5G配套半导体产品介绍

半导体晶圆形成有哪些设备呢？

        晶圆的形成工艺非常复杂，有几十套繁琐的工艺，其中主要的设备有，单晶炉、气相外延炉、氧化炉、低压化学磁控溅射台、化学机械抛光机、 光刻机、离子蚀刻机、离子注入机、引线键合机、 晶圆贴膜机、晶圆划片机、晶圆减薄机等。本公司上海玺金机械设备有限公司及合肥分公司主要提供晶圆贴膜机，晶圆倒片机以及生产厂商需要的金属的或塑料的晶圆CASSETTE，抓取晶圆的伯努利真空手臂吸盘等等半导体行业的治具。 上海玺金机械设备有限公司半导体晶圆cassette提供，请来电咨询。5G配套半导体产品介绍

上海玺金机械设备有限公司自主研发提供的全自动晶圆真空贴膜机AVM-2308规格参数：

晶圆直径            适用于6’’ & 8”晶圆；

晶圆厚度            100~750微米；

晶圆种类            硅, 化或其它材料；

                        单平边,双平边,V型缺口；

膜种类               蓝膜或者UV膜；

                         宽度：220-240毫米；

                         长度：100米；

                         厚度：0.05~0.2毫米；

贴膜方法            分体式贴膜，铁圈单独贴膜后，进入真空腔晶圆贴膜，上下腔压力差自动补偿；膜张紧度可控；

晶圆台盘            接触式晶圆台盘，用于薄晶圆；

晶圆台盘加热      高可达80℃ (对应接触式台盘，可选)；

晶圆放置精度      X-Y: +/- 0.5毫米； Θ : +/- 0.5°；

装卸方式            自动晶圆放置与取出；晶圆在位置检测；

已用胶膜回卷      自动回卷已使用的胶膜；可检测膜尾；

防静电控制         去离子风扇；

切割系统            自动圆形轨迹切割；

控制单元            基于工控机+Windows系统控制，10.4”触摸屏；

电源电压            单相交流电220V,10A；

压缩空气            60 PSI清洁干燥压缩空气,流量每分钟2.5立方英尺；

真空供应            高真空供应装置，用于给真空腔提供真空；

UPH                   80WPH

标签                  可选择打印 LABEL

安全                  配置紧急停机开关；

体积                 高*深*宽  1800（不含300mm灯塔高度）*1182*1600mm（含脚轮）；

净重                 280公斤；

常州轴承半导体效率高上海玺金机械设备有限公司半导体行业FOUP RFID检测识别提供，请来电咨询。

         中国由于集成电路技术起步较晚，所以在半导体领域一直处于劣势，许多技术被其它国家掌控，正是因为如此，美国才得以从半导体方面制裁华为，从而遏制华为的发展。其实，在芯片制造过程中，光刻机、刻蚀机、薄膜沉积设备都十分重要，而其中光刻机只有荷兰的阿斯麦公司能够生产，突破难度巨大，甚至一些晶元代工厂都需要从阿斯麦手中购买该设备。

         半导体行业国产化势在必行，上海玺金机械设备有限公司以及合肥分公司提供的一款真空贴膜机，可以为6英寸，8英寸，12英寸的晶圆进行贴膜工作。目前已在江苏各厂家装机使用，效果比较好，可以贴覆100微米~500微米的晶圆。从而给划片切割提供了前道辅助工作。

       上海玺金机械设备有限公司提供5英寸、6英寸、8英寸耐高温晶圆提篮产品： 晶圆框架盒采用耐高温的6063-T5（或者7075-T6）铝合金制作，提手配置金属材质可放入烤箱进行烘烤，入料口配置不锈钢档杆防止产品掉出，更好的保护晶圆。

产品编号：XJ0A-05-25,XJ0A-06-25,XJ0A-08-25

材质：6063-T5 & 7075-T6

尺寸：5英寸、6英寸、8英寸

槽数：25槽（可做13槽）

垂直度/平整度≤0.5mm

氧化工艺：表面硬质氧化处理

可根据客户要求进行非标定制，请电话咨询。

上海玺金机械设备有限公司半导体行业步进电机提供，请来电咨询。

       可以为客户定制RFID高频读取、擦除、写入处理机台，实用于FOUP的电子标签识别与编码。通过FOUP底部的销孔与平台销定位，RFID适时感应到电子标签，通过配置的应用软件，在显示器上可识别原电子标签内容，根据需要，可以读取、存储、擦除和更改原电子标签。此方案可应用于晶圆芯片生产厂家生产车间的人工识别与过程检查工作。基于此应用，可以扩展为FOUP存储机柜，通过RFID编写识别码，从而方便轨道车进行读取识别，并取放FOUP，实现轨道取放车自动化智能存储FOUP。此种应用是自动化工厂运输过程的必须环节。 上海玺金机械设备有限公司主营半导体治具，若有需要，欢迎来电。上海FOUP半导体联系人

上海玺金机械设备有限公司半导体12英寸晶圆foup改装及非标定制，请来电咨询。5G配套半导体产品介绍

12 INCH FOUP converter

        上海玺金机械设备有限公司提供一款 FOUP converter，它方便的安装在 entegris 的12 INCH FOUP里面，作为8 INCH 的 CASSETTE 进行 使用，这样在12 INCH 的工作机台上面也可以接入8 INCH的晶圆，进行晶圆的加工。此款转换器是根据客户的要求，满足功能的前提，采用防静电的材料非标开发的、定制的一款产品，目前已经在批量的装机使用，使用后反馈比较好。虽然此产品为非标定制的，但是在半导体行业内，也有工厂需要如此的方案。 5G配套半导体产品介绍

上海玺金机械设备有限公司是一家机械设备、电气成套设备、自动化设备、液压设备、机电设备及配件制造、加工、批发、零售，不锈钢制品、金属制品加工、塑料制品、金属制品、通风设备、包装材料、办公设备、电子元器件、仪器仪表、卫生洁具、金属材料、建筑材料、五金交电、阀门批发、零售。从事自动化科技领域内的技术开发、技术咨询、技术服务、技术转让、从事货物及技术进出口业务。的公司，是一家集研发、设计、生产和销售为一体的专业化公司。上海玺金机械拥有一支经验丰富、技术创新的专业研发团队，以高度的专注和执着为客户提供KN95全自动口罩生产线，KN95全自动口罩打片机，全自动平面口罩，焊耳机（KN95、平面）。上海玺金机械致力于把技术上的创新展现成对用户产品上的贴心，为用户带来良好体验。上海玺金机械始终关注机械及行业设备市场，以敏锐的市场洞察力，实现与客户的成长共赢。