5英寸、6英寸、8英寸耐高温晶圆提篮产品: 晶圆框架盒采用耐高温的6063-T5(或者7075-T6)铝合金制作,提手配置金属材质可放入烤箱进行烘烤,入料口配置不锈钢档杆防止产品掉出,更好的保护晶圆。
产品编号:XJ0A-05-25,XJ0A-06-25,XJ0A-08-25
材质:6063-T5 & 7075-T6
尺寸:5英寸、6英寸、8英寸
槽数:25槽(可做13槽)
垂直度/平整度≤0.5mm
氧化工艺:表面硬质氧化处理
可根据客户要求进行非标定制,请电话咨询。
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伯努利吸盘机械手
上海玺金机械设备有限公司从事晶圆产品后道的设备开发,比如晶圆倒片机、半自动贴膜机、全自动真空贴膜机等。同时公司也开发单独销售零部件,比如XY平台,金属或塑料的CASSETTE,真空载盘,以及伯努利吸盘机械手等等。
伯努利吸盘机械手是利用7075-T6的材质,通过CNC加工后固定的一款轻巧、可靠的晶圆抓取部件,可以装作自动化半导体行业设备里面的部件,她利用伯努利原理,与晶圆静距离非接触时,吹出压缩空气,从而降低吸盘与晶圆之间的大气压,促使吸盘隔空吸住晶圆,当吸住后打开真空吸口,再一次的加强吸力,保证安全可靠的抓取晶圆,完成晶圆在各工位的搬运、翻转工作。 苏州12 INCH FOUP converter半导体专业技术
上海玺金机械设备有限公司总部位于星华公路1088号,是一家机械设备、电气成套设备、自动化设备、液压设备、机电设备及配件制造、加工、批发、零售,不锈钢制品、金属制品加工、塑料制品、金属制品、通风设备、包装材料、办公设备、电子元器件、仪器仪表、卫生洁具、金属材料、建筑材料、五金交电、阀门批发、零售。从事自动化科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让、从事货物及技术进出口业务。的公司。上海玺金机械深耕行业多年,始终以客户的需求为向导,为客户提供***的KN95全自动口罩生产线,KN95全自动口罩打片机,全自动平面口罩,焊耳机(KN95、平面)。上海玺金机械致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心,为用户带来良好体验。上海玺金机械始终关注机械及行业设备行业。满足市场需求,提高产品价值,是我们前行的力量。