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半导体晶圆形成有哪些设备呢? 晶圆的形成工艺非常复杂,有几十套繁琐的工艺,其中主要的设备有,单晶炉、气相外延炉、氧化炉、低压化学磁控溅射台、化学机械抛光机、 光刻机、离子蚀刻...